斷，另一方面便于維修或更換第四氣動閥。
[0012]優(yōu)選地，所述排氣管道上設(shè)有兩個第六手閥，兩個第六手閥分別位于緩沖罐與第五氣動閥之間，以及第五氣動閥與真空泵之間。第六手閥的設(shè)置一方面用于排氣管道氣路的開啟或關(guān)斷，另一方面便于維修或更換第五氣動閥。
[0013]優(yōu)選地，所述的緩沖罐內(nèi)設(shè)有測量液位的液位計和測量極限液位的傳感器，液位計的設(shè)置用于測量緩沖罐內(nèi)液面達(dá)到的高度，并及時將測量到的數(shù)據(jù)傳送至控制模塊；緩沖罐內(nèi)安裝的測量極限液位的傳感器起到安全監(jiān)控作用，當(dāng)該傳感器測量到緩沖罐內(nèi)的液位達(dá)到設(shè)定的安全極限上限時，將觸發(fā)信號給控制模塊，為了安全起見控制模塊將會終止化學(xué)品的繼續(xù)填充。
[0014]優(yōu)選地，所述的控制模塊中可以根據(jù)實際使用狀況，設(shè)定高液位限限定值和低液位限限定值，該處提及的高液位限限定值和低液位限限定值只是一個設(shè)定限值，并不是在物理上有刻度線，且該高液位限限定值和低液位限限定值可以根據(jù)經(jīng)驗及系統(tǒng)狀況而調(diào)整。
[0015]優(yōu)選地，所述第一氣動閥、第二氣動閥、第三氣動閥、第四氣動閥、第五氣動閥、液位計、壓力傳感器和測量極限液位的傳感器均與控制模塊連接。
[0016]一種利用上述高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)的方法，其特征在于:包括如下步驟:
第一步，將高純化學(xué)品置于便于安全運輸?shù)馁A存罐內(nèi)，密封貯存罐；
第二步，將第一推送管道伸入貯存罐內(nèi)上部并密封好，將第二推送管道的兩端分別伸入貯存罐內(nèi)和緩沖罐內(nèi)并密封好；將第一緩沖推送管道伸入緩沖罐內(nèi)上部并密封好，將第二緩沖推送管道伸入緩沖罐內(nèi)并密封好；
第三步，將排氣管道安裝在帶有液位計的緩沖罐上并密封好；
第四步，填充緩沖罐，當(dāng)緩沖罐內(nèi)的高純化學(xué)品液面低于低液位限限定值時，關(guān)閉第一緩沖推送管道上的第三氣動閥，打開第一貯存推送管道上的第一氣動閥和第二貯存推送管道上的第二氣動閥，由高純氮氣或氬氣通過第一貯存推送管道和第二貯存推送管道將高純化學(xué)品從貯存罐推送至緩沖罐中，由于高純化學(xué)品的持續(xù)填充、緩沖罐內(nèi)的壓力逐漸升高，將會導(dǎo)致填充壓力與緩沖罐內(nèi)的壓力差逐漸降低，從而使填充速度變慢甚至終止，因此為了持續(xù)填充必須要在填充的同時給緩沖罐進行適當(dāng)?shù)男箟海瑫r由控制模塊控制第五氣動閥反復(fù)持續(xù)開閉進行泄壓，直到緩沖罐內(nèi)的高純化學(xué)品液面達(dá)到高液位限限定值后，填充結(jié)束并由控制模塊控制第五氣動閥處于常閉狀態(tài)；或者高純化學(xué)品液面未達(dá)到高液位限限定值，但是當(dāng)緩沖罐內(nèi)的壓力低于預(yù)設(shè)定的推送壓力值后，由控制模塊控制第五氣動閥處于常閉狀態(tài)，使整個填充持續(xù)進行，填充過程中緩沖罐內(nèi)的氣壓將隨著填充持續(xù)進行而升高，直至其氣壓超過預(yù)設(shè)定的推送壓力值后，由控制模塊控制第五氣動閥反復(fù)持續(xù)開閉進行泄壓，以使緩沖罐內(nèi)的壓力維持在預(yù)設(shè)定的推送壓力值，如此反復(fù)直至高純化學(xué)品液面達(dá)到高液位限限定值后，直至填充結(jié)束丄
第五步，將高純化學(xué)品推送至機臺，當(dāng)緩沖罐內(nèi)的液位介于低液位限限定值與高液位限限定值之間時，打開第一緩沖推送管道上的第三氣動閥，高純氮氣或氬氣通過第一緩沖推送管道到達(dá)緩沖罐內(nèi)上部，源源不斷的氮氣或氬氣到達(dá)緩沖罐內(nèi)；同時，由第四步可知，緩沖罐內(nèi)的氣壓維持在預(yù)設(shè)定的推送壓力值，該氣壓將緩沖罐內(nèi)的高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定不間斷的通過第二緩沖推送管道被推送到達(dá)使用機臺。
[0017]本發(fā)明高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)及輸送方法，與現(xiàn)有的技術(shù)相比，具有如下的有益效果:
第一、結(jié)構(gòu)布置合理，本發(fā)明通過第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)上下結(jié)構(gòu)布置，同時在第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)上分別獨立設(shè)置第一調(diào)壓閥和第二調(diào)壓閥的結(jié)構(gòu)布置，整個結(jié)構(gòu)布置合理，占地面積?。?br> 第二、成本低，本發(fā)明與現(xiàn)有輸送系統(tǒng)或裝置的零部件構(gòu)成相比，主要區(qū)別是在結(jié)構(gòu)布置和閥門位置設(shè)定方面，零部件僅增加了調(diào)壓閥以及壓力傳感器等，且增加的零部件均為常用閥門、傳感器等，其不僅來源豐富，而且價格低廉；
第三、填充效率高，在同等條件下(貯存罐、緩沖罐的大小，推送源氣體以及被推送高純化學(xué)品種類相同)，采用現(xiàn)有技術(shù)高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)或裝置進行從貯存罐向緩沖罐內(nèi)填充高純化學(xué)品，1、剛換新的過濾器的輸送系統(tǒng)，填充時間為9分鐘，開始填充時緩沖罐內(nèi)的壓力為1.8Barg，填充結(jié)束時壓力為1.2Barg ;2、新?lián)Q過濾器的輸送系統(tǒng)使用一周后，填充時間為12分鐘，開始填充時緩沖罐內(nèi)的壓力為1.8Barg，填充結(jié)束時壓力為1.0Barg ;3、新?lián)Q過濾器的輸送系統(tǒng)使用兩周后，填充時間為16分鐘，開始填充時緩沖罐內(nèi)的壓力為1.8Barg，填充結(jié)束時壓力為0.5Barg ;而采用本發(fā)明高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)進行從貯存罐向緩沖罐內(nèi)填充高純化學(xué)品，填充時間為6分鐘，填充過程從開始至填充結(jié)束緩沖罐內(nèi)的壓力始終恒定在1.5Barg的預(yù)設(shè)的推送壓力值；使得填充效率大大提升；
第四、推送連續(xù)穩(wěn)定，由第三點可知，采用本發(fā)明高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)進行從貯存罐向緩沖罐內(nèi)填充高純化學(xué)品，填充時間為6分鐘，填充過程從開始至填充結(jié)束緩沖罐內(nèi)的壓力始終恒定在1.5Barg,即是緩沖罐內(nèi)的壓力一直保持恒定狀態(tài)，有效避免了因現(xiàn)有技術(shù)中填充過程隨著時間的推移緩沖罐內(nèi)的壓力越來越低無法將高純化學(xué)品推送至使用機臺，導(dǎo)致推送中斷的情況出現(xiàn)，整個推送過程連續(xù)穩(wěn)定、不間斷。
【附圖說明】
[0018]附圖1為本發(fā)明高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖標(biāo)記為:
1、輸送總管，11、第一手閥，
2、第一推送系統(tǒng)，21、第一貯存推送管道，211、第一調(diào)壓閥，212、第一氣動閥，213、第二手閥，22、第二貯存推送管道，221、第三手閥，222、過濾器，223、第二氣動閥，
3、第二推送系統(tǒng)，31、第一緩沖推送管道，311、第二調(diào)壓閥，312、第四手閥，313、第三氣動閥，32、第二緩沖推送管道，321、第五手閥，322、第四氣動閥，323、壓力傳感器，324、壓力監(jiān)測計，325、機臺， 4、排氣管道，41、第六手閥，42、第五氣動閥，43、真空泵，
5、貯存罐，6、緩沖罐，61、高液位限限定值，62、低液位限限定值，7、液位計，8、測量極限液位的傳感器。
【具體實施方式】
[0019]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合實施例及附圖對本發(fā)明產(chǎn)品作進一步詳細(xì)的說明。
[0020]如圖1所示，一種高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)，包括輸送總管1、貯存罐5、緩沖罐6、推送系統(tǒng)、排氣管道4、機臺325和控制模塊，所述推送系統(tǒng)上的電動或氣動部件與控制模塊連接，所述推送系統(tǒng)通過在輸送總管I內(nèi)流通惰性氣體推送高純化學(xué)品，所述輸送總管I內(nèi)推送高純化學(xué)品的惰性氣體為高純氮氣或高純氬氣，所述輸送總管I的進口處設(shè)有第一手閥11，所述的高純化學(xué)品為二乙基鋅或三甲基鋁。所述推送系統(tǒng)包括第一推送系統(tǒng)2和第二推送系統(tǒng)3，所述第一推送系統(tǒng)2和第二推送系統(tǒng)3均與輸送總管I