專利名稱：一種電子級化學品輸送裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及通過管道輸送流體，具體來說涉及一種電子級化學品輸送裝置。
背景技術：
目前國內應用于電子級化學品輸送方式，多采用離心泵輸送，在電機的驅動力下， 帶動葉輪轉動產生離心力，將物料由泵的進口吸入，從泵的出口甩出，達到對物料的輸送。 在輸送物料時泵與物料發(fā)生接觸，并且葉輪在高速旋轉時與物料會產生很大的摩擦力，對電子級化學品會產生很大影響。離心泵制造商為了減少離心泵在輸送過程中對電子級化學品的污染，采用特殊材質(如合金、高純密度聚乙烯一HDPE、聚四氟乙烯-PTFE、聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚-PFA等)，可減少泵在輸送過程中對物料的污染，但價格非常貴(一臺流量3m3/h鋼襯PFA泵價格為12萬元左右)，另外離心泵與物料發(fā)生直接接觸，物料會產生很大的摩擦力，對化學品會產生污染，如果輸送的物料為晶漿，泵會對晶體產生破壞；并且在離心泵停止運行時，管道、泵內的余料無法排出，如輸送物料為電子級磷酸，因電子級磷酸在低溫條件下易結晶，造成管線堵塞，導致清理困難，從而造成污染，并影響產品的質量及生產周期。
發(fā)明內容本實用新型的目的是為了克服現有技術的缺陷，提供結構簡單、實用、潔凈、有效的一種電子級化學品輸送裝置，以滿足電子級化學品在輸送過程不被污染的需要。為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下一種電子級化學品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐經輸送支管接輸送總管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述輸送支管的吸入口插入物料罐底部，輸送支管接有吸入量調節(jié)閥，輸送總管接有排放調節(jié)閥， 所述真空物料罐置有真空調節(jié)閥。物料罐為一個或多個，本實用新型可以同時對多個串聯的物料罐內的物料進行輸送。本實用新型是一種潔凈輸送方式，利用真空原理實現電子級化學品的輸送，是一種不需要泵與物料直接接觸就能實現流體輸送的技術，該方法能耗低、成本低，輸送的流速快，具有設備簡單易于安裝，易于清潔，低噪音，無塵輸送，操作過程易控制，對輸送的產品純度有保證，具有很好的經濟效益。本實用新型提供的一種電子級化學品輸送裝置，通過實際使用證明，達到了預定目的，適用于電子級化學品的輸送。

附圖1為本實用新型結構示意圖；圖中1為物料罐，2為輸送支管，3為輸送總管，4為真空物料罐，
3[0011]5為真空泵，6為吸入量調節(jié)閥，7為排放調節(jié)閥，8為真空調節(jié)閥，9為真空閥。
具體實施方式
以下結合附圖與實施例對本實用新型作進一步描述實施例附圖1示意了本實用新型的結構，本實施例有兩個物料罐1，物料罐1經輸送支管 2接輸送總管3再接真空物料罐4，真空物料罐4接真空泵5，所述輸送支管2的吸入口插入物料罐1底部，輸送支管2接有吸入量調節(jié)閥6，輸送總管3接有排放調節(jié)閥7，所述真空物料罐4置有真空調節(jié)閥8。生產時，開啟真空泵5，打開真空閥9對真空物料罐4抽空，真空度由真空調節(jié)閥8 調節(jié)，開啟排放調節(jié)閥7和吸入量調節(jié)閥6，分別調節(jié)電子級化學品輸送流量和各吸入口的流量，實現電子級化學品的輸送。本實用新型已在某廠電子級化學品的輸送生產裝置上運用，取代了原輸送方式， 輸送的產品純度有保證，具有很好的經濟效益。
權利要求1. 一種電子級化學品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐(1)經輸送支管( 接輸送總管C3)再接真空物料罐G)，真空物料罐(4) 接真空泵(5)，所述輸送支管O)的吸入口插入物料罐(1)底部，輸送支管( 接有吸入量調節(jié)閥(6)，輸送總管C3)接有排放調節(jié)閥(7)，所述真空物料罐(4)置有真空調節(jié)閥(8)。
專利摘要一種電子級化學品輸送裝置，包括若干物料罐、輸送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐經輸送支管接輸送總管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述輸送支管的吸入口插入物料罐底部，輸送支管接有吸入量調節(jié)閥，輸送總管接有排放調節(jié)閥，所述真空物料罐置有真空調節(jié)閥。本實用新型是一種潔凈輸送方式，利用真空原理實現電子級化學品的輸送，該方法能耗低、成本低，輸送的流速快，具有設備簡單易于安裝，易于清潔，低噪音，無塵輸送，操作過程易控制，對輸送的產品純度有保證，具有很好的經濟效益。
文檔編號B65G53/24GK202124333SQ20112017095
公開日2012年1月25日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權日2011年5月26日
發(fā)明者劉飛, 唐文松, 孟文祥 申請人:甕福(集團)有限責任公司