專利名稱：電子化學(xué)品過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及過濾裝置，尤其涉及一種電子化學(xué)品的過濾裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，IXD用于集成電路(IC)、薄膜液晶顯示器(TFT-IXD)和半導(dǎo)體等清洗和蝕刻劑的電子化學(xué)品的需求越來越大，其純度和潔凈度對(duì)電子元器件的產(chǎn)品率、電性能、 可靠性等都有著十分重要的影響。隨著大規(guī)模集成電路加工工藝的發(fā)展，對(duì)電子化學(xué)品中的微粒數(shù)提出更嚴(yán)格的要求，而目前的技術(shù)如申請(qǐng)?zhí)?00810230102. 7《多種化學(xué)品藥液分離、重復(fù)使用裝置》、200420059892. 4號(hào)《電子化學(xué)品顆?？刂七^濾器》、200610013875. 0號(hào) 《一種提高電子化學(xué)品潔凈度的方法》都有其特點(diǎn)，能在一定程度上提高化學(xué)品純度，但還不能夠滿足對(duì)電子化學(xué)品純度的需求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提出一種電子化學(xué)品的過濾裝置，用來去除電子化學(xué)品中的微粒，提高電子化學(xué)品的純度和潔凈度，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，滿足微電子工業(yè)的高速發(fā)展的需要。本實(shí)用新型的電子化學(xué)品過濾裝置主體為一個(gè)圓柱形的殼體，其上部裝有頂蓋， 上部的側(cè)面設(shè)有物料出口，其底部設(shè)有物料進(jìn)口，殼體內(nèi)靠近底部裝有物料分布盤，在物料分布盤上布有濾芯插入孔并裝有濾芯。上述物料出口所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的反洗液吸入口，物料進(jìn)口所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的導(dǎo)淋口 ；關(guān)閉物料的進(jìn)出口，從反洗吸入口吸入清洗液對(duì)濾芯進(jìn)行清洗后從導(dǎo)淋口排出，通過導(dǎo)淋口可排空過濾器內(nèi)的物料，在更換濾芯時(shí)更安全。上述殼體下部的側(cè)面安裝有一壓力表，通過壓力表可判斷濾芯的清洗或更換。上述濾芯的數(shù)量為1 60個(gè)。上述過濾裝置可串聯(lián)使用，串聯(lián)的個(gè)數(shù)為2 6個(gè)；串聯(lián)的同一過濾裝置中濾芯的孔徑相同，不同過濾裝置中濾芯的孔徑不相同；濾芯的孔徑按照物料的進(jìn)口到出口順序逐漸減少。本實(shí)用新型的使用方法電子化學(xué)品由物料進(jìn)口進(jìn)入過濾裝置，經(jīng)濾芯過濾，由物料出口排出。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于采用本實(shí)用新型的過濾裝置可提高電子化學(xué)品的純度和潔凈度；濾芯的使用周期更長(zhǎng)；更換濾芯更方便、更安全；可根據(jù)電子化學(xué)品生產(chǎn)的要求，對(duì)濾芯選用不同材質(zhì)，避免對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染。

圖1為電子化學(xué)品過濾裝置的結(jié)構(gòu)圖。[0012]圖中，1為頂蓋，2為反洗液吸入口，3為物料出口，4為濾芯，5為壓力表，6為物料分布盤，7為物料進(jìn)口，8為導(dǎo)淋口，9為殼體。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1 如附圖的電子化學(xué)品過濾裝置主體為一個(gè)圓柱形的殼體9，其上部裝有頂蓋，上部的側(cè)面設(shè)有物料出口 3，其底部設(shè)有物料進(jìn)口 7，其內(nèi)靠近底部有物料分布盤6，在物料分布盤6上布有濾芯插入孔并裝有濾芯4 ；濾芯4的數(shù)量為5個(gè)；物料出口 3所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的反洗液吸入口 2，物料進(jìn)口 7所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的導(dǎo)淋口 8 ；殼體9下部的側(cè)面安裝有一壓力表5。實(shí)施例2:將2個(gè)如附圖的過濾裝置串聯(lián)；串聯(lián)的第一個(gè)過濾裝置中濾芯4為18個(gè)，第二個(gè)過濾裝置中濾芯4為10個(gè)，第一個(gè)過濾裝置中的濾芯4孔徑為5Mm，第二個(gè)過濾裝置中的濾芯4孔徑為2Mm。實(shí)施例3:將2個(gè)如附圖的過濾裝置串聯(lián)；串聯(lián)的第一個(gè)過濾裝置中濾芯4為觀個(gè)，第二個(gè)過濾裝置中濾芯4為20個(gè)，第一個(gè)過濾裝置中的濾芯4孔徑為2Mm，第二個(gè)過濾裝置中的濾芯4孔徑為lMm。
權(quán)利要求1.一種電子化學(xué)品過濾裝置，其特征在于它的主體為一個(gè)圓柱形的殼體(9)，其上部裝有頂蓋(1)，上部的側(cè)面設(shè)有物料出口(3)，其底部設(shè)有物料進(jìn)口(7)，其內(nèi)靠近底部裝有物料分布盤(6 )，在物料分布盤(6 )上布有濾芯插入孔并裝有濾芯(4 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品過濾裝置，其特征在于所述物料出口(3)所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的反洗液吸入口(2)，物料進(jìn)口(7)所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的導(dǎo)淋口(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品過濾裝置，其特征在于所述殼體(9)下部的側(cè)面安裝有一壓力表(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子化學(xué)品過濾裝置，其特征在于濾芯(4)的數(shù)量為1 60個(gè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種電子化學(xué)品過濾裝置，涉及過濾裝置，該裝置的主體為一個(gè)圓柱形的殼體(9)，其上部裝有頂蓋(1)，上部的側(cè)面設(shè)有物料出口(3)，其底部設(shè)有物料進(jìn)口(7)，其內(nèi)靠近底部裝有物料分布盤(6)，在物料分布盤(6)上布有濾芯插入孔并裝有濾芯(4)。物料出口(3)所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的反洗液吸入口(2)，物料進(jìn)口(7)所連接的管子上設(shè)有一由閥門單獨(dú)控制的導(dǎo)淋口(8)，殼體(9)下部的側(cè)面有一壓力表(5)，通過壓力表(5)可判斷濾芯(4)的清洗或更換，濾芯(4)的數(shù)量為1～60個(gè)。采用本實(shí)用新型的過濾裝置可提高電子化學(xué)品的純度和潔凈度，滿足微電子工業(yè)的高速發(fā)展的需要。
文檔編號(hào)B01D29/68GK202136849SQ20112022331
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月29日
發(fā)明者劉飛, 唐培美, 孟文祥, 李天祥, 蔣月明 申請(qǐng)人:甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司