專利名稱：用于處理微型零件工件的濕化學(xué)處理室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的目的在于用于對(duì)微型零件工件(microfeatureworkpieces)進(jìn)行處理的設(shè)備和方法，該微型零件工件具有多個(gè)集成在工件中和/或上的微型器件。這些微型器件可包括亞微米零件(submicron features)。本發(fā)明的特殊方面目的在于一種濕化學(xué)處理室，其具有固定單元(fixed unit)和為了維修該室內(nèi)部件而可快速拆除的可拆卸單元(detachable unit)。本發(fā)明另外方面的目的在于一種具有固定單元和可拆卸電極單元的電化學(xué)沉積室。
背景技術(shù)：
微型器件是通過在單個(gè)基底(substrate)上沉積并加工若干材料層制造的，從而生產(chǎn)出的大量單獨(dú)的器件。例如，對(duì)光致抗蝕劑，導(dǎo)電材料和電介質(zhì)材料的層進(jìn)行沉積，形成圖案，顯影，蝕刻，平面化，以及其他處理，從而在基底中和/或上形成零件。布置這些零件以便形成集成電路，微流體系統(tǒng)，和其他結(jié)構(gòu)。
通常采用濕化學(xué)處理在微型零件工件上形成零件。一般在濕化學(xué)處理設(shè)備(tools)中進(jìn)行濕化學(xué)處理，該化學(xué)處理設(shè)備中具有多個(gè)獨(dú)立的處理室，用于進(jìn)行清潔，蝕刻，電化學(xué)沉積材料，或進(jìn)行這些處理的組合。圖1概略示出綜合設(shè)備10，其可進(jìn)行一種或多種濕化學(xué)處理。設(shè)備10包括具有平臺(tái)(platform)22的殼體或箱20，多個(gè)位于箱20內(nèi)的濕化學(xué)處理室30，以及傳送系統(tǒng)40。該設(shè)備10還包括與相應(yīng)處理室30連接的升降-旋轉(zhuǎn)單元(lift-rotate units)32，用于裝/卸工件W。處理室30可以是清洗/干燥室，清潔盒，蝕刻盒，電化學(xué)沉積室，或其他類型的濕化學(xué)處理容器(vessels)。傳送系統(tǒng)40包括線性軌道42和機(jī)械手44，該機(jī)械手44沿軌道42移動(dòng)，以便在設(shè)備10內(nèi)傳送各個(gè)工件W。綜合設(shè)備10進(jìn)一步包括工件存儲(chǔ)單元60，其具有多個(gè)用于保存工件W的貯器(containers)62。在運(yùn)轉(zhuǎn)中，機(jī)械手44根據(jù)預(yù)定的工作流程(workflow)，在設(shè)備10內(nèi)向/從貯器62以及處理室30傳送工件。
操作綜合濕化學(xué)處理設(shè)備的一個(gè)問題是修理和/或維護(hù)這些處理室。在電化學(xué)沉積室中，例如，自耗電極隨時(shí)間而退化，因?yàn)殡姌O與電解溶液之間的反應(yīng)會(huì)分解電極。因此，自耗電極形狀變化會(huì)使電場(chǎng)發(fā)生變化。結(jié)果，必須定期地更換自耗電極，以便在工件上保持預(yù)期的沉積參數(shù)。還需要定期地對(duì)那些接觸工件的電觸點(diǎn)進(jìn)行清潔或更換。為了維護(hù)或修理電化學(xué)沉積室，可將它們從設(shè)備10中拆下，并用備用室替換它們，或者可在設(shè)備內(nèi)就地維修。
修理或維護(hù)現(xiàn)有濕化學(xué)處理室的一個(gè)問題是，設(shè)備必須長(zhǎng)時(shí)間脫機(jī)(offline)，以便更換電極或維修處理室30內(nèi)的其他部件。當(dāng)從設(shè)備上拆下處理室30時(shí)，把預(yù)先維修過的處理室30安裝到平臺(tái)22的空位置上。當(dāng)在平臺(tái)上就地維修處理室30時(shí)，通常要將升降-旋轉(zhuǎn)單元32移開，操作者再?gòu)纳厦孢M(jìn)入處理室30中，以修理或更換室30內(nèi)的部件。例如，為了更換自耗電極，要斷開舊電極與室30的連接，然后安裝上新電極。這是非常麻煩的處理過程，因?yàn)樵谠O(shè)備10內(nèi)只有有限量的空間進(jìn)入到電極所處的室30的下部分。在對(duì)室30修理過或更換之后，要對(duì)機(jī)械手44和升降-旋轉(zhuǎn)單元32重新校準(zhǔn)，以使其與處理室一起工作。
為更換舊電極，在設(shè)備內(nèi)就地維修其他部件，或進(jìn)行室的更換所用的處理過程需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間，在這期間設(shè)備無法處理工件。此外，通常在每次修理后，要相對(duì)于已修理過的室對(duì)機(jī)械手44和升降-旋轉(zhuǎn)單元32重新校準(zhǔn)；這是一個(gè)耗時(shí)的處理過程，其增加了修理或維護(hù)處理室的停機(jī)時(shí)間。因此，當(dāng)設(shè)備10內(nèi)只有一個(gè)處理室30沒有達(dá)到規(guī)格要求時(shí)，經(jīng)常更為有效的是繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)該設(shè)備10，而不停工對(duì)那個(gè)處理室30進(jìn)行修理，直到有更多的處理室沒有達(dá)到性能規(guī)格要求。所以，單個(gè)處理室30的產(chǎn)量損失沒有象為修理或維護(hù)單獨(dú)一個(gè)處理室30而使設(shè)備10脫機(jī)所造成的產(chǎn)量損失那么嚴(yán)重。
設(shè)備10操作實(shí)踐證明，直到至少兩個(gè)處理室30沒有達(dá)到規(guī)格要求才嚴(yán)重地影響設(shè)備10的產(chǎn)量。例如，如果設(shè)備10沒有修理或維護(hù)，直到至少兩個(gè)或三個(gè)處理室30不符合規(guī)格要求，那時(shí)設(shè)備要有一段時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)只是其全部工作能力的一部分然后才脫機(jī)維護(hù)。這增加了設(shè)備10的運(yùn)轉(zhuǎn)成本，因?yàn)槠洚a(chǎn)量不僅由于設(shè)備10脫機(jī)更換濕化學(xué)處理室30和重新校準(zhǔn)機(jī)械手44時(shí)受到損失，而且在設(shè)備聯(lián)機(jī)(online)時(shí)，由于運(yùn)轉(zhuǎn)僅是其全部工作能力的一部分，也降低了產(chǎn)量。此外，當(dāng)零件尺寸縮小時(shí)，電化學(xué)沉積室30也必須始終如一地達(dá)到更高的性能規(guī)格要求。這就造成處理室30很快脫離其規(guī)格要求，從而導(dǎo)致設(shè)備頻繁地停機(jī)。因此，與修理和/或維護(hù)電化學(xué)沉積室或其他類型濕化學(xué)處理室相關(guān)的停機(jī)時(shí)間大大地增加了濕化學(xué)處理設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
發(fā)明概述本發(fā)明的目的在于具有速卸的可拆卸單元的濕化學(xué)處理室，與現(xiàn)有的濕化學(xué)處理室相比，其減少了用于修理或維護(hù)該室內(nèi)處理部件所需的停機(jī)時(shí)間。在發(fā)明的濕化學(xué)處理室的幾個(gè)實(shí)施例中，由可拆卸單元容納或其他方式安裝那些需要定期維護(hù)或修理的處理部件。例如，電極可以是容納在可拆卸單元內(nèi)的一種類型的處理部件?？赏ㄟ^將可拆卸單元從室中簡(jiǎn)單地拆下并裝上替換的可拆卸單元，快速地更換這些處理部件。通常，不必移動(dòng)升降-旋轉(zhuǎn)單元或拆下這些室的頭部組件(head assembly)，就可接近該可拆卸單元。還可利用易于接近的速卸機(jī)構(gòu)，將可拆卸單元連接到室上。象這樣，與在現(xiàn)有濕化學(xué)處理室上用于進(jìn)行相同工作所需的幾個(gè)小時(shí)相比，通過將這些部件設(shè)置在可拆卸單元中只要幾分鐘便可拆卸和更換，這就縮短了修理或維護(hù)電極或室內(nèi)其他處理部件所需的停機(jī)時(shí)間。
在一個(gè)實(shí)施例中，根據(jù)本發(fā)明的濕化學(xué)處理室包括固定單元，可分離地連接到固定單元上的可拆卸單元，與固定單元和可拆卸單元接觸的密封，以及位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)的處理部件。固定單元可具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流過該固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)，和用于將該固定單元固定連接到綜合處理設(shè)備的平臺(tái)或蓋板(deck)上的安裝夾具(mounting-fixture)?？刹鹦秵卧砂?gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或使處理流體從固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)。密封具有孔，處理流體可通過該孔在第一流動(dòng)系統(tǒng)和第二流動(dòng)系統(tǒng)之間流動(dòng)，并且處理部件可將特性(property)傳給處理流體，以便對(duì)具有亞微米微型零件的微型零件工件的表面進(jìn)行處理。
本發(fā)明的另一方面是一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的綜合設(shè)備。在一個(gè)實(shí)施例中，該設(shè)備包括具有多個(gè)定位元件和連接元件的安裝模塊(mounting moolule)。在這個(gè)實(shí)施例中，濕化學(xué)處理室可具有包含安裝夾具的固定單元，安裝夾具具有與安裝模塊中一個(gè)定位元件相接合的第一接口構(gòu)件(interface member)，以及與安裝模塊中一個(gè)連接元件相接合的第一緊固件。安裝模塊構(gòu)造為保持定位元件之間的相對(duì)位置，以便當(dāng)用另一個(gè)處理室替換該處理室時(shí)，或用另一個(gè)可拆卸單元替換某一可拆卸單元時(shí)，不必對(duì)從/向濕化學(xué)處理室傳送工件的傳送系統(tǒng)進(jìn)行重新校準(zhǔn)。
本發(fā)明的目的還在于具有至少一個(gè)在速卸可拆卸單元內(nèi)的電極的電化學(xué)沉積室，其縮短了用于更換舊電極的停機(jī)時(shí)間。在發(fā)明的電化學(xué)沉積室的幾個(gè)實(shí)施例中，將一個(gè)或更多個(gè)自耗電極安裝在可拆卸單元內(nèi)，該可拆卸單元可快速地拆除，并可用另一個(gè)可拆卸單元進(jìn)行替換。因此，通過簡(jiǎn)單地拆除具有舊電極的可拆卸單元，并裝上具有新電極的替換可拆卸單元，可迅速地用新電極更換舊電極。通常，可拆卸單元是室的下部，不必移動(dòng)升降-旋轉(zhuǎn)單元或從上面打開該室，就可接近該部位。利用可易于接近的速卸機(jī)構(gòu)，同樣將可拆卸單元連接到室上。象這樣，與通常用于更換現(xiàn)有電化學(xué)沉積室內(nèi)電極所花費(fèi)的幾個(gè)小時(shí)相比，通過將這些電極設(shè)置在只要幾分鐘便可拆除和更換的速卸可拆卸單元中，這就大大地縮短了修理或維護(hù)電極所需的停機(jī)時(shí)間。
在一個(gè)實(shí)施例中，電化學(xué)沉積室包括頭部組件和位于頭部組件下面的容器。頭部組件包括構(gòu)造為將微型零件工件定位在處理位置的工件夾(holder)，以及設(shè)置成向工件上的層提供電流的電觸點(diǎn)。容器具有固定單元，該固定單元包括用于將該固定單元連接到設(shè)備蓋板上的安裝夾具，可拆卸單元，其可分離地在安裝夾具下面與固定單元連接，從而將其定位在設(shè)備蓋板的下面，接口元件，其位于固定單元與可拆卸單元之間，以便控制處理流體在固定單元與可拆卸單元件的流動(dòng)，以及連接系統(tǒng)，其可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上。電化學(xué)沉積室還包括位于可拆卸單元內(nèi)的電極。在幾個(gè)特殊實(shí)施例中，可拆卸單元進(jìn)一步還包括用于向容器提供處理流體的流體入口，和用于從容器排放處理流體的液體出口。


圖1是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的濕化學(xué)處理設(shè)備俯視平面示意圖。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的濕化學(xué)處理室示意圖。
圖3是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例濕化學(xué)處理室的操作示意圖。
圖4A是截面圖，概略表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例在拆卸構(gòu)造中的濕化學(xué)處理室。
圖4B是截面圖，概略表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例在裝配好構(gòu)造中的濕化學(xué)處理室。
圖5是截面圖，概略表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例在拆卸構(gòu)造中的電化學(xué)沉積室。
圖6是截面圖，概略表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例在裝配好構(gòu)造中的電化學(xué)沉積室。
圖7是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的電化學(xué)沉積室截面圖。
圖8是表示沿與圖7中不同截面的電化學(xué)沉積室截面圖。
圖9是表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的電化學(xué)沉積室所用容器的截面圖。
圖10是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的電化學(xué)沉積室底部立體圖。
圖11是表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的電化學(xué)沉積室截面圖。
圖12A是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于從濕化學(xué)處理室上裝/卸可拆卸單元的支架(carriage)上部立體圖。
圖12B是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于裝/卸濕化學(xué)處理室可拆卸單元的支架下部立體圖。
圖13是根據(jù)本發(fā)明另一方面包括濕化學(xué)處理室的濕化學(xué)處理設(shè)備的俯視平面圖。
圖14是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于在濕化學(xué)處理設(shè)備中保持濕化學(xué)處理室的安裝模塊立體圖。
圖15是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于支承濕化學(xué)處理室的安裝模塊沿圖14中線15-15剖取的截面圖。
圖16是詳細(xì)表示安裝模塊蓋板部分的截面圖。
圖17是截面立體圖，概略表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例由濕化學(xué)處理設(shè)備中安裝模塊支承的濕化學(xué)處理室。
詳細(xì)描述本文所使用的術(shù)語“微型零件工件”或“工件”指的是在其上和/或其中形成微型器件的基底。典型的微型器件包括微電子電路或部件，薄膜記錄頭，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)元件，微流體器件(microfluidic devices)和其他制品。微型電機(jī)或微型機(jī)械器件也包括在該定義中，因?yàn)樗鼈兪且耘c集成電路相同的方式制造的。基底可以是半導(dǎo)體片(例如，摻雜的硅晶片或砷化鎵晶片)，不導(dǎo)電片(例如，各種陶瓷基底)或?qū)щ娖?br> 在用于在工件結(jié)構(gòu)中或其上電解或無電解沉積金屬或者電泳抗蝕劑的電化學(xué)沉積室內(nèi)容中描述了幾個(gè)用于處理微型零件工件的濕化學(xué)處理室的實(shí)施例。然而，根據(jù)本發(fā)明的濕化學(xué)處理室也可用于蝕刻，清洗，或者在半導(dǎo)體基底或其他類型工件中和/或其上進(jìn)行微型零件制造的其他類型的濕化學(xué)處理。在圖2-17中以及相關(guān)文字中陳述了幾個(gè)根據(jù)本發(fā)明濕化學(xué)處理室和綜合設(shè)備的實(shí)施例，以提供對(duì)本發(fā)明特殊實(shí)施例的全面理解。然而，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，本發(fā)明可以具有附加實(shí)施例，或者沒有圖2-17中所示實(shí)施例的若干細(xì)節(jié)也可實(shí)施本發(fā)明。
A.濕化學(xué)處理室的實(shí)施例圖2概略示出濕化學(xué)處理室100，其可快速地修理或更換部件，以縮短維護(hù)處理室所用的停機(jī)時(shí)間。處理室100包括濕化學(xué)容器102和頭部104。由設(shè)備蓋板106支承容器102，該設(shè)備可包括其他幾個(gè)處理室(未示出)和用于自動(dòng)裝卸工件的工件傳送系統(tǒng)(未示出)。容器102內(nèi)裝有處理流體和若干部件，用于引導(dǎo)處理流體或以其他方式將特性傳給處理流體，以便處理工件。由升降-旋轉(zhuǎn)單元108支承頭部104，該升降-旋轉(zhuǎn)108移動(dòng)頭部104，以裝/卸工件，并將工件定位在容器102內(nèi)的處理位置109上。當(dāng)處理室100是用于將材料電鍍到工件上的電化學(xué)沉積地點(diǎn)時(shí)，容器102一般具有流體流動(dòng)系統(tǒng)和至少一個(gè)電極，并且頭部104一般包括具有觸點(diǎn)組件的工件夾，該觸點(diǎn)組件具有多個(gè)構(gòu)造為與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。當(dāng)處理室100是清潔室或其他類型的盒時(shí)，容器102則包括用于使流體流過工件的多個(gè)流體分配器(dispensers)，并且頭部104一般包括工件夾。在(a)美國(guó)專利號(hào)6,569,297，和6,660,137，以及(b)美國(guó)出版物號(hào)2003/0068837；2003/0079989；2003/0057093；2003/0070918；2002/0032499；2002/0139678；2002/0125141；2001/0032788；2003/0127337；和2004/0013808的文獻(xiàn)中公開了適合的電化學(xué)沉積室，本文包含它們的全部?jī)?nèi)容作為參考。此外，在美國(guó)專利號(hào)6,309,524和美國(guó)申請(qǐng)?zhí)?,527,925；以及2002/0000372的文獻(xiàn)中公開了適合的工件夾，本文同樣包含其全部?jī)?nèi)容作為參考。
容器102包括安裝在蓋板106上的固定單元110和由固定單元110支承的可拆卸單元120。固定單元110可包括底架(chassis)112，第一流動(dòng)系統(tǒng)114(概略示出)，和安裝夾具116(概略示出)。底架112可以是絕緣殼體(dielectric housing)，其可與處理流體在化學(xué)性質(zhì)上相兼容。例如，底架112可以是高密度聚合物和其他適合的材料?？蓪⒌谝涣鲃?dòng)系統(tǒng)114構(gòu)造為向處理位置109提供預(yù)定的流量。在電化學(xué)沉積室中，可將第一流動(dòng)系統(tǒng)114構(gòu)造為提供具有基本均勻速度、垂直于工件的方向、遍布整個(gè)處理位置109的流量。安裝夾具116可以是凸緣或從底架112向外凸出的環(huán)，以便與蓋板106的頂面相接合?？蓪惭b夾具116構(gòu)造為如下面更加詳述的那樣，相對(duì)于蓋板106精確地設(shè)置固定單元110。固定單元110可進(jìn)一步包括處理部件118(概略示出)，以將特性傳給流過該固定單元110的處理流體。例如，處理部件118可以是在處理位置109成形電場(chǎng)的電場(chǎng)成形元件，過濾器，薄膜，噴嘴，或其他類型的流體分配器。處理部件118也可以是這些類型結(jié)構(gòu)的任何組合。在上面作為參考所包含的美國(guó)申請(qǐng)?zhí)?9/872,151和09/804,697的文獻(xiàn)中公開了用于固定單元110中第一流動(dòng)系統(tǒng)114，安裝夾具116和處理部件118的合適結(jié)構(gòu)。
容器102中的可拆卸單元120包括貯器122，構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元110第一流動(dòng)系統(tǒng)114和/或引導(dǎo)處理流體從固定單元110第一流動(dòng)系統(tǒng)114流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)124(概略示出)，以及將特性傳給處理流體的處理部件126(概略示出)。第二流動(dòng)系統(tǒng)124可包括入口和出口，用于向第一流動(dòng)系統(tǒng)114輸送處理流體和接收來自第一流動(dòng)系統(tǒng)114的處理流體。第一和第二流動(dòng)系統(tǒng)114和124共同運(yùn)行，以在處理位置提供處理流體預(yù)定流量。也可將第一和第二流動(dòng)系統(tǒng)114和124構(gòu)造為提供相對(duì)于處理部件126的正向流(forwardflow)。在正向流系統(tǒng)中，在處理流體到達(dá)處理位置109之前，處理流體流過可拆卸單元120內(nèi)的處理部件126。也可將第一和第二流動(dòng)系統(tǒng)114和124構(gòu)造為提供流過處理部件126的反向流(reverse flow)。在反向流構(gòu)造中，在處理流體已流過處理位置109之后，處理流體流過處理部件126。
將處理部件126設(shè)置在可拆卸單元102中。處理部件126可以是過濾器，薄膜或電極。另外，處理部件126可以是電極組件，其具有多個(gè)以同心構(gòu)造或其他適用于將材料電鍍到工件上的構(gòu)造所布置的電極。還有其他的實(shí)施例中，處理部件126可以是下述各件的組合過濾器，薄膜，電極，位于電極間限定各個(gè)電極間隔的電介質(zhì)隔板，具有多個(gè)噴嘴的噴桿(spray bars)，槳葉涂鍍裝置(paddle platers)，或其他用于處理微型零件工件的部件。通常，處理部件126是自耗部件(例如，自耗電極)，一種收集處理流體中微粒物質(zhì)或其他不良組分以保護(hù)工件表面的部件(例如，薄膜過濾器)、或者是其他可能沒有清潔或需要清潔的部件。因此，要對(duì)可拆卸單元120內(nèi)的處理部件126進(jìn)行定期維護(hù)或更換，以便將處理室100的性能保持在預(yù)定規(guī)格要求內(nèi)。所以，不必移動(dòng)頭部104，升降-旋轉(zhuǎn)單元108或固定單元110，只要簡(jiǎn)單地用替換可拆卸單元更換某一可拆卸單元120，就可用新的或整修過的部件快速地更換這些處理部件。
容器102還包括密封130，以防止固定單元110與可拆卸單元120之間泄漏。密封130一般設(shè)置在固定單元110和可拆卸單元120之間。密封130可包括至少一個(gè)孔，以使處理流體能在固定單元110中第一流動(dòng)系統(tǒng)114與可拆卸單元120中第二流動(dòng)系統(tǒng)124之間流動(dòng)。在許多實(shí)施例中，密封130是具有孔型式的襯墊，以使流體能在第一流動(dòng)系統(tǒng)114和第二流動(dòng)系統(tǒng)124之間流動(dòng)。密封130或襯墊一般是可壓縮件，以防止液體在流動(dòng)系統(tǒng)的各個(gè)流動(dòng)通道間發(fā)生泄漏。密封130也可由電介質(zhì)材料制成，當(dāng)流體在第一流動(dòng)系統(tǒng)114和第二流動(dòng)系統(tǒng)124之間流動(dòng)時(shí)，這種密封130將不同的液流電氣隔離。適于密封130的材料包括VITON的閉孔泡沫塑料，閉孔硅，彈性體，聚合物，橡膠和其他材料。
容器102還包括連接組件140，用于將可拆卸單元120連接到固定單元110上。連接組件140可以是速卸單元，例如一個(gè)夾子(clamp)或多個(gè)夾子，其將可拆卸單元120引導(dǎo)到相對(duì)于固定單元110的預(yù)定方位上，并將可拆卸單元120牢固地保持在固定單元110上。連接組件140可以構(gòu)造為從第一位置和第二位置移動(dòng)，在第一位置可拆卸單元120固定到固定單元110上，在第二位置可拆卸單元120可從固定單元110移開。在若干實(shí)施例中，當(dāng)連接組件140從第二位置移動(dòng)到第一位置時(shí)，連接組件140便驅(qū)動(dòng)可拆卸單元120朝向固定單元110。這種運(yùn)動(dòng)壓縮密封130，并將可拆卸單元120定位在相對(duì)于固定單元110的預(yù)定位置。連接組件140可以是夾緊環(huán)，多個(gè)卡鎖(latches)，多個(gè)螺栓，或其他類型的緊固件。
圖3概略示出為修理或維護(hù)可拆卸單元中處理部件進(jìn)行的濕化學(xué)處理室100的操作。在圖2和3中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。在第一可拆卸單元120a中的流動(dòng)系統(tǒng)124a和/或處理部件126a不再達(dá)到規(guī)格要求之后，將第一可拆卸單元120a從固定單元110上拆下。也可拆下密封130，但這是任選的。然后，通過將第二可拆卸單元120b與固定單元110對(duì)準(zhǔn)，再將連接組件140與第二可拆卸單元120b相接合，將第二可拆卸單元120b安裝起來。第二可拆卸單元120b可包括流動(dòng)系統(tǒng)124b和處理部件126b，它們是新的或是已整修過的，以便使處理室100可達(dá)到處理微型零件工件所需的規(guī)格要求。
在圖2和3中所示的處理室100的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，可用新的或已整修過的部件快速地替換需要修理或維護(hù)的部件，而無需相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間地停止處理室100的運(yùn)轉(zhuǎn)?？蓮墓潭▎卧?10上快速拆下某一可拆卸單元120，然后僅用幾分鐘的時(shí)間就可裝上替換可拆卸單元120。與需要在設(shè)備上就地修理部件或需要將整個(gè)室從設(shè)備中拆下的常規(guī)系統(tǒng)相比，這大大縮短了為修理電極或其他處理部件所用的停機(jī)時(shí)間。
該處理室100的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，可從蓋板106下面易于接近的位置對(duì)可拆卸單元120內(nèi)的處理部件126進(jìn)行更換。結(jié)果，即無需移動(dòng)固定單元110，頭部104，也無需移動(dòng)升降-旋轉(zhuǎn)單元108，就可更換舊的處理部件。這進(jìn)一步縮短了為維護(hù)處理部件所用的停機(jī)時(shí)間，因?yàn)闊o需相對(duì)于固定單元110對(duì)頭部104和升降-旋轉(zhuǎn)單元108重新定位。此外，無需相對(duì)于處理室100對(duì)向頭部104輸送工件以及從頭部104取回工件的工件傳送系統(tǒng)重新校準(zhǔn)，因?yàn)轭^部104與該工件傳送系統(tǒng)之間的位置沒有改變。由處理室100提供的大大減少為更換處理部件所用的停機(jī)時(shí)間這一優(yōu)點(diǎn)，與現(xiàn)有設(shè)備相比，可預(yù)計(jì)大大提高濕化學(xué)處理設(shè)備的生產(chǎn)能力。
圖4A是表示根據(jù)本發(fā)明容器102實(shí)施例的截面圖。在這個(gè)實(shí)施例中，固定單元110可進(jìn)一步包括多個(gè)相對(duì)于固定單元110中心線以公共半徑或其他型式布置的掛鉤(hangers)180。掛鉤180可包括保持連接組件的凸肩(shoulders)182。例如，連接組件140可以是環(huán)，其徑向向外彈出，以與掛鉤180接觸，并在打開位置使連接組件140倚靠在凸肩182上。固定單元110進(jìn)一步包括傾斜的導(dǎo)軌面183，在傾斜導(dǎo)軌面183上面的軸承環(huán)184，以及密封面185。導(dǎo)軌面183可以是環(huán)形面或是一系列以遞增半徑向上傾斜的弓形體。軸承環(huán)184可以是金屬環(huán)，其具有以遞減半徑向上傾斜的軸承面。軸承環(huán)184還可由其他材料制成，這種材料一般硬于底架112的材料。
可拆卸單元120可包括具有下表面192和上表面194的邊緣(rim)190。下表面192和上表面194可以遞增半徑向上傾斜。更準(zhǔn)確地說，上表面194可傾斜一定角度，以與固定單元110的導(dǎo)軌面183相配合?？刹鹦秵卧?20可進(jìn)一步包括構(gòu)造為夾持密封130的密封面195，滑動(dòng)槽196a和196b以及底面197。
連接組件140可包括構(gòu)造為與可拆卸單元120下表面192相接合的第一邊緣172，以及構(gòu)造為與軸承環(huán)184軸承面相接合的第二邊緣174。連接組件140可包括卡鎖(未示出)或杠桿，其徑向向內(nèi)移動(dòng)環(huán)，并將環(huán)鎖定在固定位置上。
圖4B示出已將可拆卸單元120連接到固定單元110上之后的容器102。在操作中，連接組件140徑向向內(nèi)移動(dòng)，從而使第一邊緣172與可拆卸單元120的下表面192相接合，而第二邊緣174則與軸承環(huán)184的軸承面相接合。第一邊緣172沿著下表面192的徑向向內(nèi)運(yùn)動(dòng)使可拆卸單元120向上升起朝向固定部件110。當(dāng)可拆卸單元120向上移動(dòng)時(shí)，上表面194便與導(dǎo)軌面183相接合，從而將可拆卸單元120相對(duì)于固定單元110定位在預(yù)定位置上。連接組件140的第二邊緣174沿著軸承環(huán)184的傾斜面徑向向內(nèi)移動(dòng)，以將密封130夾緊在密封面185與195之間。連接組件140上的杠桿(未示出)可從打開位置移動(dòng)到關(guān)閉位置，以在連接組件140中產(chǎn)生圓周應(yīng)力，將可拆卸單元120牢固地保持在固定單元110上。
B.電化學(xué)沉積容器的一般實(shí)施例圖5概略示出電化學(xué)沉積室100a的截面圖，該電化學(xué)沉積室100a可快速地更換電極和其他部件，以縮短為維護(hù)處理室所用的停機(jī)時(shí)間。電化學(xué)沉積室100a的若干方面都與參照?qǐng)D2-4B所述的濕化學(xué)處理室100相似。因此在圖2-5中相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。例如，處理室100a包括濕化學(xué)容器102和頭部104(概略示出)。
在本實(shí)施例中，室100a中的處理部件118是電場(chǎng)成形元件或場(chǎng)成形模塊(概略示出)，其在處理位置109內(nèi)成形電場(chǎng)。場(chǎng)成形元件可以是靜態(tài)電介質(zhì)插入件，用來控制處理位置109處的電流密度。場(chǎng)成形元件還可以是動(dòng)態(tài)部件，在電鍍工作循環(huán)期間，該動(dòng)態(tài)部件移動(dòng)，以便改變或以其他方式控制處理位置109處的電場(chǎng)。本實(shí)施例中的處理部件118還可以是過濾器，薄膜，或這些類型結(jié)構(gòu)的任意組合。
在圖5中所示室100a的實(shí)施例中，可拆卸單元120內(nèi)的處理部件126包括一個(gè)或多個(gè)電極(概略示出)以及任選的處理部件150(概略示出)。任選的處理部件150可以是過濾器和/或薄膜。下面描述幾個(gè)電極，過濾器，和薄膜的實(shí)施例。在正向流系統(tǒng)中，在處理流體到達(dá)處理位置109之前，至少一部分處理流體流過可拆卸單元120內(nèi)的電極。也可將第一和第二流動(dòng)系統(tǒng)構(gòu)造為提供反向流，在反向流中在處理流體已流過處理位置109之后，至少一部分處理流體流過電極。
圖6表示可拆卸單元120已連接到固定單元110上之后室100a的容器102。在操作中，根據(jù)上面圖4B中所示室100的描述，將可拆卸單元120連接到固定單元110上。
圖5和6中所示處理室100a的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，無需相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間停止處理室100的運(yùn)轉(zhuǎn)，就可用新的或已整修過的電極迅速地替換舊電極。可從固定單元110上迅速地拆下具有舊電極130的可拆卸單元120，然后僅用幾分鐘的時(shí)間就可裝上具有新電極130的替換可拆卸單元120。與需要在設(shè)備上就地修理部件或需要將整個(gè)室從設(shè)備中拆下的常規(guī)系統(tǒng)相比，這大大縮短了為修理電極或其他處理部件所用的停機(jī)時(shí)間。
該處理室100的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，可從蓋板106下面易于接近的位置對(duì)可拆卸單元120內(nèi)的電極和/或處理部件150進(jìn)行更換。結(jié)果，既不必移動(dòng)固定單元110，頭部104，也無需移動(dòng)升降-旋轉(zhuǎn)單元108，就可更換舊的處理部件。這樣進(jìn)一步縮短了為維護(hù)處理部件所用的停機(jī)時(shí)間，因?yàn)闊o需相對(duì)于固定單元110對(duì)頭部104和升降-旋轉(zhuǎn)單元108重新定位。
C.多電極電化學(xué)沉積容器的實(shí)施例圖7-9示出具有多個(gè)電極容器的實(shí)施例方面，這些電極用于材料的電化學(xué)沉積。在具有四個(gè)位于可拆卸單元內(nèi)獨(dú)立操作的電極的上下文中描述了這些實(shí)施例的許多方面。每個(gè)電極可獨(dú)立于其他電極進(jìn)行控制，這樣使每個(gè)電極可產(chǎn)生單獨(dú)的電流密度，其可在電鍍工作循環(huán)期間保持不變或可動(dòng)態(tài)變化。在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?9/849,505；09/866,391；以及09/866,463中闡述了適用于操作電極的處理過程，本文包含其全部?jī)?nèi)容作為參考。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，多個(gè)電極容器的其他實(shí)施例可具有兩個(gè)或多個(gè)電極的任意組合，從而本發(fā)明不受具有四個(gè)電極的限制。
圖7是示出容器400的截面圖，其具有構(gòu)造為牢固連接到蓋板(未示出)上的固定單元402和與固定單元402可分離連接的可拆卸單元404。容器400的一些方面與室100a的那些方面相似，因此圖5-9中相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。利用前面所述的連接組件140和掛鉤180，可將可拆卸單元404可分離地連接到固定單元402上。因此，如上所述，根據(jù)圖5和6所示的實(shí)施例，可在短時(shí)間內(nèi)從固定單元402上拆下可拆卸單元404。
固定單元402包括具有流動(dòng)系統(tǒng)414的底架410，該流動(dòng)系統(tǒng)414引導(dǎo)處理流體流過底架410。流動(dòng)系統(tǒng)414是前面所述第一流動(dòng)系統(tǒng)114的一個(gè)特殊實(shí)施例。流動(dòng)系統(tǒng)414可以是連接到底架410上的獨(dú)立部件，或者流動(dòng)系統(tǒng)414可以是(a)形成在底架410中的流體通道和(b)連接到底架410上的獨(dú)立部件的組合。在這個(gè)實(shí)施例中，流動(dòng)系統(tǒng)414包括接收來自可拆卸單元404流動(dòng)的處理流體的入口415，具有多個(gè)縫隙(slot)417的第一流動(dòng)導(dǎo)向件416和前室(antechamber)418。在第一流動(dòng)導(dǎo)向件416中的縫隙417徑向地向前室418分配所述流。
流動(dòng)系統(tǒng)414進(jìn)一步包括第二流動(dòng)導(dǎo)向件420，其接收來自于前室418的流體。第二流動(dòng)導(dǎo)向件420可包括具有多個(gè)開口422的側(cè)壁421和具有多個(gè)小孔425的噴流器(flow projector)424。開口422可以是在側(cè)壁421周圍徑向布置的水平縫隙，以便向噴流器424提供徑向向內(nèi)噴射的多個(gè)流動(dòng)成分(flow components)。在噴流器上的小孔425可以是多個(gè)細(xì)長(zhǎng)縫隙或是其他開口，它們向上傾斜且徑向向內(nèi)。噴流器424接收來自開口422的徑向流動(dòng)成分，并使該流改變方向穿過小孔425。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，開口422和小孔425可具有若干不同的構(gòu)型。例如，小孔425可以徑向向內(nèi)噴流，并不向上傾斜，或者小孔425可以向上傾斜比圖7中所示角度更大的角度。因此，小孔可具有從0°-45°的傾斜范圍，并在幾個(gè)特殊實(shí)施例中，小孔可以向上傾斜大約5°-25°的角度。
固定單元402還可包括場(chǎng)成形插入件440，用于成形電場(chǎng)，并在處理位置處引導(dǎo)處理流體的流動(dòng)。場(chǎng)成形插入件440是前面所述固定單元110內(nèi)處理部件118的一個(gè)特殊實(shí)施例。在這個(gè)實(shí)施例中，場(chǎng)成形插入件440具有帶第一邊緣443a的第一隔板442a，帶第二邊緣443b的第二隔板442b以及帶第三邊緣443c的第三隔板442c。第一邊緣443a限定第一開口444a。第一邊緣443a和第二邊緣443b限定第二開口444b，而第二邊緣443b和第三邊緣443c則限定第三開口444c。固定單元402可進(jìn)一步包括具有邊緣446的堰(weir)445，在其上處理流體可流到回收槽(recovery channel)447內(nèi)。第三邊緣443c和堰445限定第四開口444d。利用多個(gè)螺栓或螺釘448，將場(chǎng)成形單元440和堰445連接到固定單元402上，并且將一些密封449定位在固定單元402與場(chǎng)成形單元440以及堰445之間。
圖8是圖7中所示容器400沿不同截面剖取的截面圖，其更為詳細(xì)地示出固定單元402與可拆卸單元404之間的相互作用。一起參照?qǐng)D7和8，可拆卸單元404包括裝有電極組件和第二流動(dòng)系統(tǒng)的貯器510。電極組件是前面所述處理部件126的一個(gè)特殊實(shí)施例，而第二流動(dòng)系統(tǒng)是前面所述第二流動(dòng)系統(tǒng)124的一個(gè)特殊實(shí)施例。貯器510也如前面所述那樣可分離地連接到底架410上。在本實(shí)施例中，貯器510包括多個(gè)分隔件(dividers)或壁512，其限定多個(gè)間隔513。在圖7和8中所示的特殊實(shí)施例具有四個(gè)間隔513，但在其他實(shí)施例中，貯器510可包括任意數(shù)量的間隔，以便單獨(dú)地容納電極。間隔513還可限定第二流動(dòng)系統(tǒng)中可流過處理流體的部分。
可拆卸單元404的第二流動(dòng)系統(tǒng)包括向固定單元402入口415提供流動(dòng)的入口515，以及接收從間隔513來的流動(dòng)流體的出口516。在圖5中所示的特殊實(shí)施例中，固定單元402中的流動(dòng)系統(tǒng)414進(jìn)一步包括前室418和第一間隔513之間的第一通道520a，第一開口444b和第二間隔513之間的第二通道520b，第三開口444c和第三間隔513之間的第三通道520c，以及第四開口444d與第四間隔513之間的第四通道520d。
容器400還包括固定單元402和可拆卸單元404之間的接口元件530。在這個(gè)實(shí)施例中，接口元件530是具有多個(gè)開口532的密封，以使通道520a-d與相應(yīng)間隔513之間能液體連通。密封是電介質(zhì)材料，其電氣隔離在間隔513和相應(yīng)通道520a-d內(nèi)的電場(chǎng)。
容器400可進(jìn)一步包括多個(gè)位于可拆卸單元404內(nèi)的電極。在圖7和8所示的實(shí)施例中，容器400包括第一間隔513內(nèi)的第一電極551，第二間隔513內(nèi)的第二電極552，第三間隔513內(nèi)的第三電極553，第四間隔513內(nèi)的第四電極554。電極551-554可以是彼此同心布置的環(huán)形或圓形導(dǎo)電元件。然而，電極可以是弓形體或具有其他形狀和構(gòu)造。在這個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)電極均與貫穿可拆卸單元404中貯器510的電氣連接器560連接，從而使電極與電源相連接。在整個(gè)電鍍工作循環(huán)期間電極551-554可各自提供恒定電流，或者在電鍍工作循環(huán)期間，根據(jù)工件的特殊參數(shù)，通過一個(gè)或多個(gè)電極551-554可使電流發(fā)生變化。此外，每個(gè)電極可具有與其他電極電流不同的唯一電流。
參照?qǐng)D8，共同操作固定單元402，可拆卸單元404以及電極551-554，以提供預(yù)定的處理流體流動(dòng)分布(flow profile)以及處理位置109處的電氣分布。在這個(gè)特殊實(shí)施例中，處理流體通過入口515和415進(jìn)入并流過第一流動(dòng)導(dǎo)向件416。然后，流體流動(dòng)分叉一部分流體經(jīng)由前室418向上流過第二流體導(dǎo)向件420，另一部分流體經(jīng)由通道520a向下橫穿第一電極551。流過第二流動(dòng)導(dǎo)向件420向上的流體穿過噴流器424和第一開口444a。因此，第一電極551通過由第一隔板442a邊緣443a限定的第一開口444a提供有效暴露于處理位置109的電場(chǎng)(圖4)。所以，根據(jù)邊緣443a的構(gòu)造，開口444a成形第一電極551的場(chǎng)。一部分流體向上越過邊緣443a，再通過處理位置109，然后流過堰445的邊緣446。處理流體的另一部分向下穿過各個(gè)通道520b-d到電極552-554。穿過第二通道520b的這部分流體越過第二電極552，以使由第一邊緣443a和第二邊緣443b限定的開口444b成形第二電極552的電場(chǎng)。同樣地，穿過第三通道520c的流體越過第三電極553，而穿過第四通道520d的流體越過第四電極554。因此，開口444c成形第三電極553的電場(chǎng)，而開口444d成形第四電極554的電場(chǎng)。然后，流體穿過間隔513并通過出口516從容器400流出。
上述流型是反向流，在這種反向流中電極551-554在處理位置109的下游，從而將處理流體中由電極551-554產(chǎn)生的氣泡或微粒物質(zhì)從處理位置109處帶走。這種下游構(gòu)造預(yù)計(jì)對(duì)自耗電極特別有用，因?yàn)樽院碾姌O會(huì)產(chǎn)生氣泡和微粒物質(zhì)，而這種現(xiàn)象可能造成在工件電鍍表面上出現(xiàn)缺陷。
與現(xiàn)有的電化學(xué)沉積室相比，預(yù)計(jì)容器400大大縮短與修理多個(gè)電極相關(guān)的停機(jī)時(shí)間。參照?qǐng)D8，通過簡(jiǎn)單地打開連接組件140，將可拆卸單元404從固定單元402上拆下，在固定單元402下面設(shè)置具有新電極的替換可拆卸單元，然后再關(guān)閉連接組件140，這樣就能將所有的電極551-554更換成新電極。由于可拆卸單元404位于固定單元402的外部，因此操作者無需象在常規(guī)室內(nèi)那樣要穿過固定單元402的頂部開口到達(dá)電極551-554位置。這不僅能更快地接近電極551-554，而且還比常規(guī)室節(jié)省時(shí)間，因?yàn)闊o需拆下場(chǎng)成形插入件440而后重新安裝。事實(shí)上，當(dāng)該室脫機(jī)時(shí)無需從容器上拆下電極551-554，因?yàn)橐徊鹣戮哂信f電極的可拆卸單元就可隨時(shí)安裝替換可拆卸單元。因此，具有容器102或400實(shí)施例的電化學(xué)沉積室返回聯(lián)機(jī)的時(shí)間大大少于常規(guī)室的時(shí)間。
圖9是容器400另一實(shí)施例的截面圖。這個(gè)實(shí)施例與圖7和8中所示的實(shí)施例相似，因此，在這些附圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。圖9中所示容器400的實(shí)施例包括具有襯墊620和襯里630的接口元件610?？蓪⒁r墊620布置在固定單元402和可拆卸單元404之間，而將襯里630設(shè)置在可拆卸單元404和/或固定單元402中。襯里630可以是薄膜或過濾器，以其截獲間隔513內(nèi)的氣泡或微粒物質(zhì)，從而防止它們轉(zhuǎn)移到處理位置109處。如果是過濾器，則根據(jù)正向流系統(tǒng)或是反向流系統(tǒng)的流動(dòng)，處理流體流過固定單元402和可拆卸單元404之間的襯里(liner)630。如果是薄膜，則襯里不能使流體透過流動(dòng)，但允許離子從電極551-554穿過相應(yīng)的通道520a-d，從而達(dá)到離子電鍍?cè)诠ぜ谋砻嫔稀Ｒr里630可具有多個(gè)位于間隔513和/或通道520a-d中的離散部分(discrete sections)。襯墊620可與襯里630連接，從而可將接口元件610作為一個(gè)單獨(dú)部件安裝和拆除。
圖9中所示容器400的實(shí)施例預(yù)計(jì)用在氣泡和微粒物質(zhì)產(chǎn)生缺陷的地方非常有效。應(yīng)當(dāng)理解，襯里630還會(huì)進(jìn)一步削弱氣泡或微粒物質(zhì)到達(dá)處理位置109。將圖9中所示的容器400應(yīng)用到以下場(chǎng)合也是很有效的，即在固定單元中使用一種處理流體，而在可拆卸單元中使用另一種處理流體。在這種實(shí)施例中，可拆卸襯里630可以是薄膜，其允許離子從間隔513流到通道520a-d，但不允許處理流體在間隔513與通道520a-d之間流動(dòng)。
圖10是表示根據(jù)本發(fā)明另外實(shí)施例的容器400各個(gè)方面的底部立體圖。容器400可進(jìn)一步包括將入口515與處理流體源(supply)相連接的第一配件701，和將出口516與處理流存儲(chǔ)槽(holding tank)相連接的第二配件702。在一個(gè)特殊實(shí)施例中，配件701是陰螺紋管接頭(female fitting)，而入口515是陽螺紋管接頭(male fitting)，并且配件702是陽螺紋管接頭，而出口516是陰螺紋管接頭。通過使陰螺紋管接頭701連接入口515和使陽螺紋管接頭702連接出口516，處理流體供應(yīng)管線只能連接到入口515上，處理流體流出管線只能連接到出口516上。因此，這種構(gòu)造確保了可拆卸單元404正確的安裝。
圖10還更為詳細(xì)地示出連接組件140。在這個(gè)實(shí)施例中，連接組件140包括夾緊環(huán)708和卡鎖710，該卡鎖710在具有第一直徑的第一位置和具有小于第一直徑的第二直徑的第二位置之間移動(dòng)夾緊環(huán)。當(dāng)卡鎖710將夾緊環(huán)從第一位置移動(dòng)到第二位置時(shí)，縮小了夾緊環(huán)708的直徑，從而將可拆卸單元404夾緊在固定單元402上。
圖11表示根據(jù)本發(fā)明的容器另一個(gè)實(shí)施例。圖11的若干零件都與前面有關(guān)圖7-10所述的那些零件相似。圖11中所示的容器800具有固定單元810，利用夾子830可分離地連接到固定單元810上的可拆卸單元820，以及在固定單元810和可拆卸單元820之間的接口元件840。容器800與容器400之間的主要區(qū)別在于，容器800具有非平面的接口元件840，而容器400具有平面的接口元件530。
D.用于安裝/拆除可拆卸單元的支架實(shí)施例前面所述的室可進(jìn)一步包括該室下面的支架，用于安裝和拆除可拆卸單元。下面就圖7-10中所示的可拆卸單元404方面描述支架的幾個(gè)實(shí)施例，但是應(yīng)當(dāng)理解，該支架可以與本發(fā)明的任何可拆卸單元一起工作。
圖12A是用于安裝和拆除可拆卸單元404(圖7)的支架900頂部立體圖。支架900可包括安裝到設(shè)備蓋板106(圖2)下面的托架(bracket)910。該支架900可進(jìn)一步包括導(dǎo)軌912和終點(diǎn)擋板(endstop)914。導(dǎo)軌912接收滑槽(slide channels)196a和196b(圖4A-B，5，6，8和10)，而終點(diǎn)擋板914與可拆卸單元404的圓形部分接合。在操作中，操作者沿導(dǎo)軌912滑動(dòng)可拆卸單元404，直到該可拆卸單元與終點(diǎn)擋板914相接合。
圖12B是表示支架900另外方面的底部立體圖。支架900可進(jìn)一步包括具有手柄922的執(zhí)行機(jī)構(gòu)(actuator)920，軸924，和由軸924移動(dòng)的升降桿(lifters)926。執(zhí)行機(jī)構(gòu)920可進(jìn)一步包括與升降桿926連接并位于接頭(joint)929中的連桿928。因此，把手的旋轉(zhuǎn)則轉(zhuǎn)動(dòng)接頭929中的連桿928，從而升起和降低升降桿926。為了安裝可拆卸單元，將執(zhí)行機(jī)構(gòu)920移動(dòng)到圖12B中所示的第一位置，并沿導(dǎo)軌912插入可拆卸單元。然后向上升起(箭頭R)執(zhí)行機(jī)構(gòu)920到第二位置，這樣造成升降桿926將可拆卸單元404升高到固定單元402。當(dāng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)920向上旋轉(zhuǎn)時(shí)，把手922通過托架910底部凸緣931中的間隙930。通過沿著軸924軸向地滑動(dòng)把手922，將執(zhí)行機(jī)構(gòu)920保持在第二位置，從而使凸緣931支撐把手922。
支架900進(jìn)一步增強(qiáng)了可拆卸單元相互更換的過程。首先，支架900確?？刹鹦秵卧?04普遍與固定單元402對(duì)準(zhǔn)。其次，該支架確保入口515和出口516與供應(yīng)管線和排出管線對(duì)準(zhǔn)。第三，該支架使可拆卸單元404的安裝和拆除更加容易，因?yàn)楫?dāng)同時(shí)操作連接組件140時(shí)，操作者不必將可拆卸單元404壓靠在固定單元402上。因此，該支架預(yù)計(jì)進(jìn)一步縮短可拆卸單元相互更換所用的時(shí)間。
E.綜合設(shè)備的實(shí)施例圖13是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的綜合設(shè)備1300一部分的俯視平面圖。在這個(gè)實(shí)施例中，綜合設(shè)備1300包括框架1310，裝到框架1310的尺寸穩(wěn)定的安裝模塊1320，多個(gè)濕化學(xué)處理室1370和多個(gè)升降-旋轉(zhuǎn)單元1380。設(shè)備1300可還包括傳送系統(tǒng)1390。安裝模塊1320支承處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380和傳送系統(tǒng)1390。如參照前面圖2-12B所描述的那樣，設(shè)備1300中的濕化學(xué)處理室1370可包括具有固定單元和可拆卸單元的容器。
設(shè)備1300的框架1310具有多個(gè)柱(posts)1311和橫桿(cross-bars)1312，它們以現(xiàn)有技術(shù)已知的方式焊接在一起。安裝模塊1320至少部分地裝在框架1310中。在一個(gè)實(shí)施例中，由框架1310的橫桿1312支承安裝模塊1320，但是安裝模塊1320可以直接放在設(shè)施的地面或其他實(shí)施例中的其他結(jié)構(gòu)上。
安裝模塊1320是剛性的穩(wěn)定結(jié)構(gòu)，其保持濕化學(xué)處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380和傳送系統(tǒng)1390之間的相對(duì)位置。安裝模塊1320的一個(gè)方面是它非常堅(jiān)硬，并具有比框架1310更大的結(jié)構(gòu)完整性，使得濕化學(xué)處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380和傳送系統(tǒng)1390之間的相對(duì)位置不會(huì)隨時(shí)間發(fā)生變化。安裝模塊1320的另一個(gè)方面是其包括在精確位置上具有定位元件的尺寸穩(wěn)定的蓋板1330，用于將處理室1370和升降-旋轉(zhuǎn)單元1380定位在蓋板1330已知的位置上。在一個(gè)實(shí)施例中(未示出)，可直接將傳送系統(tǒng)1390安裝在蓋板1330上。在其他實(shí)施例中，安裝模塊1320還具有尺寸穩(wěn)定的平臺(tái)1350，并將傳送系統(tǒng)1390安裝在該平臺(tái)1350上。蓋板1330和平臺(tái)1350彼此之間牢固地定位，使得在蓋板1330上的定位元件和在平臺(tái)1350上的定位元件相互之間不會(huì)移動(dòng)。因此，安裝模塊1320提供這樣一種系統(tǒng)，其中，可拆除濕化學(xué)處理室1370和升降-旋轉(zhuǎn)單元1380，并按照將替換部件準(zhǔn)確地定位在蓋板1330精確位置上的方式，用互換部件將其替換。
設(shè)備1300特別適用于以下應(yīng)用場(chǎng)合，即具有嚴(yán)格技術(shù)要求，對(duì)濕化學(xué)處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380或傳送系統(tǒng)1390需要頻繁維護(hù)。通過簡(jiǎn)單地從處理蓋板1330上拆下該室，并用具有構(gòu)造為與蓋板1330上定位元件對(duì)接的安裝硬件的互換室將該室1370更換，可對(duì)濕化學(xué)處理室1370進(jìn)行修理或維護(hù)。因?yàn)榘惭b模塊1320是尺寸穩(wěn)定的，并且替換處理室1370的安裝硬件與蓋板1330對(duì)接，所以無需對(duì)傳送系統(tǒng)1390重新校準(zhǔn)，便可在蓋板1330上互換室3170。這樣預(yù)計(jì)大大縮短與修理或維護(hù)處理室1370有關(guān)的停機(jī)時(shí)間，從而使設(shè)備在具有嚴(yán)格性能規(guī)格要求的應(yīng)用中可保持高的生產(chǎn)量。當(dāng)必須拆下固定單元110(圖2)以便對(duì)室修理時(shí)，設(shè)備1300的這一方面特別有用。
傳送系統(tǒng)1390從與安裝模塊1320連接的裝/卸模塊1398中取回工件。傳送系統(tǒng)1390包括軌道1392，機(jī)械手1394和至少一個(gè)末端操縱裝置(end-effector)1396。將軌道1392裝到平臺(tái)1350上。更準(zhǔn)確地說，軌道1392與平臺(tái)1350上的定位元件對(duì)接，以便相對(duì)于連接到蓋板1330上的室1370和升降-旋轉(zhuǎn)單元1380對(duì)軌道1392準(zhǔn)確地定位。因此，機(jī)械手1394和末端操縱裝置1396可在由安裝模塊1320形成的固定的、尺寸穩(wěn)定的基準(zhǔn)框架中移動(dòng)。設(shè)備1300可進(jìn)一步包括多個(gè)與框架1310連接的面板1399，以將安裝模塊1320，濕化學(xué)處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380和傳送系統(tǒng)1390封裝在箱內(nèi)。在其他實(shí)施例中，可在處理蓋板1330上面地區(qū)內(nèi)的拆除設(shè)備1300一側(cè)或兩側(cè)的面板1399，以便提供一敞開式的設(shè)備。
F.尺寸穩(wěn)定的安裝模塊的實(shí)施例圖14是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用在設(shè)備1300中的安裝模塊1320立體圖。在這個(gè)實(shí)施例中，蓋板1330包括剛性第一面板1331和在第一面板1331下面重疊的剛性第二面板1332。第一面板1331可以是外部構(gòu)件，而第二面板1332可以是與外部構(gòu)件并置的內(nèi)部構(gòu)件。第一面板1331和第二面板1332也可具有與圖14中構(gòu)造不同的構(gòu)造。將多個(gè)室插孔1333設(shè)置在第一面板1331和第二面板1332中，用于接收濕化學(xué)處理室1370(圖13)。
蓋板1330可進(jìn)一步包括多個(gè)穿過第一面板1331以精確型式排列的定位元件1334和連接元件1335。定位元件1334可以是在第一面板1331內(nèi)精確位置處機(jī)械加工的孔，并具有精確尺寸，用于接收與濕化學(xué)處理室1370(圖13)對(duì)接的暗釘(dowels)或銷。在其他實(shí)施例中，定位元件1334可以是銷，例如圓形銷或錐形銷，它們從第一面板1331向上凸出，由濕化學(xué)處理室1370中的配合結(jié)構(gòu)接收。蓋板1330具有位于每個(gè)室插孔1333處的第一組定位元件1334，以將各個(gè)濕化學(xué)處理室準(zhǔn)確地定位在安裝模塊1320的精確位置處。蓋板1330還可包括靠近各個(gè)插孔1333的第二組定位元件1334，以將各個(gè)升降-旋轉(zhuǎn)單元1380準(zhǔn)確地定位在安裝模塊1320的精確位置處。連接元件1335可以是第一面板1331中的螺紋孔，用以接收螺栓，以便將室1370和升降-旋轉(zhuǎn)單元1380固定在蓋板1330上。
安裝模塊1320還包括沿蓋板1330縱向外邊緣的外側(cè)板1360，沿蓋板1330縱向內(nèi)邊緣的內(nèi)側(cè)板1361，以及與蓋板1330端部連接的端板1362和1364。傳送平臺(tái)1350與內(nèi)側(cè)板1361以及端板1362和1364連接。傳送平臺(tái)1350包括定位元件1354，用于將傳送系統(tǒng)1390的軌道1392(圖13)準(zhǔn)確地定位在安裝模塊1320上。傳送平臺(tái)1350可進(jìn)一步包括連接元件，例如螺紋孔，用以接收螺栓，以便將軌道1392固定在平臺(tái)1350上。
圖15是表示蓋板1330內(nèi)部結(jié)構(gòu)的一個(gè)適當(dāng)實(shí)施例的截面圖，而圖16是圖15中所示蓋板一部分的詳圖。在這個(gè)實(shí)施例中，蓋板1330包括支撐(bracing)1340，例如托梁，其在外側(cè)板1360和內(nèi)側(cè)板1361之間橫向延伸。第一面板1331連接到支撐1340的上側(cè)，而第二面板1332則連接到支撐1340的下側(cè)。蓋板1330可進(jìn)一步包括多個(gè)直通螺栓1342和螺母1344，以將第一面板1331和第二面板1332固定在支撐1340上。如在圖16中清楚地表示出，支撐1340具有多個(gè)孔1345，直通螺栓1342貫穿該孔。螺母1344可以焊接到螺栓1342上，以增強(qiáng)這些部件之間的連接。
蓋板1330的面板和支撐可由不銹鋼，其他金屬合金，致密鑄造(solid cast)材料或纖維增強(qiáng)合成物制成。例如，面板和板可由Nitronic 50不銹鋼，Hastelloy(哈司特鎳合金)625合金鋼，或致密鑄造填充云母的環(huán)氧樹脂制成。纖維增強(qiáng)合成物可包括碳纖維或硬化樹脂的Kevlar(芳綸)網(wǎng)狀物(mesh)。用于面板1331和1332的材料必須是高硬度的并與在濕化學(xué)處理中所用的化學(xué)制品相兼容。不銹鋼充分適合于很多用途，因?yàn)槠鋱?jiān)固，且不受很多在濕化學(xué)處理中使用的電解溶液或清潔溶液所影響。在一個(gè)實(shí)施例中，面板和板1331，1332，1360，1361，1362和1364是0.125到0.375英寸厚的不銹鋼，更準(zhǔn)確地說，它們可以是0.250英寸厚的不銹鋼。然而，在其他實(shí)施例中面板和板可具有不同的厚度。
支撐1340也可以是不銹鋼，纖維增強(qiáng)合成物材料，其他金屬合金和/或致密鑄造材料。在一個(gè)實(shí)施例中，支撐可以是0.5到2.0英寸寬的不銹鋼托梁，更準(zhǔn)確地說，是1.0英寸寬×2.0英寸高的不銹鋼托梁。在其他實(shí)施例中，支撐1340可以是蜂窩芯子(honey-comb core)，輕質(zhì)泡沫金屬或其他類型的泡沫體，聚合物，玻璃纖維或其他材料。
通過組裝蓋板1330各部分，然后再將端板1362和1364焊接或另外粘附于蓋板1330各部分上構(gòu)造安裝模塊1320。通常不用焊接，而用直通螺栓1342將蓋板1330各部件固定在一起。利用焊接和/或緊固件，將外側(cè)板1360和內(nèi)側(cè)板1361連接到蓋板1330以及端板1362和1364上。然后再將平臺(tái)1350牢固地連接到端板1362和1364，以及內(nèi)側(cè)板1361上。
安裝模塊1320提供一個(gè)重型尺寸空間穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，它將蓋板1330上的定位元件1334與平臺(tái)1350上的定位元件1354之間的相對(duì)位置保持在這種范圍內(nèi)，即無需每次在把替換處理室1370或升降-旋轉(zhuǎn)單元1380裝到蓋板1330上時(shí)就對(duì)傳送系統(tǒng)1390重新校準(zhǔn)。通常安裝模塊1320是剛性結(jié)構(gòu)，當(dāng)將濕化學(xué)處理室1370，升降-旋轉(zhuǎn)單元1380以及傳送系統(tǒng)1390裝到安裝模塊1320上時(shí)，這種剛性結(jié)構(gòu)有足夠的強(qiáng)度來保持定位元件1334和1354之間的相對(duì)位置。在一些實(shí)施例中，安裝模塊1320構(gòu)造為將定位元件1334和1354之間的相對(duì)位置保持在預(yù)定原始位置(reference positions)的0.025英寸范圍內(nèi)。在其他實(shí)施例中，安裝模塊構(gòu)造為將定位元件1334和1354間的相對(duì)位置保持在預(yù)定原始位置的大約0.005-0.015英寸范圍內(nèi)。照這樣，蓋板1330經(jīng)常保持在大約0.025英寸范圍內(nèi)的均勻平面，在更特殊的實(shí)施例中大約在0.005-0.015英寸。
G.濕化學(xué)處理室的實(shí)施例圖17是表示濕化學(xué)處理室1370與蓋板1330之間接口的立體截面圖。室1370可包括前面所述具有安裝夾具116的處理容器102和400。安裝夾具116和容器102/400可以是連接在一起的單獨(dú)部件。在這種情況下，安裝夾具116可由尺寸穩(wěn)定的材料制成，例如不銹鋼，纖維增強(qiáng)材料，合金鋼，致密鑄造材料或其他適合的剛性材料。在其他實(shí)施例中，安裝夾具116與容器102/400成整體，并由高密度聚合物和其他適合的材料構(gòu)成。
圖17中所示的安裝夾具116包括多個(gè)接口構(gòu)件1374，其布置成型式與蓋板1330上的定位元件1334對(duì)準(zhǔn)。定位元件1334和接口構(gòu)件1374同樣構(gòu)造為彼此配合，從而精確地定位安裝夾具116，并因此將室1370定位于蓋板1330上的預(yù)定操作位置上，以便與升降-旋轉(zhuǎn)單元1380和傳送系統(tǒng)1390一起工作。定位元件1334可以是一組蓋板1330中精密機(jī)加的孔和容納在這些孔中的暗釘，而接口構(gòu)件1374可以是在安裝夾具116中精密機(jī)加的孔，以與暗釘相配合。暗釘可以是圓柱形，球形，錐形和其他適合形狀的銷，以在相對(duì)于蓋板1330的精確位置上對(duì)準(zhǔn)并設(shè)置安裝夾具116。安裝夾具116可進(jìn)一步包括多個(gè)布置成與蓋板中1330連接元件1335對(duì)準(zhǔn)的緊固件1375，緊固件1375可以是螺栓或其他螺紋構(gòu)件，用以牢固地接合連接元件1335，以便將安裝夾具116固定在蓋板1330上。因此，安裝夾具116將處理容器102/400保持在蓋板上的固定精確位置上。
從上述內(nèi)容中，應(yīng)當(dāng)理解，為了具體說明，本文已對(duì)本發(fā)明的特殊實(shí)施例進(jìn)行了描述，但在不違背本發(fā)明的精神和范圍條件下，可以作各種修改。因此，本發(fā)明不受限制，但所附權(quán)利要求除外。
權(quán)利要求
1.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的室，包括固定單元，其具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流過該固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)和用于將該固定單元牢固地連接到設(shè)備支撐構(gòu)件上的安裝夾具；可拆卸單元，其具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或引導(dǎo)處理流體從固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)，以及將特性傳給處理流體的處理部件，用于對(duì)具有亞微米微型零件的微型零件工件上的表面進(jìn)行處理；和連接系統(tǒng)，其可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上，其中，連接系統(tǒng)具有將可拆卸單元固定到固定單元上的第一位置，和可將可拆卸單元從固定單元上拆下來的第二位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的室，進(jìn)一步包括位于固定單元上面的頭部，其中該頭部包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置的工件夾。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中處理部件包括電極組件，該電極組件具有多個(gè)用電介質(zhì)分隔件將它們相互隔開可獨(dú)立操作的電極，且該電極組件設(shè)置在可拆卸單元內(nèi)；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中，處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的過濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中，處理部件包括薄膜，所述薄膜構(gòu)造為將電流傳導(dǎo)穿過該薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中，連接組件包括構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的室，進(jìn)一步包括固定單元第一密封面與可拆卸單元第二密封面之間的密封。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中固定單元進(jìn)一步包括以遞增半徑向上傾斜的傾斜導(dǎo)軌面、具有以遞減半徑向上傾斜的軸承面的傾斜軸承環(huán)、以及第一密封面；可拆卸單元進(jìn)一步包括邊緣和第二密封面，該邊緣具有以遞增半徑向上傾斜的下表面和遞增半徑向上傾斜的上表面；以及密封，其位于第一與第二密封面之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極和電極與處理位置之間的過濾器；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
12.根據(jù)權(quán)利要求1的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極和電極與處理位置之間的薄膜，其中，該薄膜構(gòu)造為傳導(dǎo)電流；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
13.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的室，包括固定單元，其具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流過該固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)和用于將該固定單元牢固地連接到設(shè)備支撐面上的安裝夾具；可拆卸單元，其可分離地連接到固定單元上，該可拆卸單元具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或引導(dǎo)處理流體從固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)；密封，其位于固定單元與可拆卸單元之間，以防止處理流體在固定單元與可拆卸單元之間泄漏，該密封具有孔，通過該孔處理流體可在第一與第二流動(dòng)系統(tǒng)之間流動(dòng)；和處理部件，其位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)，其中，該處理部件將特性傳給處理流體，用于對(duì)具有亞微米微型零件的微型零件工件上的表面進(jìn)行處理。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的室，進(jìn)一步包括位于固定單元上面的頭部，其中，該頭部包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置的工件夾。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中處理部件包括電極組件，該電極組件具有多個(gè)用電介質(zhì)分隔件將它們相互隔開可獨(dú)立操作的電極，且該電極組件設(shè)置在可拆卸單元內(nèi)；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
17.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中，處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的過濾器。
18.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中，處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的薄膜，并且該薄膜構(gòu)造為將電流傳導(dǎo)穿過該薄膜。
19.根據(jù)權(quán)利要求13的室，進(jìn)一步包括連接組件，該連接組件具有構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
20.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極和電極與處理位置之間的過濾器；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
21.根據(jù)權(quán)利要求13的室，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極，和電極與處理位置之間的薄膜，其中該薄膜構(gòu)造為傳導(dǎo)電流；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
22.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的綜合設(shè)備，包括安裝模塊，其具有多個(gè)定位元件和連接元件；濕化學(xué)處理室，其由安裝模塊支承，該濕化學(xué)處理室包括固定單元、可拆卸單元、連接系統(tǒng)和處理位置，其中(a)固定單元具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流過該固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)和具有與定位元件之一接合的第一接口構(gòu)件和與連接元件之一接合的第一緊固件的安裝夾具，(b)可拆卸單元具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或引導(dǎo)處理流體從固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)，以及將特性傳給處理流體的處理部件，用于對(duì)具有亞微米微型零件的微型零件工件上的表面進(jìn)行處理，(c)連接系統(tǒng)可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上，和(d)處理位置構(gòu)造為接收微型零件工件，該處理位置位于固定單元或可拆卸單元中的一個(gè)內(nèi)，以使工件與具有由處理部件傳給特性的一部分處理流體相接觸；傳送系統(tǒng)，其由安裝模塊支承，用于在設(shè)備內(nèi)傳送工件；并且其中，安裝模塊構(gòu)造為保持定位元件之間的相對(duì)位置，以便當(dāng)用另一個(gè)處理室替換該處理室時(shí)，無需重新校準(zhǔn)傳送系統(tǒng)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、在第一面板下面重疊的剛性第二面板、第一與第二面板之間的托梁以及穿過第一面板、托梁和第二面板的螺栓。
24.根據(jù)權(quán)利要求22的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、與第一面板并置的剛性第二面板和第一與第二面板之間的支撐。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，進(jìn)一步包括位于固定單元上面的頭部，其中，該頭部包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置的工件夾。
26.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
27.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，進(jìn)一步包括固定單元第一密封面與可拆卸單元第二密封面之間的密封。
28.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
29.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極和電極與處理位置之間的過濾器；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
30.根據(jù)權(quán)利要求24的設(shè)備，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極和電極與處理位置之間的薄膜，其中，該薄膜構(gòu)造為傳導(dǎo)電流；并且所述室進(jìn)一步包括(a)具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)，和(b)一部分固定單元與可拆卸單元之間的密封。
31.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的綜合設(shè)備，包括安裝模塊，其具有多個(gè)定位元件；濕化學(xué)處理室，其由安裝模塊支承，該濕化學(xué)處理室包括固定單元、可分離地連接到該固定單元上的可拆卸單元、固定單元與可拆卸單元之間的密封和位于可拆卸單元內(nèi)的處理部件，其中，固定單元包括具有與定位元件之一接合的第一接口構(gòu)件和與定位元件之一接合的第一緊固件的安裝夾具；傳送系統(tǒng)，其由安裝模塊支承，用于在設(shè)備內(nèi)傳送工件，該傳送系統(tǒng)具有與定位元件之一接合的第二接口構(gòu)件和與連接元件之一接合的第二緊固件；并且其中，安裝模塊構(gòu)造為保持定位元件之間的相對(duì)位置，以便當(dāng)用另一個(gè)處理室替換該處理室時(shí)，無需重新校準(zhǔn)傳送系統(tǒng)。
32.根據(jù)權(quán)利要求31的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、在第一面板下面重疊的剛性第二面板、第一與第二面板之間的托梁以及穿過第一面板、托梁和第二面板的螺栓。
33.根據(jù)權(quán)利要求31的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、與第一面板并置的剛性第二面板和第一與第二面板間的支撐。
34.根據(jù)權(quán)利要求31的設(shè)備，進(jìn)一步包括位于固定單元上面的頭部，其中，該頭部包括構(gòu)造為將設(shè)備保持在處理位置的工件夾。
35.根據(jù)權(quán)利要求31的設(shè)備，其中處理部件包括可拆卸單元內(nèi)的電極；并且所述室進(jìn)一步包括具有工件夾的頭部，該工件夾包括構(gòu)造為將工件保持在處理位置并與工件上導(dǎo)電層接合的電觸點(diǎn)。
36.一種用于在具有亞微米零件的微型零件工件上沉積材料的電化學(xué)沉積室，包括頭部組件，其具有構(gòu)造為將微型零件工件定位在處理位置的工件夾；固定單元，其具有第一流動(dòng)系統(tǒng)，以向處理位置提供處理流體；可拆卸單元，其具有第二流動(dòng)系統(tǒng)，與固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)流體連通；密封，其防止處理流體在固定單元與可拆卸單元之間泄漏；連接組件，其可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上；以及可拆卸單元內(nèi)的至少一個(gè)第一電極和與第一電極連接的至少一個(gè)第一電氣連接器。
37.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括可拆卸單元內(nèi)的第二電極和第一電極與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件。
38.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或第二流動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)的過濾器。
39.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或第二流動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)的薄膜，其中，該薄膜構(gòu)造為傳導(dǎo)電流。
40.根據(jù)權(quán)利要求36的室，其中，連接組件包括構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
41.根據(jù)權(quán)利要求36的室，其中固定單元進(jìn)一步包括以遞增半徑向上傾斜的傾斜導(dǎo)軌面、具有以遞減半徑向上傾斜的軸承面的傾斜軸承環(huán)、以及與密封一側(cè)接觸的第一密封面；并且可拆卸單元進(jìn)一步包括邊緣和與密封另一側(cè)接觸的第二密封面，該邊緣具有以遞增半徑向上傾斜的下表面和以遞增半徑向上傾斜的上表面。
42.根據(jù)權(quán)利要求36的室，其中，固定單元進(jìn)一步包括場(chǎng)成形模塊，其成形處理流體中由電極感應(yīng)的電場(chǎng)。
43.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極同心布置；和場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，其中，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，并具有第一開口和第二開口，第一開口面對(duì)處理位置第一部分，由第一電極感應(yīng)的離子可穿過該開口，第二開口面對(duì)處理位置第二部分，由第二電極感應(yīng)的離子可穿過該開口。
44.根據(jù)權(quán)利要求43的室，進(jìn)一步包括與第二電極連接的第二電氣連接器，并且第一和第二電極彼此可獨(dú)立操作。
45.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，其構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；和過濾器，其位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)。
46.根據(jù)權(quán)利要求36的室，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，其構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；和薄膜，其位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)，以傳導(dǎo)電流。
47.根據(jù)權(quán)利要求36的室，其中，可拆卸單元位于固定單元外部的下面。
48.根據(jù)權(quán)利要求36的室，其中，可拆卸單元進(jìn)一步包括處理流體可流過的外部可接近的流體配件。
49.一種用于在具有亞微米零件的微型零件工件上沉積材料的電化學(xué)沉積室，包括頭部組件，其具有工件夾和電觸點(diǎn)，該工件夾構(gòu)造為將微型零件工件定位在處理位置，布置的電觸點(diǎn)向工件上的層提供電流；容器，其具有包括將固定單元連接到設(shè)備蓋板上的安裝夾具的固定單元、在安裝夾具下面可分離地連接到固定單元上以將其定位在設(shè)備蓋板下面的外部可接近的可拆卸單元、在固定單元與可拆卸單元之間以控制固定單元與可拆卸單元之間處理流體的接口元件、和將可拆卸單元可分離地連接到固定單元上的連接組件；以及電極，其位于可拆卸單元內(nèi)。
50.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括可拆卸單元內(nèi)的第二電極和第一電極與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件。
51.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括容器內(nèi)的過濾器。
52.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括容器內(nèi)構(gòu)造為傳導(dǎo)電流的薄膜。
53.根據(jù)權(quán)利要求49的室，其中，連接組件包括構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
54.根據(jù)權(quán)利要求49的室，其中接口元件包括固定單元與可拆卸單元之間的襯墊；以及處理流體可流過的外部可接近的流體配件。
55.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，構(gòu)造為引導(dǎo)流動(dòng)的處理流體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，以成形由電極所感應(yīng)的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)。
56.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極同心布置；和場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，并且該場(chǎng)成形模塊具有第一開口和第二開口，第一開口面對(duì)工件處理位置的第一部分，由第一電極感應(yīng)的離子可穿過該開口，第二開口面對(duì)工件處理位置第二部分，由第二電極感應(yīng)的離子可穿過該開口。
57.根據(jù)權(quán)利要求49的室，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，具有壁，該壁引導(dǎo)流動(dòng)的處理流體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和過濾器，其位于容器內(nèi)，與處理流體流體連通。
58.根據(jù)權(quán)利要求49的室，其中第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的容器里面處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，具有壁，該壁引導(dǎo)處理流體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和薄膜，其位于容器內(nèi)，傳導(dǎo)處理流體內(nèi)的電流。
59.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的綜合設(shè)備，包括安裝模塊，其具有多個(gè)定位元件和連接元件；電化學(xué)沉積室，其包括頭部組件，該頭部組件具有構(gòu)造為將微型零件工件定位在處理位置的工件夾；固定單元，該固定單元具有向處理位置提供處理流體的第一流動(dòng)系統(tǒng)和用于牢固地將該固定單元連接到設(shè)備支承構(gòu)件上的安裝夾具；可拆卸單元，該可拆卸單元具有與固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流體連通的第二流動(dòng)系統(tǒng)；密封，該密封防止處理流體在固定單元和可拆卸單元之間泄漏；連接組件，該連接組件可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上；以及至少可拆卸單元內(nèi)的第一電極；傳送系統(tǒng)，其由安裝模塊支承，用于在設(shè)備內(nèi)傳送工件，該傳送系統(tǒng)具有與定位元件之一接合的第二接口構(gòu)件和與連接元件之一接合的第二緊固件；并且其中安裝模塊構(gòu)造為保持定位元件之間的相對(duì)位置，以便當(dāng)用另一個(gè)處理室替換該處理室時(shí)，無需重新校準(zhǔn)傳送系統(tǒng)。
60.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、在第一面板下面重疊的剛性第二面板、第一與第二面板之間的托梁以及穿過第一面板、托梁和第二面板的螺栓。
61.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、與第一面板并置的剛性第二面板和第一和第二面板之間的支撐。
62.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，進(jìn)一步包括可拆卸單元內(nèi)的第二電極、和第一電極與第二電極間的電介質(zhì)分隔件。
63.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，進(jìn)一步包括第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或第二流動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)的過濾器。
64.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，進(jìn)一步包括第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或第二流動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)的薄膜，其中，該薄膜構(gòu)造為傳導(dǎo)電流。
65.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，其中，連接組件包括構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
66.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，其中固定單元進(jìn)一步包括以遞增半徑向上傾斜的傾斜導(dǎo)軌面、具有以遞減半徑向上傾斜的軸承面的傾斜軸承環(huán)、以及與密封一側(cè)接觸的第一密封面；并且可拆卸單元進(jìn)一步包括邊緣和與密封另一側(cè)接觸的第二密封面，該邊緣具有以遞增半徑向上傾斜的下表面和以遞增半徑向上傾斜的上表面。
67.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，其中，固定單元進(jìn)一步包括場(chǎng)成形模塊，其成形由電極感應(yīng)的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)。
68.根據(jù)權(quán)利要求59的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極同心布置；和場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，其中，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，并且具有第一開口和第二開口，第一開口面對(duì)處理位置的第一部分，由第一電極感應(yīng)的離子可穿過該開口，第二開口面對(duì)處理位置的第二部分，由第二電極感應(yīng)的離子可穿過該開口。
69.根據(jù)權(quán)利要求68的設(shè)備，進(jìn)一步包括連接到第二電極上的第二電氣連接器，并且第一和第二電極彼此可獨(dú)立操作。
70.根據(jù)權(quán)利要求49的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；和過濾器，其位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)。
71.根據(jù)權(quán)利要求49的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于固定單元內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；和薄膜，其位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)，以傳導(dǎo)電流。
72.一種用于對(duì)微型零件工件進(jìn)行濕化學(xué)處理的綜合設(shè)備，包括安裝模塊，其具有多個(gè)定位元件和連接元件；電化學(xué)沉積室，其包括頭部組件和容器，該頭部組件具有構(gòu)造為將微型零件工件定位在處理位置的工件夾和向工件上的層提供電流所布置的電觸點(diǎn)，而容器具有固定單元，該固定單元包括將該固定單元連接到設(shè)備蓋板上的安裝夾具；從外部可接近的可拆卸單元，在安裝夾具下面該可拆卸單元可分離地連接到固定單元上，從而將其定位在設(shè)備蓋板的下面；在固定單元與可拆卸單元之間控制固定單元和可拆卸單元之間處理流體的接口元件；可拆卸單元內(nèi)的電極；以及連接組件，該連接組件可分離地將可拆卸單元連接到固定單元上；傳送系統(tǒng)，其由安裝模塊支承，用于在設(shè)備內(nèi)傳送工件，該傳送系統(tǒng)具有與定位元件之一接合的第二接口構(gòu)件和與連接元件之一接合的第二緊固件；并且其中，安裝模塊構(gòu)造為保持定位元件之間的相對(duì)位置，以便當(dāng)用另一個(gè)處理室替換該處理室時(shí)，無需重新校準(zhǔn)傳送系統(tǒng)。
73.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、在第一面板下面重疊的剛性第二面板、第一與第二面板之間的托梁、以及穿過第一面板、托梁和第二面板的螺栓。
74.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，其中，安裝模塊進(jìn)一步包括蓋板，該蓋板具有剛性第一面板、與第一面板并置的剛性第二面板和第一與第二面板之間的支撐。
75.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括可拆卸單元內(nèi)的第二電極，和第一電極與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件。
76.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括容器內(nèi)的過濾器。
77.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括容器內(nèi)構(gòu)造為傳導(dǎo)電流的薄膜。
78.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，其中，連接組件包括構(gòu)造為從第一位置徑向向內(nèi)移動(dòng)到第二位置的夾緊環(huán)，以將可拆卸單元夾緊在固定單元上。
79.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，其中接口元件包括固定單元與可拆卸單元之間的襯墊；固定單元進(jìn)一步包括以遞增半徑向上傾斜的傾斜導(dǎo)軌面，具有以遞減半徑向上傾斜的軸承面的傾斜軸承環(huán)，以及與襯墊一側(cè)接觸的第一密封面；并且可拆卸單元進(jìn)一步包括邊緣和與襯墊另一側(cè)接觸的第二密封面，該邊緣具有以遞增半徑向上傾斜的下表面和以遞增半徑向上傾斜的上表面。
80.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，構(gòu)造為引導(dǎo)流動(dòng)的處理流體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，以成形由電極感應(yīng)的、處理流體內(nèi)的電場(chǎng)。
81.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極同心布置；和場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊由電介質(zhì)材料構(gòu)成，并且該場(chǎng)成形模塊具有第一開口和第二開口，第一開口面對(duì)工件處理位置的第一部分，由第一電極感應(yīng)的離子可穿過該開口，第二開口面對(duì)工件處理位置的第二部分，由第二電極感應(yīng)的離子可穿過該開口。
82.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的處理液體內(nèi)的電場(chǎng)；流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，具有壁，該壁引導(dǎo)流動(dòng)的處理液體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和過濾器，其位于容器內(nèi)，與處理流體流體連通。
83.根據(jù)權(quán)利要求72的設(shè)備，進(jìn)一步包括第二電極，其與可拆卸單元內(nèi)的第一電極和第一與第二電極之間的電介質(zhì)分隔件同心；場(chǎng)成形模塊，其位于容器內(nèi)，該場(chǎng)成形模塊構(gòu)造為成形由第一和第二電極產(chǎn)生的容器里面處理流體內(nèi)的電場(chǎng)；流動(dòng)系統(tǒng)，其位于容器內(nèi)，具有壁，該壁引導(dǎo)處理流體至少基本上垂直于處理位置上的工件；和薄膜，其位于容器內(nèi)，傳導(dǎo)處理流體內(nèi)的電流。
84.一種用于在電化學(xué)沉積室內(nèi)在工件上電化學(xué)沉積材料的方法，該電化學(xué)沉積室包括具有工件夾的頭部組件以及容器，該容器具有帶處理位置的固定單元；可分離地連接到固定單元上的第一可拆卸單元；和第一可拆卸單元內(nèi)的第一電極，該方法包括通過將第一工件定位在固定單元的處理位置上使其與容器內(nèi)的處理流體接觸，并形成第一工件與第一電極之間的電場(chǎng)，將層沉積到具有亞微米零件的第一工件上；通過將第一可拆卸單元與固定單元分離，從固定單元的下面拆下可拆卸單元，將具有第二電極的第二可拆卸單元定位在固定單元的下面，再將第二可拆卸單元可分離地連接到固定單元上，進(jìn)行第一電極的更換；和通過將第二工件定位在固定單元的處理位置上，使其與容器內(nèi)的處理流體接觸，形成第二工件與第二電極之間的電場(chǎng)，將層沉積到具有亞微米零件的第二工件上。
85.一種對(duì)用于在具有亞微米零件工件上沉積材料的電化學(xué)室進(jìn)行維修的方法，該方法包括提供電化學(xué)沉積室，該電化學(xué)沉積室包括具有工件夾的頭部組件以及容器，該容器具有帶處理位置的固定單元；可分離地連接到固定單元上的第一可拆卸單元；和第一可拆卸單元內(nèi)的第一電極；通過在固定單元外側(cè)的外部位置上將可拆卸單元與固定單元分開，把第一可拆卸單元從固定單元上拆下；和將具有第二電極的第二可拆卸單元可分離地連接到固定單元一部分上。
全文摘要
一種濕化學(xué)處理室，包括固定單元，可分離地連接到固定單元上的可拆卸單元，與固定單元和可拆卸單元相接觸的密封，和位于固定單元和/或可拆卸單元內(nèi)的處理部件。固定單元可具有構(gòu)造為引導(dǎo)處理流體流過固定單元的第一流動(dòng)系統(tǒng)，和用于將固定單元牢固地連接到綜合處理設(shè)備平臺(tái)或蓋板上的安裝夾具?？刹鹦秵卧砂?gòu)造為引導(dǎo)處理流體流向固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)和/或引導(dǎo)處理流體從固定單元第一流動(dòng)系統(tǒng)流出的第二流動(dòng)系統(tǒng)。密封具有孔，穿過該孔處理流體可在第一和第二流動(dòng)系統(tǒng)之間流動(dòng)，并且處理部件可將特性傳給處理流體，用于對(duì)具有亞微米微型零件的微型零件工件的表面進(jìn)行處理。
文檔編號(hào)C25D17/04GK1856596SQ200480015795
公開日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2004年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月6日
發(fā)明者K·漢森, K·L·多爾切克, P·R·麥克休, G·J·威爾森, J·A·戴維斯, 蘭迪·哈里斯 申請(qǐng)人:塞米用具公司