一種真空吸附裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及表面潔凈處理技術(shù),特別是涉及一種真空吸附裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]基板在封裝前通常需要清理表面殘留的異物,通常采用強(qiáng)風(fēng)清理表面殘留的異物,但是采用強(qiáng)風(fēng)處理時(shí),由于風(fēng)速過(guò)大會(huì)吹走其他物體,同時(shí)也會(huì)對(duì)生產(chǎn)人員也會(huì)造成一定的影響。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空吸附裝置,用于解決現(xiàn)有技術(shù)的難點(diǎn)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,包括:基板導(dǎo)軌、梯形支架、真空口、管道連接裝置、真空轉(zhuǎn)換裝置、壓縮空氣排出口、壓縮空氣進(jìn)入口,其特征在于,所述基板導(dǎo)軌垂直安裝在梯形支架的梯形側(cè)面上,所述梯形支架的上表面上開(kāi)有真空口,所述梯形支架的下表面上連接有管道連接裝置,所述管道連接裝置的另一端連接有真空轉(zhuǎn)換裝置,所述真空轉(zhuǎn)換裝置上開(kāi)有壓縮空氣進(jìn)入口和壓縮空氣排出口。
[0005]優(yōu)選的,所述基板導(dǎo)軌上還安裝有基板檢測(cè)裝置;進(jìn)一步優(yōu)選的,所述基板檢測(cè)裝置為紅外線基板檢測(cè)裝置。
[0006]優(yōu)選的,所述真空口為一條狹長(zhǎng)的長(zhǎng)方形缺口。
[0007]如上所述,本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,將基板放置在基板導(dǎo)軌上,真空轉(zhuǎn)換裝置工作產(chǎn)生真空,梯形支架上表面的真空口吸附基板上的異物,在吸附異物的過(guò)程中基本在基板導(dǎo)軌上進(jìn)行移動(dòng),必要時(shí)可以采用兩個(gè)真空吸附裝置同時(shí)吸附異物,一個(gè)吸附基板的上表面,另一個(gè)吸附基板的下表面,確保將基板上的異物吸附干凈;在基板導(dǎo)軌上安裝的紅外線基板檢測(cè)裝置,用來(lái)檢測(cè)導(dǎo)軌上有無(wú)基板,有基板真空轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1顯示為本實(shí)用新型的一種真空吸附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0009]標(biāo)號(hào)說(shuō)明:
[0010]1-基板導(dǎo)軌,2-真空口,3-梯形支架,4-管道連接裝置,5-真空轉(zhuǎn)化裝置,6-壓縮空氣進(jìn)氣口,7-壓縮空氣出氣口,8-紅外線基板檢測(cè)裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0011]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0012]請(qǐng)參閱圖1。須知,本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ),亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0013]如圖1所示,本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,包括:基板導(dǎo)軌、梯形支架、真空口、管道連接裝置、真空轉(zhuǎn)換裝置、壓縮空氣排出口、壓縮空氣進(jìn)入口,其特征在于,所述基板導(dǎo)軌垂直安裝在梯形支架的梯形側(cè)面上,所述梯形支架的上表面上開(kāi)有真空口,所述梯形支架的下表面上連接有管道連接裝置,所述管道連接裝置的另一端連接有真空轉(zhuǎn)換裝置,所述真空轉(zhuǎn)換裝置上開(kāi)有壓縮空氣進(jìn)入口和壓縮空氣排出口。
[0014]本實(shí)施例中優(yōu)選的,所述基板導(dǎo)軌上還安裝有基板檢測(cè)裝置;進(jìn)一步優(yōu)選的,所述基板檢測(cè)裝置為紅外線基板檢測(cè)裝置。
[0015]本實(shí)施例中優(yōu)選的,所述真空口為一條狹長(zhǎng)的長(zhǎng)方形缺口。
[0016]如上所述,本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,將基板放置在基板導(dǎo)軌上,真空轉(zhuǎn)換裝置工作產(chǎn)生真空,梯形支架上表面的真空口吸附基板上的異物,在吸附異物的過(guò)程中基本在基板導(dǎo)軌上進(jìn)行移動(dòng),必要時(shí)可以采用兩個(gè)真空吸附裝置同時(shí)吸附異物,一個(gè)吸附基板的上表面,另一個(gè)吸附基板的下表面,確保將基板上的異物吸附干凈;在基板導(dǎo)軌上安裝的紅外線基板檢測(cè)裝置,用來(lái)檢測(cè)導(dǎo)軌上有無(wú)基板,有基板真空轉(zhuǎn)換裝置啟動(dòng)。
[0017]所以,本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0018]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效,而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空吸附裝置,包括:基板導(dǎo)軌、梯形支架、真空口、管道連接裝置、真空轉(zhuǎn)換裝置、壓縮空氣排出口、壓縮空氣進(jìn)入口,其特征在于,所述基板導(dǎo)軌垂直安裝在梯形支架的梯形側(cè)面上,所述梯形支架的上表面上開(kāi)有真空口,所述梯形支架的下表面上連接有管道連接裝置,所述管道連接裝置的另一端連接有真空轉(zhuǎn)換裝置,所述真空轉(zhuǎn)換裝置上開(kāi)有壓縮空氣進(jìn)入口和壓縮空氣排出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空吸附裝置,其特征在于,所述基板導(dǎo)軌上還安裝有基板檢測(cè)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空吸附裝置,其特征在于,所述基板檢測(cè)裝置為紅外線基板檢測(cè)裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的真空吸附裝置,其特征在于,所述真空口為一條狹長(zhǎng)的長(zhǎng)方形缺口。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,包括:基板導(dǎo)軌、梯形支架、真空口、管道連接裝置、真空轉(zhuǎn)換裝置、壓縮空氣排出口、壓縮空氣進(jìn)入口,其特征在于,所述基板導(dǎo)軌垂直安裝在梯形支架的梯形側(cè)面上,所述梯形支架的上表面上開(kāi)有真空口,所述梯形支架的下表面上連接有管道連接裝置,所述管道連接裝置的另一端連接有真空轉(zhuǎn)換裝置,所述真空轉(zhuǎn)換裝置上開(kāi)有壓縮空氣進(jìn)入口和壓縮空氣排出口。如上所述,本實(shí)用新型提供一種真空吸附裝置,通過(guò)真空將基板上的異物吸附干凈。
【IPC分類(lèi)】B08B5-04
【公開(kāi)號(hào)】CN204564671
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420809197
【發(fā)明人】馮建青
【申請(qǐng)人】海太半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2014年12月19日