三點聯(lián)動定位工裝的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種定位裝置，尤其是一種用于加熱盤和腔體的三點聯(lián)動定位工裝，屬于半導體技術領域。
【背景技術】
[0002]目前半導體設備在裝調時，要求加熱盤與腔體必須自身水平及相互同心，這樣可以保證沉積時氣體均勻，但目前還沒有這樣的專用定位設備，都是通過人工多種設備聯(lián)合進行，操作復雜。

【發(fā)明內容】

[0003]針對上述現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供了一種三點聯(lián)動定位工裝。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術方案是:三點聯(lián)動定位工裝，包括移動支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓。移動支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內。銷軸處于連桿的中心。
[0005]本發(fā)明特點:結構緊湊合理，由于采用三個移動支架可以同時徑向移動機構，通過銷軸上下位移使工裝定位在被測工件上，在進行設備調試以滿足使用要求。
【附圖說明】
[0006]圖1是本發(fā)明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0007]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0008]實施例
[0009]如圖1所示:三點聯(lián)動定位工裝，包括移動支架1，連接件2，連桿3，銷軸4和鎖緊螺栓5。移動支架I通過鎖緊螺栓5和連接件2固定在連桿3的末端的滑槽內。銷軸4處于連桿3的中心。
[0010]通過過鎖緊螺栓5固定在連桿3滑槽內的不同位置，來實現(xiàn)移動支架I的徑向移動，定位時需要銷軸4由之上向下移動使移動支架I與被測工件良好的接觸。最后鎖緊螺栓5完成同心定位。
【主權項】
1.三點聯(lián)動定位工裝，其特征在于:包括移動支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓；移動支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內，銷軸處于連桿的中心。
【專利摘要】三點聯(lián)動定位工裝，包括移動支架，連接件，連桿，銷軸和鎖緊螺栓。移動支架通過鎖緊螺栓和連接件固定在連桿的末端的滑槽內。銷軸處于連桿的中心。本發(fā)明結構緊湊合理，由于采用三個移動支架可以同時徑向移動機構，通過銷軸上下位移使工裝定位在被測工件上，在進行設備調試以滿足使用要求。
【IPC分類】B25B11/00
【公開號】CN104959934
【申請?zhí)枴緾N201510410191
【發(fā)明人】續(xù)震, 王燚
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年7月14日