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一種選擇發(fā)射極雙面PERC電池的制備方法與流程

文檔序號:11203170閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種較簡潔的選擇發(fā)射極雙面PERC電池的制備方法,可以利用現(xiàn)有PERC產(chǎn)線機(jī)臺,減少了制備成本。包括如下步驟:S1、對硅片進(jìn)行雙面制絨;S2、對硅片的正面進(jìn)行氧化層或氮化硅層保護(hù);S3、根據(jù)正極柵線的圖形,在硅片的正面開槽;S4、對硅片進(jìn)行正面磷擴(kuò)散,氧化層或氮化硅層的阻擋使未開槽的區(qū)域形成淺擴(kuò)區(qū),開槽區(qū)域形成重?cái)U(kuò)區(qū),以形成選擇發(fā)射極;S5、對硅片進(jìn)行背刻或背拋光,并清洗表面磷硅玻璃;S6、對硅片進(jìn)行背鈍化,在正面鍍減反射膜;S7、根據(jù)背面電極的圖形,在硅片的背面開槽;S8、分別在硅片的正面和背面印刷柵線,其中正面柵線覆蓋正面重?cái)U(kuò)區(qū),背面柵線覆蓋背面開槽區(qū)域;S9、燒結(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員:魏青竹;陸俊宇;劉曉瑞;連維飛;倪志春;孟思霖
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州騰暉光伏技術(shù)有限公司;江蘇中利集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.10
技術(shù)公布日:2017.09.29
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