一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,包括板體,還包括定位條和陪片,所述定位條固定于所述板體上,將板體分隔成若干個(gè)硅片放置區(qū),所述板體的邊緣留置緩沖保護(hù)區(qū),所述緩沖保護(hù)區(qū)內(nèi)設(shè)置陪片。本實(shí)用新型的板體采用鋁等耐等離子體沖擊的材質(zhì),能夠適應(yīng)納微絨面制備的環(huán)境,且經(jīng)久耐用;通過(guò)在載板本體上設(shè)置定位條,可將待加工硅片穩(wěn)定的固定在載板上,固定效果最佳,有效降低了加工碎片率和不良品的產(chǎn)生率;將定位條的尺寸設(shè)計(jì)為3~5 mm*3~5 mm*1~2 mm,可有效避免定位條遮擋待加工硅片表面,造成局部區(qū)域不良的現(xiàn)象;通過(guò)設(shè)置特定尺寸的陪片,可以避免由于過(guò)渡太突兀造成的硅片邊緣絨面不良的情況。
【專利說(shuō)明】
一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于光伏領(lǐng)域,具體涉及一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在晶體硅太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中,光電轉(zhuǎn)換效率的提升和電池制造成本的降低已成為整個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的根本,而隨著工藝技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶體硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率逐漸遇到了瓶頸。降低太陽(yáng)能電池的光學(xué)損失和電學(xué)損失是提升光電轉(zhuǎn)換效率的有效途徑。
[0003]通過(guò)制備納微復(fù)合絨面結(jié)構(gòu)來(lái)降低太陽(yáng)電池的光學(xué)損失是提升效率的有效手段。目前主要的方法有反應(yīng)離子刻蝕、激光刻蝕、金屬催化等工藝能夠制得納微復(fù)合結(jié)構(gòu)絨面,且有產(chǎn)業(yè)化案例。為便于制備太陽(yáng)能電池硅片納微復(fù)合結(jié)構(gòu)絨面,特別是對(duì)于反應(yīng)離子法刻蝕微絨面時(shí)需要承載硅片的特殊容器,然而目前現(xiàn)有的載片存在如下缺陷:(I)硅片固定不穩(wěn);(2)刻蝕過(guò)程中硅片受力不均、易損壞硅片造成碎片或絨面受損的現(xiàn)象;(3)刻蝕過(guò)程中過(guò)渡區(qū)突兀,造成硅片邊緣絨面不良的。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]發(fā)明目的:本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種穩(wěn)定性高、碎片率低以及避免硅片邊緣絨面質(zhì)量不良的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板。
[0005]技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,包括板體,還包括定位條和陪片,所述定位條固定于所述板體上,將板體分隔成若干個(gè)硅片放置區(qū),所述板體的邊緣留置緩沖保護(hù)區(qū),所述緩沖保護(hù)區(qū)內(nèi)設(shè)置陪片。
[0006]優(yōu)選地,為避免定位條遮擋待加工硅片表面,造成局部區(qū)域不良的現(xiàn)象,所述定位條的尺寸為3?5 mm*3~5 mm*l~2 mm。
[0007]優(yōu)選地,為提高固定效果,減少加工碎片率,所述定位條為鋁材質(zhì)。
[0008]優(yōu)選地,為提高固定效果,保證硅片位置不偏移,每8個(gè)定位條包圍成一個(gè)硅片放置區(qū)。
[0009]優(yōu)選地,為提高制絨效果,所述硅片放置區(qū)之間的間距為0.5?3_。
[0010]優(yōu)選地,為提高工作效率,防止載板在加工過(guò)程中出現(xiàn)折損、分解或表面不平整等問(wèn)題,所述板體為耐等離子體沖擊材質(zhì)。
[0011 ]優(yōu)選地,所述板體為鋁質(zhì)。
[0012]優(yōu)選地,為達(dá)到良好的過(guò)渡效果,所述陪片為硅片。
[0013]優(yōu)選地,為達(dá)到良好的過(guò)渡效果,又有效避免陪片遮擋硅片導(dǎo)致局部區(qū)域不良,所述陪片寬度尺寸為50?200mm。
[0014]有益效果:本實(shí)用新型的板體采用鋁等耐等離子體沖擊的材質(zhì),防止載板在加工過(guò)程中出現(xiàn)折損、分解或表面不平整等問(wèn)題導(dǎo)致的產(chǎn)品質(zhì)量下降的問(wèn)題,能夠適應(yīng)納微絨面制備的環(huán)境,且經(jīng)久耐用,不需要經(jīng)常維護(hù);通過(guò)在載板本體上設(shè)置定位條,可將待加工硅片穩(wěn)定的固定在載板上,特別是每八個(gè)定位條包圍一個(gè)硅片放置區(qū)時(shí),固定效果最佳,有效降低了加工碎片率和不良品的產(chǎn)生率,提高了加工效率;將定位條的尺寸設(shè)計(jì)為3~5 mm*3-5 mm*l?2 _,可有效避免定位條遮擋待加工硅片表面,造成局部區(qū)域不良的現(xiàn)象,提高產(chǎn)品質(zhì)量;通過(guò)在載板上設(shè)置緩沖保護(hù)區(qū),并在緩沖保護(hù)區(qū)上設(shè)置特定尺寸的陪片,可以避免由于過(guò)渡太突兀造成的硅片邊緣絨面不良的情況。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0016]圖2為裝載娃片后的不意圖;
[0017]其中,1、板體,2、定位條,3、陪片,4、緩沖保護(hù)區(qū),5、硅片。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面通過(guò)附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。
[0019]實(shí)施例:一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,包括鋁質(zhì)板體1、鋁質(zhì)定位條2和硅質(zhì)陪片3,所述定位條2固定于所述板體I上,將板體分隔成若干個(gè)硅片放置區(qū),所述板體I的邊緣留置緩沖保護(hù)區(qū)4,所述緩沖保護(hù)區(qū)4內(nèi)設(shè)置陪片3。
[0020]每8個(gè)定位條2包圍成一個(gè)硅片放置區(qū),每個(gè)硅片放置區(qū)可容置一片硅片5,即每一個(gè)硅片5由8個(gè)定位條2來(lái)定位,可以確保硅片5在制絨工藝加工過(guò)程中不會(huì)移動(dòng),每相鄰兩件的娃片間隔為2 mm,并且,定位條2的尺寸為4 mm*4 mm*I mm,確保定位條在制絨過(guò)程中不會(huì)遮擋硅片5表面,造成局部區(qū)域不良;陪片3放置于緩沖保護(hù)區(qū)4內(nèi),且尺寸設(shè)計(jì)為長(zhǎng)度與硅片一致,寬度為120 mm,其作用是在工藝過(guò)程中提供一個(gè)從硅片5到鋁板邊緣的過(guò)渡區(qū),可以避免由于過(guò)渡太突兀造成的硅片5邊緣絨面不良的情況。
[0021]本載板的大小可根據(jù)設(shè)備腔體的大小進(jìn)行設(shè)置,可以設(shè)置為5*6、5*8等不同規(guī)格,定位條在載板上的位置可根據(jù)所需加工的硅片尺寸決定,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便,效果明顯。本實(shí)用新型有效降低了加工碎片率和不良品的產(chǎn)生率,提高了加工效率;將定位條的尺寸設(shè)計(jì)為3?5mm*3?5 mm*l?2 mm,可有效避免定位條遮擋待加工娃片表面,造成局部區(qū)域不良的現(xiàn)象,提高產(chǎn)品質(zhì)量;通過(guò)在載板上設(shè)置緩沖保護(hù)區(qū),并在緩沖保護(hù)區(qū)上設(shè)置特定尺寸的陪片,可以避免由于過(guò)渡太突兀造成的硅片邊緣絨面不良的情況。
[0022]如上所述,盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型,但其不得解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下,可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,包括板體,其特征在于:還包括定位條和陪片,所述定位條固定于所述板體上,將板體分隔成若干個(gè)硅片放置區(qū),所述板體的邊緣留置緩沖保護(hù)區(qū),所述緩沖保護(hù)區(qū)內(nèi)設(shè)置陪片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述定位條的尺寸為3?5 mm*3~5 mm*l~2 mm。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述定位條為鋁材質(zhì)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:每8個(gè)定位條包圍成一個(gè)硅片放置區(qū)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述硅片放置區(qū)之間的間距為0.5?3mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述板體為耐等離子體沖擊材質(zhì)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述板體為鋁質(zhì)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述陪片為硅片。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于制備太陽(yáng)能電池硅片納微絨面的載板,其特征在于:所述陪片寬度尺寸為50?200mm。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK205508852SQ201620240827
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年3月25日
【發(fā)明人】黃鈞林, 范維濤, 周肅, 黃青松, 黃惜惜, 張?chǎng)? 勾憲芳
【申請(qǐng)人】中節(jié)能太陽(yáng)能科技(鎮(zhèn)江)有限公司