專(zhuān)利名稱(chēng)：有機(jī)el裝置及其制造方法以及電子機(jī)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可以提高各個(gè)有機(jī)EL元件的特性并且由此提高顯示特性的有機(jī)EL裝置及其制造方法以及電子機(jī)器。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為自發(fā)發(fā)光型顯示器，開(kāi)發(fā)出了在發(fā)光層中使用有機(jī)物的有機(jī)電致發(fā)光元件(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為有機(jī)EL元件)。在具備多個(gè)這種有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置中，用于形成發(fā)光層、載流子注入/傳輸層、即空穴注入/傳輸層、電子注入/傳輸層等的功能層的功能性材料，是決定所得的有機(jī)EL裝置的特性等的重要因素之一。
作為這種有機(jī)EL裝置，特別是在發(fā)光層形成材料是高分子材料時(shí)，一般功能層由發(fā)光層和空穴注入/傳輸層構(gòu)成(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。在這種有機(jī)EL裝置中，例如在構(gòu)成全彩色顯示的裝置的情況下，作為有機(jī)EL元件具有構(gòu)成紅色發(fā)光的元件、構(gòu)成綠色發(fā)光的元件以及構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的元件。構(gòu)成這些各色發(fā)光的有機(jī)EL元件，雖然對(duì)于各色發(fā)光層的材料是不同的，但是對(duì)于其它的功能層、即空穴注入/傳輸層，其材料是共同的，由此可以提高生產(chǎn)性。
另外，對(duì)于功能層以外的構(gòu)成，尤其已知在色間改變陰極的構(gòu)成，具體地說(shuō)，僅對(duì)于構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的有機(jī)EL元件在發(fā)光層側(cè)設(shè)置LiF構(gòu)成陰極的構(gòu)成。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1 特開(kāi)2000-323276號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 特開(kāi)2002-231447號(hào)公報(bào)但是，在前述的有機(jī)EL裝置中，特別是在構(gòu)成全彩色顯示的裝置的情況下，對(duì)于各色發(fā)光層的材料不同，所以不能說(shuō)這些全色元件發(fā)揮最優(yōu)良的發(fā)光特性。即，對(duì)于在色間發(fā)光層的形成材料不同，空穴注入/傳輸層是共同的，另外，對(duì)于電子注入/傳輸層，在都不具有各色這一點(diǎn)是共同的，因此形成的發(fā)光元件并不是處于最優(yōu)良的發(fā)光狀態(tài)。
但是，近年來(lái)人們強(qiáng)烈要求有機(jī)EL裝置的顯示特性的提高，因此，對(duì)于各個(gè)有機(jī)EL元件，也強(qiáng)烈要求發(fā)揮最良的發(fā)光特性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于前述情況而完成的，其目的在于提供使各個(gè)有機(jī)EL元件發(fā)揮最良的發(fā)光特性并由此提高了顯示特性的有機(jī)El裝置及其制造方法以及電子機(jī)器。
為達(dá)到本發(fā)明的目的，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，備有多個(gè)具有一對(duì)電極和設(shè)置于這些電極間的至少含有發(fā)光層及空穴注入層的功能層的有機(jī)EL元件，其特征在于，在前述有機(jī)EL元件中的一個(gè)有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置特性提高層，并且在前述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間不設(shè)置特性提高層。
由此，例如在僅使部分有機(jī)EL元件提高其特性的情況下，通過(guò)僅對(duì)于對(duì)象元件設(shè)置特性提高層，可以實(shí)現(xiàn)部分有機(jī)EL元件的特性提高。
另外，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，備有多個(gè)有機(jī)EL元件，該有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極以及設(shè)置在這些電極之間的至少含有空穴注入層與發(fā)光層的功能層，其特征在于，在所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置第一特性提高層，在所述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置由與前述第一特性提高層的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層。
根據(jù)該有機(jī)EL裝置，在一個(gè)有機(jī)EL元件中由于在其空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置第一特性提高層，因此該有機(jī)EL元件的發(fā)光特性提高。另外，該有機(jī)EL元件中的從空穴注入層至發(fā)光層的構(gòu)成，相對(duì)于其它有機(jī)EL元件的功能層中的從空穴注入層至發(fā)光層的構(gòu)成，至少空穴注入層與發(fā)光層以外的構(gòu)成要素不同，例如在其它有機(jī)EL元件中通過(guò)在其空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置由與前述第一特性提高層的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層，對(duì)于該其它的有機(jī)EL元件，可以獲得與其空穴注入層與發(fā)光層對(duì)應(yīng)的特性提高。因此，各有機(jī)EL元件的發(fā)光特性分別變得良好。
另外，在前述的有機(jī)EL裝置中，前述有機(jī)EL元件中的一個(gè)有機(jī)EL元件的發(fā)光層與其它的有機(jī)EL元件的發(fā)光層可以是相互發(fā)光的顏色不同。
這樣，在構(gòu)成發(fā)光的顏色不同的有機(jī)EL元件之間，能夠使各自發(fā)揮最良的發(fā)光特性。
另外，在所述有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選在所述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置與所述一有機(jī)EL元件中的特性提高層不同的特性提高層。
由此，通過(guò)特性提高層，一有機(jī)EL元件和其它有機(jī)EL元件均能夠獲得與其空穴注入層和發(fā)光層對(duì)應(yīng)的特性提高，因此各有機(jī)EL元件的發(fā)光特性都分別變得良好。
在所述有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選上述特性提高層為1～10nm。
若特性提高層超過(guò)10nm，則電阻變高，產(chǎn)生絕緣性，因此不理想。另外若將均勻膜的特性提高層形成為低于1nm，則很困難，因此優(yōu)選1nm以上。
另外，在所述有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選所述特性提高層的形成材料的LUMO能級(jí)，與相同有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層的形成材料的LUMO能級(jí)相比，位于接近真空能級(jí)的位置。
由此可以通過(guò)所述特性提高層抑制由于載流子平衡打破而使蓄積在發(fā)光層中的電子向空穴傳輸層側(cè)移動(dòng)。
另外，在所述有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選所述特性提高層的形成材料的HOMO能級(jí)位于相同有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層的形成材料的HOMO能級(jí)與空穴注入層的形成材料的HOMO能級(jí)之間。
這樣通過(guò)所述特性提高層可以提高空穴從空穴注入層向發(fā)光層的空穴傳輸性。
此外，在所述有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選設(shè)置構(gòu)成紅色發(fā)光的有機(jī)EL元件、構(gòu)成綠色發(fā)光的有機(jī)EL元件以及構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的有機(jī)EL元件。
這樣就能夠進(jìn)行全彩色顯示。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，是設(shè)置有多個(gè)有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法，所述有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極以及設(shè)置在這些電極之間的至少具有空穴注入層和發(fā)光層的功能層，其特征在于，在所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間形成特性提高層，同時(shí)在所述一有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間不設(shè)置特性提高層。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法，是設(shè)置有多個(gè)有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法，所述有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極以及設(shè)置在這些電極之間的至少具有空穴注入層和發(fā)光層的功能層，其特征在于，在所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間形成第一特性提高層，同時(shí)在所述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間形成由與所述一有機(jī)EL元件的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層。
根據(jù)該有機(jī)EL裝置的制造方法，在一個(gè)有機(jī)EL元件中由于在其空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置第一特性提高層，因此該有機(jī)EL元件的發(fā)光特性提高。另外，該有機(jī)EL元件中的從空穴注入層至發(fā)光層的構(gòu)成，相對(duì)于其它有機(jī)EL元件的功能層中的從空穴注入層至發(fā)光層的構(gòu)成，至少空穴注入層與發(fā)光層以外的構(gòu)成要素不同，例如在其它有機(jī)EL元件中通過(guò)在其空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置由與前述第一特性提高層的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層，對(duì)于該其它的有機(jī)EL元件，可以獲得與其空穴注入層與發(fā)光層對(duì)應(yīng)的特性提高。因此，各有機(jī)EL元件的發(fā)光特性分別變得良好。
另外，在所述有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選通過(guò)液滴噴出法配置含有其形成材料的液狀體來(lái)形成所述功能層。
這樣，通過(guò)采用液滴噴出法，能夠在所需的位置以所需的量精度良好地配置液狀體，因此，對(duì)于各有機(jī)EL元件可以容易地改變其功能層的構(gòu)成。
此外，在所述有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選在利用液滴噴出法配置含有特性提高層的形成材料的液狀體后，通過(guò)對(duì)其實(shí)施不溶化處理而形成特性提高層。
這樣，在特性提高層的上面形成發(fā)光層時(shí)，不會(huì)由于該發(fā)光層的形成所用的液狀體中的溶劑而再次溶解特性提高層，因此可以以穩(wěn)定的狀態(tài)在空穴注入層與發(fā)光層之間形成特性提高層。
本發(fā)明的電子機(jī)器的特征是設(shè)置有所述有機(jī)EL裝置或通過(guò)所述的制造方法制得的有機(jī)EL裝置。
根據(jù)該電子機(jī)器，由于備有各有機(jī)EL元件的發(fā)光特性更優(yōu)良的有機(jī)EL裝置，因此，通過(guò)將該有機(jī)EL裝置設(shè)置為顯示部，可以形成具有良好的顯示特性的電子機(jī)器。


圖1是表示本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的一例布線結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。
圖2(a)是表示有機(jī)EL裝置的俯視圖，(b)表示(a)的AB線方向的剖面圖。
圖3是表示圖1、2所示的有機(jī)EL裝置的要部側(cè)視圖。
圖4是表示用于說(shuō)明制造圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖5是表示用于說(shuō)明制造圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖6(a)、(b)是表示液滴噴出裝置的液滴噴出頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是表示用于說(shuō)明圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖8是表示用于說(shuō)明圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖9是表示用于說(shuō)明圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖10是表示用于說(shuō)明圖3所示的有機(jī)EL裝置的制造方法的要部側(cè)視圖。
圖11是表示本發(fā)明的電子機(jī)器的立體圖。
圖中1顯示器(電光學(xué)裝置)，12對(duì)置電極(陰極“電極”)，110發(fā)光部(功能層)，111象素電極(陽(yáng)極“電極”)，150(150R、150G、150B)發(fā)光層，151(151R、151G、151B)空穴注入層，153(153R、153G、153B)特性提高層，600攜帶電話本體(電子機(jī)器)。
具體實(shí)施例方式
以下對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖1、圖2是表示將本發(fā)明的有機(jī)EL裝置應(yīng)用到構(gòu)成全彩色顯示的有源矩陣型顯示器中的一個(gè)例子，在這些圖中，符號(hào)1表示有機(jī)EL裝置。
圖1表示本例的有機(jī)EL裝置1的布線結(jié)構(gòu)的模式俯視圖，圖2表示本例的有機(jī)EL裝置1的模式俯視圖以及模式剖面圖。
如圖1所示，本例的有機(jī)EL裝置1分別布線有多條掃描線101、在相對(duì)于掃描線101交叉方向上延伸的多條信號(hào)線102、與信號(hào)線102并列延伸的多條電源線103，在掃描線101以及信號(hào)線102的各交點(diǎn)附近形成象素區(qū)域A。
在信號(hào)線102上連接備有移位寄存器、電平移位器、視頻線路以及模擬開(kāi)關(guān)的數(shù)據(jù)側(cè)驅(qū)動(dòng)電路104。另外，在掃描線101上連接備有移位寄存器、電平移位器的掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路105。
另外，在各象素區(qū)域A中，設(shè)置有借助掃描線101將掃描信號(hào)供給柵電極的第一薄膜晶體管122、保持借助該第一薄膜晶體管122從信號(hào)線102供給的象素信號(hào)的保持電容cap、將通過(guò)該保持電容cap保持的象素信號(hào)供給柵電極的第二薄膜晶體管123、借助該第二薄膜晶體管123電連接在電源線103上時(shí)從該電源線103流入驅(qū)動(dòng)電流的象素電極(陽(yáng)極)111、夾持在該象素電極111與對(duì)置電極(陰極)12之間的發(fā)光部110。通過(guò)這些象素電極111和對(duì)置電極12以及發(fā)光部110構(gòu)成本發(fā)明的有機(jī)EL元件。
通過(guò)這種構(gòu)成，一旦掃描線101被驅(qū)動(dòng)，第一薄膜晶體管122變?yōu)殚_(kāi)態(tài)，此時(shí)的信號(hào)線102的電位保持在保持電容cap中，根據(jù)該保持電容cap的狀態(tài)，確定第二薄膜晶體管123的開(kāi)閉狀態(tài)。接著，借助第二薄膜晶體管123的溝道，從電源線103向象素電極111流入電流，進(jìn)而借助發(fā)光部110電流流入陰極12。發(fā)光部110根據(jù)流過(guò)的電流量進(jìn)行發(fā)光。
接著，如圖2(a)和圖2(b)所示，本例的有機(jī)EL裝置1備有由玻璃等構(gòu)成的透光性基板2、在該透光性基板2上矩陣狀配置的多個(gè)有機(jī)EL元件、密封這些有機(jī)EL元件的密封基板。形成于基板2上的有機(jī)EL元件如前述，由象素電極111、發(fā)光部110以及陰極12構(gòu)成。
基板2是例如玻璃等的具有透明性(透光性)的物質(zhì)。在該基板2的中央設(shè)置有顯示區(qū)域2a，在基板2的周緣部即顯示區(qū)域2a的外側(cè)設(shè)置非顯示區(qū)域2b。
顯示區(qū)域2a是通過(guò)配置成矩陣狀的有機(jī)EL元件構(gòu)成的區(qū)域，是作為有效顯示區(qū)域的區(qū)域。另外，在非顯示區(qū)域2b上形成與顯示區(qū)域2a鄰接的偽顯示區(qū)域2d。
此外，如圖2(b)所示，由有機(jī)EL元件以及圍堰部構(gòu)成的EL元件部11與基板2之間，形成電路元件部14，在該電路元件部14上形成有所述掃描線、信號(hào)線、保持電容、第一薄膜晶體管、第二薄膜晶體管123等。
陰極12的端部連接在形成于基板2上的陰極用布線12a上，該布線端部連接在柔性基板5上的布線5a上。另外，布線5a連接在設(shè)置于柔性基板5上的驅(qū)動(dòng)IC6(驅(qū)動(dòng)電路)上。
另外，如圖2(a)和圖2(b)所示，在電路元件部14的非顯示區(qū)域2b上配設(shè)有所述電源線103(103R、103G、103B)。
另外，在顯示區(qū)域2a的圖2(a)中的兩側(cè)，配置有所述掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路105、105。該掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路105、105設(shè)置在偽區(qū)域2d的下側(cè)的電路元件部14內(nèi)。進(jìn)而，在電路元件部14內(nèi)，設(shè)置有連接在掃描側(cè)驅(qū)動(dòng)電路105、105上的驅(qū)動(dòng)電路用控制信號(hào)布線105a和驅(qū)動(dòng)電路用電源布線105b。
另外，在顯示區(qū)域2a的圖2(a)中的上側(cè)，配置有檢查電路106。通過(guò)該檢查電路106能夠檢查制造過(guò)程中或運(yùn)出時(shí)的顯示裝置的質(zhì)量、缺陷。
此外，如圖2(b)所示，在EL元件部11上形成有密封部3。該密封部3由涂布在基板2上的密封樹(shù)脂603和密封基板604構(gòu)成。作為密封樹(shù)脂603可以使用熱固化性樹(shù)脂或紫外線固化性樹(shù)脂等，但是優(yōu)選使用環(huán)氧樹(shù)脂。
該密封樹(shù)脂603例如通過(guò)微型分配器等在基板2的周?chē)坎汲森h(huán)狀，對(duì)基板2和密封基板604進(jìn)行接合。通過(guò)這種構(gòu)成，密封樹(shù)脂603可以防止水或氧從基板2和密封基板604之間浸入密封基板604的內(nèi)部，防止陰極12或EL元件部11內(nèi)形成的發(fā)光層(未圖示)發(fā)生氧化。
密封基板604由玻璃或金屬構(gòu)成，借助密封樹(shù)脂603接合在基板2上，在其內(nèi)側(cè)形成凹部604a。在該凹部604a中貼附吸收水或氧的吸氣劑605，可以吸收浸入密封基板604內(nèi)部的水或氧。
然后，圖3表示有機(jī)EL裝置1中的顯示區(qū)域的剖面構(gòu)造的放大圖。在該圖3中，顯示三個(gè)象素區(qū)域A。有機(jī)EL裝置1在基板2上依次疊層形成有TFT等的電路等的電路元件部14、形成有發(fā)光部110的EL元件部11。
在該有機(jī)EL裝置1中，在基板2側(cè)由發(fā)光部110發(fā)出的光，透過(guò)電路元件部14和基板2向基板2的下側(cè)(觀察者側(cè))射出，同時(shí)在基板2的反向側(cè)由發(fā)光部110發(fā)出的光，由陰極12反射，透過(guò)電路元件部14以及基板2向基板2的下側(cè)(觀察者側(cè))射出。
另外，作為陰極12通過(guò)使用透明材料，也可以從該陰極12側(cè)射出光。
在電路元件部14上，在基板2上形成由硅氧化膜構(gòu)成的襯底保護(hù)層2c，在該襯底保護(hù)層2c上形成由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜141。需要說(shuō)明的是，在半導(dǎo)體膜141上，通過(guò)高濃度注入P離子形成源區(qū)141a和漏區(qū)141b，另外，在沒(méi)有注入P的部分構(gòu)成溝道區(qū)域141c。
進(jìn)而，在電路元件部14上形成覆蓋襯底保護(hù)層2c和半導(dǎo)體膜141的透明柵極絕緣膜142，在柵極絕緣膜142上形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵極143(掃描電極101)，在柵極143和柵極絕緣膜142上形成透明的第一層間絕緣膜144a和第二層間絕緣膜144b。柵極143設(shè)置在半導(dǎo)體膜141的對(duì)應(yīng)于溝道區(qū)域141c的位置上。
另外，在第一、第二層間絕緣膜144a、144b上形成分別與半導(dǎo)體膜141的源區(qū)141a、漏區(qū)141b連接的接觸孔145、146，在這些接觸孔145、146內(nèi)分別填埋導(dǎo)電材料。
接著，在第二層間絕緣膜144b上圖案形成規(guī)定形狀的由ITO等構(gòu)成的透明的象素電極111，一方的接觸孔145與該象素電極111連接。
此外，另一方的接觸孔146與電源線103連接。
通過(guò)這種方式，在電路元件部14上形成連接于各象素電極111上的第二薄膜晶體管123。
需要說(shuō)明的是，在電路元件部14上也形成所述的保持電容cap和第一薄膜晶體管122，但是在圖3中省略了這些圖示。
EL元件部11的主要構(gòu)成有疊層在多個(gè)象素電極111…的各個(gè)上的發(fā)光部110、設(shè)置于各象素電極111和發(fā)光部110之間并且化分各發(fā)光部110的圍堰部112、形成于發(fā)光部110上的對(duì)置電極(陰極)12。
這里，象素電極111是通過(guò)透明導(dǎo)電性材料例如ITO形成的電極，被圖案形成為俯視呈大致矩形的形狀。在各象素電極111…之間設(shè)置圍堰部112。
圍堰部112由在基板2側(cè)由SiO2等構(gòu)成的無(wú)機(jī)圍堰層112a、形成于該無(wú)機(jī)圍堰層112a上的有機(jī)圍堰層112b構(gòu)成。
無(wú)機(jī)圍堰層112a是跨過(guò)象素電極111的周緣部上而形成的，在俯視的狀態(tài)下，象素電極111的周?chē)c無(wú)機(jī)圍堰層112a成為以平面重疊的方式配置的結(jié)構(gòu)。另外，有機(jī)圍堰層112b，在俯視的狀態(tài)下也是以與象素電極111的一部分重疊的方式配置的。
另外，有機(jī)圍堰層112b上形成開(kāi)口部112c，如后述，通過(guò)在該開(kāi)口部112c內(nèi)配置功能層的形成材料并成膜，從而形成由功能層構(gòu)成的發(fā)光部110。另外，該有機(jī)圍堰層112b可以通過(guò)丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等的具有耐熱性、耐溶劑性的材料形成。
發(fā)光部110如前述，是通過(guò)本發(fā)明的功能層構(gòu)成的，通過(guò)配設(shè)在象素電極(陽(yáng)極)111與對(duì)置電極12(陰極)之間，與這些象素電極111和對(duì)置電極12一起構(gòu)成有機(jī)EL元件。此處，在本例中，如前述，為了構(gòu)成全彩色顯示，備有成為發(fā)出紅色光的象素R的有機(jī)EL元件、成為發(fā)出綠色光的象素G的有機(jī)EL元件以及成為發(fā)出藍(lán)色光的象素B的有機(jī)EL元件。
在本例中，這些三種有機(jī)EL元件，作為其發(fā)光部(功能層)110的構(gòu)成為，在空穴注入層151(151R、151G、151B)與發(fā)光層150(150R、150G、150B)之間分別設(shè)置有第一、第二以及第三特性提高層153(153R、153G、153B)。
此處，空穴注入層151具有將象素電極(陽(yáng)極)111的空穴注入到發(fā)光層150的功能，或具有在其內(nèi)部傳輸空穴的功能。通過(guò)在象素電極111與發(fā)光層150之間設(shè)置這種空穴注入層，可以提高發(fā)光層150的發(fā)光效率、壽命等的特性。另外，在發(fā)光層150中，從空穴注入層151注入的空穴與從對(duì)置電極(陰極)12注入的電子再結(jié)合，從而進(jìn)行發(fā)光。
在本例中，各有機(jī)EL元件的空穴注入層151(151R、151G、151B)，例如可以通過(guò)聚3，4-亞乙基二氧噻酚(PEDOT)和聚磺化苯乙烯(PSS)的混合物形成。具體地說(shuō)，該P(yáng)EDOT與PSS的混合物分散在以水為主成分的分散劑中，從而形成空穴注入層151形成用的液狀材料。并且如后述，利用液滴噴出法將該液狀材料配置在所述開(kāi)口部112c內(nèi)，通過(guò)成膜成厚度50nm左右，形成空穴注入層151(151R、151G、151B)。
另外，作為各有機(jī)EL元件的發(fā)光層150，構(gòu)成紅色發(fā)光的有機(jī)EL元件中的發(fā)光層150R，在本例中作為其形成材料例如可以使用作為以下化合物1所示的CN-PPV。該化合物1例如通過(guò)溶解在二甲苯或三甲苯等的溶劑中，可以構(gòu)成發(fā)光層150R的形成用液狀材料。另外，該液狀材料如后述，通過(guò)液滴噴出法配置在所述開(kāi)口部112c內(nèi)，并且通過(guò)成膜成厚度80nm左右，形成發(fā)光層150R。
化合物1綠色有機(jī)EL元件中的發(fā)光層150G，作為其形成材料優(yōu)選使用例如作為以下化合物2所示的F8BT與作為化合物3所示的TFB以1∶1混合的物質(zhì)。該化合物2與化合物3構(gòu)成的混合物，例如與前述同樣，通過(guò)溶解在二甲苯或三甲苯等的溶劑中，可以構(gòu)成發(fā)光層150G的形成用液狀材料。另外，該液狀材料如后述，通過(guò)液滴噴出法配置在所述開(kāi)口部112c內(nèi)，并且通過(guò)成膜成厚度80nm左右，形成發(fā)光層150G。
化合物2
化合物3藍(lán)色有機(jī)EL元件中的發(fā)光層150B，作為其形成材料優(yōu)選使用例如作為以下化合物4所示的F8(聚二辛基芴)。該化合物4與前述同樣，通過(guò)溶解在二甲苯或三甲苯等的溶劑中，可以構(gòu)成發(fā)光層150B的形成用液狀材料。另外，該液狀材料如后述，通過(guò)液滴噴出法配置在所述開(kāi)口部112c內(nèi)，通過(guò)成膜成厚度70nm左右，形成發(fā)光層150B。
化合物4在這些空穴注入層151(151R、151G、151B)與發(fā)光層150(150R、150G、150B)之間配置的第一、第二以及第三特性提高層153(153R、153G、153B)，在本例中對(duì)于各色有機(jī)EL元件由不同的材料形成。即，構(gòu)成紅色發(fā)光的有機(jī)EL元件中的特性提高層153R，例如通過(guò)以下化合物5所示的聚[(9，9-二辛基芴基-2，7-二基)-(1，4-乙烯基苯)]共聚物(poly[(9，9-dioctylfluorenyl-2，7-diyl)-co-(1，4-ethylbenzene)]形成。
另外，構(gòu)成綠色發(fā)光的有機(jī)EL元件中的特性提高層153G，例如通過(guò)以下化合物6所示的聚[(9，9-二己基芴基-2，7-二基)-(9-乙基-3，6-咔唑)]共聚物形成。
此外，構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的有機(jī)EL元件中的特性提高層153B，例如通過(guò)以下化合物7所示的聚[(9，9-二己基芴基-2，7-二基)-(2，5-對(duì)二甲苯)]共聚物形成。
這些化合物可以分別通過(guò)溶解在二甲苯等的非極性溶劑中而形成特性提高層153形成用液狀材料。并且，該液狀材料如后述，利用液滴噴出法配置在所述開(kāi)口部112c內(nèi)的空穴注入層151上，通過(guò)成膜而構(gòu)成特性提高層153。 化合物5 化合物6 化合物7由這些材料構(gòu)成的各特性提高層153R、153G、153B，分別配置在所述空穴注入層151R、151G、151B與發(fā)光層150R、150G、150B之間，厚度為1～10nm左右，優(yōu)選為5nm左右，通過(guò)這種方式配置，可以發(fā)揮以下所示的功能。
(A)在從陰極(對(duì)置電極)12側(cè)向發(fā)光層150供給電子、以及從陽(yáng)極(象素電極)111側(cè)向發(fā)光層150供給空穴時(shí)，可以防止由于某種原因這些供給的電子與空穴之間的平衡(載流子平衡)被打破而導(dǎo)致蓄積在發(fā)光層150上的電子向空穴注入層151側(cè)移動(dòng)。由此可以提高發(fā)光效率。
(B)可以防止由在發(fā)光層150中再結(jié)合的電子與空穴構(gòu)成的激子向空穴注入層151側(cè)擴(kuò)散。由此可以提高發(fā)光效率。
(C)可以防止離子性雜質(zhì)從空穴注入層151側(cè)向發(fā)光層150側(cè)擴(kuò)散。由此可以防止由于離子性雜質(zhì)引起的壽命的降低。
(D)可以提高空穴從空穴注入層151向發(fā)光層150的傳輸性。由此提高發(fā)光效率。
此處，為了更好地發(fā)揮所述(A)的功能，作為特性提高層153的形成材料，優(yōu)選使用其LUMO能級(jí)與相同的有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層150的形成材料的LUMO能級(jí)相比，位于接近真空能級(jí)附近的位置的材料。
另外，作為形成能夠更好發(fā)揮所述(A)的功能的特性提高層153的形成材料，具體可以舉出以下化合物。
[4-(二苯基氨基)苯基]苯胺、[4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基](4-甲氧基苯基){4-[(4-甲氧基苯基)苯基氨基]苯基}胺、雙[4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基][4-(二苯基氨基)苯基]胺、雙[4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基][4-{雙(甲氧基苯基)氨基}苯基]胺、[4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯基)苯基][4-(二苯基氨基)苯基]苯胺、[4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯基)苯基][4-{雙(4-甲氧基苯基)氨基}苯基](4-甲氧基苯基)胺、雙[4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯基)苯基][4-(二苯基氨基)苯基]胺、雙[4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯基)苯基][4-{雙(4-甲氧基苯基)氨基}苯基]胺、[4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基][4-(二苯基氨基)苯基]苯胺、[4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基][4-{雙(4-甲氧基苯基)氨基}苯基](4-甲氧基苯基)胺、雙[4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基][4-(二苯基氨基)苯基]胺、雙[4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基][4-{雙(4-甲氧基苯基)氨基}苯基]胺、[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基}苯基]二苯基胺、[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基}苯基]雙(4-甲氧基苯基)胺、雙[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基}苯基]苯基胺、雙[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基}苯基](4-甲氧基苯基)胺、三[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)苯基}苯基]胺、三[4-{4-(2，2-二苯基乙烯基)-2-甲基苯基}-3-甲基苯基]胺、[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)苯基}苯基]二苯基胺、[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)苯基}苯基]雙(4-甲氧基苯基)胺、雙[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)苯基}苯基]苯基胺、雙[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)苯基}苯基](4-甲氧基苯基)胺、三[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)苯基}苯基]胺、三[4-{4-(4，4-二苯基-1，3-丁二烯)-2-甲基苯基}-3-甲基苯基]胺、[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基}苯基]二苯基胺、[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基}苯基]雙(4-甲氧基苯基)胺、雙[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基}苯基]苯基胺、雙[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基}苯基](4-甲氧基苯基)胺、三[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}苯基}苯基]胺、三[4-{4-{2-氮雜-2-(二苯基氨基)乙烯基}-2-甲基苯基}-3-甲基苯基]胺、雙[4-{雙(3-甲基苯基)氨基}苯基](4-苯基苯基)胺、雙[4-{雙(4-甲氧基苯基)氨基}苯基](4-苯基苯基)胺、雙[4-(二苯基氨基)苯基](4-甲基苯基)胺、雙[4-(二苯基氨基)苯基]{4-(4-甲氧基苯基)苯基}胺、雙[4-(二苯基氨基)苯基][4-{4-(4-苯基)苯基}苯基]胺。
另外，這些化合物，如前述可以對(duì)于各色有機(jī)EL元件分別選擇使用對(duì)應(yīng)于其發(fā)光層150的形成材料的最適的化合物。
另外，為了更好地發(fā)揮所述(D)的功能，作為特性提高層153的形成材料，優(yōu)選使用其HOMO能級(jí)位于相同有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層150的形成材料的HOMO能級(jí)與空穴注入層151的形成材料的HOMO能級(jí)之間的材料。
另外，尤其是為了更好地發(fā)揮(C)的功能，作為特性提高層153的形成材料，可以代替所述化合物5～7，而優(yōu)選使用例如光學(xué)、電學(xué)惰性的金屬離子捕捉材料。作為這種材料具體可以舉出具有捕捉金屬離子功能的冠醚。尤其在本實(shí)施方式中，優(yōu)選使用作為以下化合物8示出的15-冠醚-5(15-crown-5-ether)。
化合物8這種15-冠醚-5等的冠醚，既可以將其自身作為金屬離子捕捉材料，也可以在金屬離子捕捉材料中作為構(gòu)成所述環(huán)狀部(骨架部)的化合物而使用冠醚。即，也可以是如以下化合物9所示，可以將構(gòu)成冠醚的氧原子置換為氮原子，在該氮原子上附加烷基等的側(cè)鏈的結(jié)構(gòu)。
化合物9
在這種由冠醚構(gòu)成的金屬離子捕捉材料中，通過(guò)氧原子帶負(fù)電，可以更容易地捕獲作為帶有正電荷的離子性雜質(zhì)的金屬離子(例如鈉離子)而形成絡(luò)和物。
另外，冠醚根據(jù)其環(huán)的大小不同對(duì)金屬離子的捕獲具有選擇性，因此通過(guò)選擇對(duì)應(yīng)于預(yù)想的雜質(zhì)(金屬離子)的大小的環(huán)，能夠發(fā)揮更優(yōu)良的捕獲性，即能夠發(fā)揮更好的防止離子性雜質(zhì)擴(kuò)散的功能。
此外，作為用于很好發(fā)揮所述(C)的功能的特性提高層153的形成材料，也可以代替所述化合物5～7，使用無(wú)機(jī)離子交換材料。該無(wú)機(jī)離子交換材料，由金屬氧化物等金屬鹽構(gòu)成，具有吸附陽(yáng)離子而捕捉固定的類(lèi)型、吸附陰離子捕捉固定的類(lèi)型、以及陽(yáng)離子、陰離子都吸附而捕捉固定的類(lèi)型。
作為捕捉固定陽(yáng)離子類(lèi)型的無(wú)機(jī)離子交換材料，可以舉出五氧化銻(Sb2O5)的水合物(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-300)、磷酸鈦(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-400)、磷酸鋯(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-100)等。特別是五氧化銻(Sb2O5)的水合物對(duì)于鈉離子具有很高的吸附選擇性，因此可以很好地用于捕捉固定空穴注入層151的形成材料中作為雜質(zhì)離子含有的Na離子(離子雜質(zhì))。
此外，作為捕捉固定陰離子類(lèi)型的無(wú)機(jī)離子交換材料，可以舉出含水氧化鉍(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-500)、氫氧化磷酸鉛(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-1000)等。特別是含水氧化鉍對(duì)于硫酸離子(SO42-)具有很高的吸附選擇性，因此可以很好地用于捕捉固定空穴注入層151的形成材料中作為雜質(zhì)離子含有的硫酸離子(SO42-)(離子性雜質(zhì))。
另外，作為陽(yáng)離子、陰離子都吸附而捕捉固定的類(lèi)型，可以舉出氧化鋯、含水氧化鋯、含水氧化鈦、以及銻、鉍系的材料(例如東亞合成株式會(huì)社制的IXE(注冊(cè)商標(biāo))-600、IXE(注冊(cè)商標(biāo))-633)等。若使用這種類(lèi)型的材料，可以在捕捉固定空穴注入層形成材料中含有的鈉離子的同時(shí)，也捕捉固定硫酸離子。
另外，作為特性提高層153的形成材料，通過(guò)使用所述材料，對(duì)于所述(B)的功能也能使其很好地發(fā)揮。即，處于發(fā)光層150的空穴注入層151側(cè)界面附近的激子，雖然變得容易向?qū)щ娦愿叩目昭ㄗ⑷雽?51側(cè)移動(dòng)，但是，通過(guò)使與空穴注入層151相比導(dǎo)電性低的特性提高層153夾持在發(fā)光層150與空穴注入層151之間，可以抑制該容易移動(dòng)的情況。
它們?nèi)N有機(jī)EL元件中的各發(fā)光部110(功能層)上，對(duì)置電極(陰極)12在EL元件部11的整個(gè)面上形成。因?yàn)樵搶?duì)置電極(陰極)12與象素電極111形成一對(duì)，發(fā)揮電流流入發(fā)光部110的作用，所以通過(guò)Ca與Al的疊層膜(Ca/Al)形成。此處，Ca例如形成為20nm左右的厚度，Al形成為大致200nm的厚度。
需要說(shuō)明的是，對(duì)于對(duì)置電極(陰極)12，也可以使對(duì)于各有機(jī)EL元件使其構(gòu)成不同。例如，構(gòu)成紅色發(fā)光的有機(jī)EL元件以及構(gòu)成綠色發(fā)光的有機(jī)EL元件，可以代替所述疊層膜中Ca例如對(duì)乙酰丙酮鈣鹽進(jìn)行成膜。這種乙酰丙酮鈣鹽由于在有機(jī)溶劑中溶解，因此可以將其調(diào)整在液狀材料中，通過(guò)液滴噴出法噴出在所定位置，從而進(jìn)行成膜。
需要說(shuō)明的是在這種對(duì)置電極(陰極)12上也可以設(shè)置由SiO、SiO2、SiN等構(gòu)成的防止氧化用的保護(hù)層155。
另外，在通過(guò)這種方式形成的有機(jī)EL元件上配置密封基板604，進(jìn)而如圖2(b)所示，通過(guò)密封樹(shù)脂603粘接密封基板604，從而構(gòu)成有機(jī)EL裝置1。
然后，根據(jù)這種構(gòu)成的有機(jī)EL裝置1的制造方法，說(shuō)明本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的制造方法。
在制造所述構(gòu)成的有機(jī)EL裝置1中，首先，與以前一樣，如圖(4)所示，在基板2上形成TFT元件(第二薄膜晶體管123)或各種布線等，進(jìn)而形成層間絕緣膜或平整化膜。
然后，在該基板2上通過(guò)蒸鍍法等成膜ITO，進(jìn)而通過(guò)進(jìn)行圖形化，形成象素電極111。
接著，以包圍所述象素電極111的周?chē)姆绞皆诨?上形成由SiO2構(gòu)成的無(wú)機(jī)圍堰112a。進(jìn)而，如圖5所示，在該無(wú)機(jī)圍堰112a上形成由樹(shù)脂構(gòu)成的有機(jī)圍堰112b，由此在象素電極111上形成開(kāi)口部112c。需要說(shuō)明的是，在所述有機(jī)圍堰112b中所用的材料，可以舉出聚酰亞胺、丙烯酸樹(shù)脂等。作為這些材料，可以使用預(yù)先含有氟元素的材料。
接著，對(duì)于以無(wú)機(jī)圍堰112a、有機(jī)圍堰112b包圍的開(kāi)口部112c，通過(guò)進(jìn)行氧等離子-CF4等離子的連續(xù)處理，從而控制基板2上的潤(rùn)濕性。
接著，通過(guò)噴墨法等的液滴噴出法在所述開(kāi)口部112c內(nèi)有選擇地配置含有空穴注入/傳輸層的形成材料的液狀材料，從而形成空穴注入層151(151R、151G、151B)。
此處作為基于液滴噴出法進(jìn)行液滴噴出的液滴噴出裝置，優(yōu)選使用備有如圖6(a)所示液滴噴出頭310的裝置。液滴噴出頭310備有例如不銹鋼制的噴嘴板312和振動(dòng)扳313，夾持隔離構(gòu)件314將其進(jìn)行接合。在噴嘴板312與振動(dòng)扳313之間，通過(guò)隔離構(gòu)件314形成多個(gè)空間315和貯液室316。在各空間315與貯液室316的內(nèi)部，充滿(mǎn)液狀材料，各空間315和貯液室316，借助供給口317連通。另外，在噴嘴板312上以配置成一列的狀態(tài)形成多個(gè)用于將液狀材料從空間315噴射出的噴嘴孔318。另一方面，在振動(dòng)扳313上形成用于將液狀材料供給貯液室316的孔319。
另外，在振動(dòng)扳313的與對(duì)置于空間315的面呈相反一側(cè)的面上，如圖6(b)所示，結(jié)合有壓電元件320。該壓電元件320位于一對(duì)電極321之間，一旦通電，則其向外側(cè)突出地彎曲。另外，在該構(gòu)成中，接合有壓電元件320的振動(dòng)扳313在與壓電元件320一體化的同時(shí)，變?yōu)橄蛲鈧?cè)彎曲，由此，空間315的容積變大。因此，相當(dāng)于空間315內(nèi)增大的容積部分的液狀材料由貯液室316借助供給口317流入。此外，一旦從這種狀態(tài)解除向壓電元件320的通電，則壓電元件320和振動(dòng)扳313都返回原先的形狀。因此，由于空間315也返回最初的容積，因此空間315內(nèi)部的液狀材料的壓力上升，液狀材料的液滴322從噴嘴孔318向基板噴出。
此外，作為液滴噴出頭310的結(jié)構(gòu)，除了使用所述壓電元件320的壓電噴墨型之外，還可以采用公知的結(jié)構(gòu)。
在基于這種液滴噴出頭310噴出空穴注入/傳輸層用的液狀材料時(shí)，對(duì)于各色的有機(jī)EL元件噴出所述的通用的液狀體(由PEDOT/PSS構(gòu)成的液狀材料)。另外，通過(guò)對(duì)于噴出的液狀體進(jìn)行干燥處理、燒結(jié)處理，如圖7所示，在所述象素電極111上形成空穴注入層151(151R、151G、151B)。此處，在空穴注入層151R、151G、151B的形成中，有必要選擇性將該空穴注入層的形成材料(液狀材料)噴出在所述開(kāi)口部112c內(nèi)，但是通過(guò)所述的液滴噴出法可以在所需位置上噴出該形成材料，因此可以容易地形成空穴注入層150。
然后，在所述開(kāi)口部112c內(nèi)的空穴注入層151上形成特性提高層153(153R、153G、153B)。在這些特性提高層153R、153G、153B的形成中，也優(yōu)選采用基于前述的液滴噴出頭310的液滴噴出法(噴墨法)。為形成特性提高層153，首先從液滴噴出頭310將含有特性提高層153形成材料的液狀體中的一種噴出配置在對(duì)應(yīng)的位置上。此時(shí)與實(shí)際形成的特性提高層153的膜厚相比，配置充分量的液狀體使膜厚足夠厚。
這樣在配置過(guò)量的液狀體后，對(duì)于該液狀體實(shí)施不溶化處理。作為不溶化處理，首先將基板2放置在電熱板上，在惰性氣氛中在130℃～180℃的溫度下加熱處理1小時(shí)，進(jìn)行退火處理。然后，液狀體干燥固化，同時(shí)在其底部側(cè)通過(guò)產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)，從而該底部側(cè)變得難溶化。
然后，利用液狀體的形成中使用的溶劑例如二甲苯，用其再溶解由液狀體構(gòu)成的固形成分。此時(shí)，雖然大部分再溶解，但是其底部側(cè)的難溶化后的部分沒(méi)有溶解而原樣殘留。并且，該難溶化并沒(méi)有再溶解而殘留的部分作為特性提高層153。此處，對(duì)于該特性提高層153，例如在將其形成為5nm左右時(shí)，如前述配置過(guò)量的液狀體，使由液狀體干燥后的固形成分構(gòu)成的膜的厚度例如變?yōu)?0nm左右。
此外，作為不溶化處理，并不限于這種基于加熱的退火方法，例如也可以通過(guò)在液狀體中添加感光性的交聯(lián)引發(fā)劑，在干燥的同時(shí)進(jìn)行光照射，使引起交聯(lián)反應(yīng)，使部分變得難溶化。
在通過(guò)這種方式形成一種特性提高層153后，通過(guò)改變液狀體，對(duì)于其它兩種也同樣進(jìn)行不溶化處理，如圖8所示形成各自的特性提高層153。
然后，在所述開(kāi)口部112c內(nèi)的特性提高層153上形成發(fā)光層150(150R、150G、150B)。在這些發(fā)光層150(150R、150G、150B)的形成中，也優(yōu)選采用基于所述液滴噴出頭310的液滴噴出法(噴墨法)。即，在這些發(fā)光層150R、150G、150B的形成中，對(duì)于各個(gè)有機(jī)EL元件噴出所述專(zhuān)用的材料(對(duì)應(yīng)于各色的材料)。另外，通過(guò)分別對(duì)各材料進(jìn)行干燥處理、燒結(jié)處理，如圖9所示，在所述特性提高層153上形成發(fā)光層150(150R、150G、150B)。此時(shí)，即使在這些發(fā)光層150R、150G、150B的形成中，有必要分為紅、綠、藍(lán)各色，但是若通過(guò)采用所述的液滴噴出法，僅通過(guò)在各自所需的位置上噴出各發(fā)光層的形成材料(液狀材料)，可以容易地形成發(fā)光層。
另外，在用于形成該發(fā)光層150的液狀體中雖然含有溶劑，但是由于特性提高層153如前述進(jìn)行不溶化處理，因此不會(huì)再次溶解在該液狀體的溶劑中。
通過(guò)這種方式形成發(fā)光層150(150R、150G、150B)，由此，對(duì)于各顏色，在形成其發(fā)光部(功能層)110后，與以往相同，通過(guò)蒸鍍法等以覆蓋發(fā)光部110和有機(jī)圍堰112的狀態(tài)下，對(duì)鈣進(jìn)行成膜，使其厚度為20nm左右，進(jìn)而通過(guò)在其上成膜Al(鋁)使其厚度為200nm左右，如圖10所示，形成由Ca/Al的疊層結(jié)構(gòu)構(gòu)成的對(duì)置電極(陰極)12。并且由此形成多個(gè)由象素電極(陽(yáng)極)111與發(fā)光部(功能層)110以及對(duì)置電極(陰極)12構(gòu)成的有機(jī)EL元件。
此外，關(guān)于構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的有機(jī)EL元件，特別是關(guān)于其對(duì)置電極12，優(yōu)選形成含有LiF的疊層結(jié)構(gòu)。具體地說(shuō)，利用掩模通過(guò)蒸鍍法等有選擇性地成膜LiF，使其厚度為4nm左右，接著，成膜鈣使其厚度為10nm左右，之后通過(guò)與其它顏色的有機(jī)EL元件部分一起成膜Al使其厚度為20nm左右，從而形成由LiF/Ca/Al的疊層結(jié)構(gòu)構(gòu)成的對(duì)置電極(陰極)12。
在通過(guò)這種方式形成對(duì)置電極(陰極)12后，通過(guò)在對(duì)置電極12上形成保護(hù)層155、密封樹(shù)脂603，進(jìn)而貼設(shè)密封基板604，可以得到圖2所示的有機(jī)EL裝置1。
在通過(guò)這種方式形成的有機(jī)EL裝置中，由于具備相對(duì)于發(fā)光的各色不同的特性提高層153(153R、153G、153B)，因此各發(fā)光層150(150R、150G、150B)能夠分別發(fā)揮最良的發(fā)光特性。因此，顯示特性提高，能夠進(jìn)行高精細(xì)、高亮度的優(yōu)良的顯示。
另外，在所述制造方法中，對(duì)于構(gòu)成紅、綠、藍(lán)的各色發(fā)光的三種有機(jī)EL元件，設(shè)置了各自不同的特性提高層153，但是本發(fā)明并不限于此，也可以?xún)H在一種有機(jī)EL元件上設(shè)置特性提高層153，在其它兩種中不設(shè)置，或僅在兩種有機(jī)EL元件上設(shè)置特性提高層153，而在其它一種上不設(shè)置。
另外，對(duì)于三種有機(jī)EL元件，即使在各自都設(shè)置了特性提高層153時(shí)，也可以對(duì)于其中的兩種形成由相同材料構(gòu)成的特性提高層153，對(duì)于另外一種，形成由與其不同的材料構(gòu)成的特性提高層153。
此外，在所述制造方法中，對(duì)于構(gòu)成紅、綠、藍(lán)的各色發(fā)光的三種有機(jī)EL元件之間，使其特性提高層的構(gòu)成不同，但是在本發(fā)明中，即使在構(gòu)成相同顏色的有機(jī)EL元件之間，也可以適當(dāng)?shù)厥蛊涮匦蕴岣邔拥臉?gòu)成不同。
這樣，例如在根據(jù)這些有機(jī)EL元件在有機(jī)EL裝置中的設(shè)置位置不同而要求的發(fā)光特性不同的情況下，可以通過(guò)根據(jù)各自要求的發(fā)光特性而設(shè)置由適宜材料構(gòu)成的特性提高層，或不設(shè)置，可以使各有機(jī)EL元件的發(fā)光特性更良好，由此可以提高顯示特性。
下面，對(duì)于備有這種構(gòu)成的有機(jī)EL裝置1的電子機(jī)器的具體例子，進(jìn)行說(shuō)明。
圖11是表示攜帶電話的一例的立體圖。在圖11中，符號(hào)600表示攜帶電話的本體，符號(hào)601表示利用前述的有機(jī)EL裝置的顯示部。
在該電子機(jī)器中，由于作為顯示部備有提高了前述顯示特性的有機(jī)EL裝置1，因此顯示部的顯示特性變得十分優(yōu)良。
另外，本發(fā)明的有機(jī)EL裝置作為顯示部可以適用于例如文字處理機(jī)、電腦等的攜帶型信息處理裝置或手表型電子機(jī)器等各種電子機(jī)器中的顯示部。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL裝置，備有多個(gè)有機(jī)EL元件，該有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極和設(shè)置于這些電極間的至少含有空穴注入層與發(fā)光層的功能層，其特征在于，在前述有機(jī)EL元件中的一個(gè)有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置特性提高層，并且在前述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間不設(shè)置特性提高層。
2.一種有機(jī)EL裝置，備有多個(gè)有機(jī)EL元件，該有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極和設(shè)置于這些電極間的至少含有空穴注入層與發(fā)光層的功能層，其特征在于，在前述有機(jī)EL元件中的一個(gè)有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置第一特性提高層，在前述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置由與前述第一特性提高層的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的發(fā)光層與其它有機(jī)EL元件的發(fā)光層，相互發(fā)光的顏色不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述特性提高層為1～10nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述特性提高層的形成材料的LUMO能級(jí)與相同有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層的形成材料的LUMO能級(jí)相比，位于接近真空能級(jí)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，所述特性提高層的形成材料的HOMO能級(jí)，位于相同有機(jī)EL元件內(nèi)的發(fā)光層的形成材料的HOMO能級(jí)與空穴注入層的形成材料的HOMO能級(jí)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，備有構(gòu)成紅色發(fā)光的有機(jī)EL元件、構(gòu)成綠色發(fā)光的有機(jī)EL元件以及構(gòu)成藍(lán)色發(fā)光的有機(jī)EL元件。
8.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是設(shè)置有多個(gè)有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法，所述有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極以及設(shè)置在這些電極之間的至少含有空穴注入層和發(fā)光層的功能層，其特征在于，在所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間形成特性提高層，同時(shí)在所述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間不形成特性提高層。
9.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，是設(shè)置有多個(gè)有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置的制造方法，所述有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極以及設(shè)置在這些電極之間的至少含有空穴注入層和發(fā)光層的功能層，其特征在于，在所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間形成第一特性提高層，同時(shí)在所述有機(jī)EL元件中的其它有機(jī)EL元件的空穴注入層與發(fā)光層之間設(shè)置由與所述一有機(jī)EL元件的材料不同的材料構(gòu)成的第二特性提高層。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，所述有機(jī)EL元件中的一有機(jī)EL元件的發(fā)光層與其它有機(jī)EL元件的發(fā)光層，用不同的材料形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求8～10中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，所述功能層通過(guò)利用液滴噴出法配置含有其形成材料的液狀體而形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，在利用液滴噴出法配置含有特性提高層的形成材料的液狀體后，通過(guò)對(duì)其實(shí)施不溶化處理而形成特性提高層。
13.一種電子機(jī)器，其特征在于，備有權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置或通過(guò)權(quán)利要求8～12中的任一項(xiàng)所述的制造方法得到的有機(jī)EL裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠使各個(gè)有機(jī)EL元件發(fā)揮最良的發(fā)光特性并且由此提高顯示特性的有機(jī)EL裝置及其制造方法以及電子機(jī)器。所述有機(jī)EL裝置(1)備有多個(gè)有機(jī)EL元件，該有機(jī)EL元件具有一對(duì)電極(111、12)和設(shè)置于這些電極間的至少含有空穴注入層(151)與發(fā)光層(150)的功能層，在前述有機(jī)EL元件中的一個(gè)有機(jī)EL元件的空穴注入層(151)與發(fā)光層(150)之間設(shè)置特性提高層(153)，并且一有機(jī)EL元件中從空穴注入層(151)至發(fā)光層(150)的構(gòu)成，相對(duì)于其它的有機(jī)EL元件中的從空穴注入層(151)至發(fā)光層(150)的構(gòu)成，至少空穴注入層(151)與發(fā)光層(150)以外的構(gòu)成要素不同。
文檔編號(hào)H01L27/00GK1582074SQ20041005645
公開(kāi)日2005年2月16日 申請(qǐng)日期2004年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月8日
發(fā)明者內(nèi)田昌宏, 關(guān)俊一 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社