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一種電子槍維護(hù)用真空密封裝置的制作方法

文檔序號:11403368閱讀:336來源:國知局
一種電子槍維護(hù)用真空密封裝置的制造方法

本發(fā)明涉及一種電子槍真空密封裝置,尤其涉及一種電子束熔煉爐使用的電子槍維護(hù)用真空密封裝置。



背景技術(shù):

電子槍是真空電子束熔煉爐的重要組成部分,所以對電子槍要進(jìn)行定期保養(yǎng)、維修及更換?,F(xiàn)有技術(shù)中的電子槍直接安裝于真空電子束熔煉爐的真空室內(nèi),需要打開真空室,才能對電子槍進(jìn)行保養(yǎng)及維修,保養(yǎng)及維修完畢后,再對真空室進(jìn)行抽真空處理,使得電子槍的保養(yǎng)及維護(hù)費時費力,導(dǎo)致真空電子束熔煉爐使用效率低下,并且使用一段時間后,真空室的密閉性降低,導(dǎo)致真空室的使用壽命降低。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的一個目的是要提供一種電子槍維護(hù)用真空密封裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中的電子槍直接安裝于真空電子束熔煉爐的真空室內(nèi),導(dǎo)致對電子槍的保養(yǎng)及維護(hù)費時費力,導(dǎo)致真空電子束熔煉爐使用效率低下,真空室的密閉性降低,導(dǎo)致真空室的使用壽命降低的問題。

本發(fā)明為解決上述問題采取的技術(shù)方案是:所述裝置包括電子槍及電子槍定位固定總成;

所述真空密封裝置還包括:真空泵、電子槍外罩、密封門總成、第一動力源及第二動力源。

電子槍外罩豎直設(shè)置于電子束熔爐的真空室頂端且與所述真空室相連通,密封門總成設(shè)置于電子槍外罩與所述真空室之間,電子槍定位固定總成安裝于電子槍外罩內(nèi),電子槍安裝于電子槍定位固定總成上;

密封門總成包括密封板、橫向板總成及縱向板總成,密封板水平設(shè)置于電子槍外罩的內(nèi)腔低端,密封板與電子槍外罩密封固接,密封板的板面開設(shè)有方形通孔;

橫向板總成包括第一長方形板、第二長方形板、第三長方形板、第四長方形板及兩條導(dǎo)軌,每條導(dǎo)軌水平固接于方形通孔的一個橫向側(cè)壁上,兩條導(dǎo)軌相對設(shè)置,第一長方形板、第二長方形板、第三長方形板及第四長方形板的尺寸相一致,第一長方形板、第二長方形板、第三長方形板及第四長方形板依次水平并行且相互呈間隙設(shè)置于兩條導(dǎo)軌之間的方形通孔中,第一長方形板的外側(cè)長邊與方形孔的豎向側(cè)壁相平行設(shè)置且轉(zhuǎn)動密封連接,第一長方形板的內(nèi)側(cè)長邊與第二長方形板的一個長邊轉(zhuǎn)動密封連接,第二長方形板的另一個長邊與第三長方形板的一個長邊貼合并密封設(shè)置,第三長方形板的另一個長邊與第四長方形板的內(nèi)側(cè)長邊轉(zhuǎn)動密封連接,第四長方形板的外側(cè)長邊與方形通孔的另一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動密封連接,第二長方形板的每個寬邊固接有一個第一滑輪,每個第一滑輪安裝于一條導(dǎo)軌內(nèi),第三長方形板的每個寬邊固接有一個第二滑輪,每個第二滑輪安裝于一條導(dǎo)軌內(nèi),第一動力源帶動第一長方形板與第二長方形板同步轉(zhuǎn)動連接;

縱向板總成包括第五長方形板及第六長方形板,第五長方形板與第六長方形板均水平放置且相互并行呈間距設(shè)置于密封板頂面,第五長方形板與第一長方形板垂直設(shè)置,第五長方形板的外側(cè)長邊與方形孔的一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,第六長方形板的外側(cè)長邊與方形孔的另一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,方形孔的兩個豎向側(cè)壁分別與第一長方形板至第四長方形板呈間隙設(shè)置,所述間隙分別被第五長方形板以及第六長方形板密封覆蓋,第二動力源帶動第五長方形板與第六長方形板同步轉(zhuǎn)動連接,真空泵與電子槍外罩相連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比較,本發(fā)明的有益效果:

本發(fā)明的真空密封裝置相對現(xiàn)有技術(shù)節(jié)約了電子槍01的整體維修保養(yǎng)時間,將電子槍外罩02進(jìn)行真空隔離后,只需打開電子槍外罩02便可實現(xiàn)對電子槍01的相應(yīng)維修及保養(yǎng),電子槍01維修保養(yǎng)完畢后,只需關(guān)閉電子槍外罩02并對其進(jìn)行抽真空處理便完成對電子槍01的整體維修保養(yǎng);相對現(xiàn)有技術(shù)中,破壞電子束熔爐的真空室05的真空狀態(tài)對電子槍01進(jìn)行維修保養(yǎng)的方式,本發(fā)明的真空密封裝置大大提高了真空電子束熔煉爐的使用效率,并且減少對電子束熔爐真空室05的真空度破壞次數(shù),從而相對提高了電子束熔爐真空室05的密閉性及其使用壽命。

真空泵實現(xiàn)對電子槍外罩02的抽真空處理,保證電子槍外罩02內(nèi)的真空狀態(tài)與電子束熔爐的真空室05的真空狀態(tài)一致。

使用本發(fā)明的真空密封裝置后,電子束熔煉爐的使用效率相對提高28%,電子束熔爐的真空室05的真空密封性時效相對延長35%。

根據(jù)下文結(jié)合附圖對本發(fā)明具體實施例的詳細(xì)描述,本領(lǐng)域技術(shù)人員將會更加明了本發(fā)明的上述以及其他目的、優(yōu)點和特征。

附圖說明

后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細(xì)描述本發(fā)明的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標(biāo)記標(biāo)示了相同或類似的部件或部分。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解,這些附圖未必是按比例繪制的。

附圖中:

圖1是本發(fā)明的密封裝置的剖視主視圖;

圖2是本發(fā)明的密封門總成03處于封閉狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意俯視圖;

圖3是本發(fā)明的密封門總成03處于開啟狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意俯視圖;

圖4是圖2中的a-a剖視圖,

圖5是圖3中的p處放大圖,

圖6是圖1中的q處放大圖。

具體實施方式

具體實施方式一:結(jié)合附圖1至圖6進(jìn)行說明,本實施方式的所述裝置包括:電子槍01及電子槍定位固定總成04,

其特征在于,所述真空密封裝置還包括:真空泵、電子槍外罩02、密封門總成03、第一動力源及第二動力源,

電子槍外罩02豎直設(shè)置于電子束熔爐的真空室05頂端且與所述真空室05相連通,密封門總成03設(shè)置于電子槍外罩02與所述真空室05之間,電子槍定位固定總成04安裝于電子槍外罩02內(nèi),電子槍01安裝于電子槍定位固定總成04上;

密封門總成03包括密封板31、橫向板總成及縱向板總成,密封板31水平設(shè)置于電子槍外罩02的內(nèi)腔低端,密封板31與電子槍外罩02密封固接,密封板31的板面開設(shè)有方形通孔;

橫向板總成包括第一長方形板33、第二長方形板34、第三長方形板35、第四長方形板36及兩條導(dǎo)軌32,每條導(dǎo)軌32水平固接于方形通孔的一個橫向側(cè)壁上,兩條導(dǎo)軌32相對設(shè)置,第一長方形板33、第二長方形板34、第三長方形板35及第四長方形板36的尺寸相一致,第一長方形板33、第二長方形板34、第三長方形板35及第四長方形板36依次水平并行且相互呈間隙設(shè)置于兩條導(dǎo)軌32之間的方形通孔中,第一長方形板33的外側(cè)長邊與方形孔的豎向側(cè)壁相平行設(shè)置且轉(zhuǎn)動密封連接,第一長方形板33的內(nèi)側(cè)長邊與第二長方形板34的一個長邊轉(zhuǎn)動密封連接,第二長方形板34的另一個長邊與第三長方形板35的一個長邊貼合并密封設(shè)置,第三長方形板35的另一個長邊與第四長方形板36的內(nèi)側(cè)長邊轉(zhuǎn)動密封連接,第四長方形板36的外側(cè)長邊與方形通孔的另一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動密封連接,第二長方形板34的每個寬邊固接有一個第一滑輪37,每個第一滑輪37安裝于一條導(dǎo)軌32內(nèi),第三長方形板35的每個寬邊固接有一個第二滑輪38,每個第二滑輪38安裝于一條導(dǎo)軌32內(nèi),第一動力源帶動第一長方形板33與第二長方形板34同步轉(zhuǎn)動連接;

縱向板總成包括第五長方形板39及第六長方形板61,第五長方形板39與第六長方形板61均水平放置且相互并行呈間距設(shè)置于密封板31頂面,第五長方形板39與第一長方形板33垂直設(shè)置,第五長方形板39的外側(cè)長邊與方形孔的一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,第六長方形板61的外側(cè)長邊與方形孔的另一個豎向側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,方形孔的兩個豎向側(cè)壁分別與第一長方形板33至第四長方形板36呈間隙62設(shè)置,所述間隙62分別被第五長方形板39以及第六長方形板61密封覆蓋,第二動力源帶動第五長方形板39與第六長方形板61同步轉(zhuǎn)動連接,真空泵與電子槍外罩02相連接。

電子槍外罩02頂端安裝有電子槍安放密封倉門。

具體實施方式二:結(jié)合附圖1至圖6進(jìn)行說明,本實施方式的所述真空密封裝置還包括兩個第一連接臂64以及兩個第二連接臂65,

第二長方形板34的兩個長邊以及第三長方形板35的兩個長邊分別固接有真空密封條63,第一長方形板33的內(nèi)側(cè)長邊以及第四長方形板36的內(nèi)側(cè)長邊均固接有真空密封條63,

每個第一連接臂64的一端與第一長方形板33內(nèi)側(cè)長邊處的一個寬側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,每個第一連接臂64的另一端與第二長方形板34所述一個長邊處的寬側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,

每個第二連接臂65的一端與第四長方形板36內(nèi)側(cè)長邊處的一個寬側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,每個第二連接臂65的另一端與第三長方形板35所述一個長邊處的寬側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接。

本實施方式實現(xiàn)了“第一長方形板33的內(nèi)側(cè)長邊與第二長方形板34的一個長邊轉(zhuǎn)動密封連接”,以及“第三長方形板35的另一個長邊與第四長方形板36的內(nèi)側(cè)長邊轉(zhuǎn)動密封連接”。

兩個第一連接臂64,實現(xiàn)了第一長方形板33與第二長方形板34的轉(zhuǎn)動連接,兩個第二連接臂65實現(xiàn)了第三長方形板35與第四長方形板36的轉(zhuǎn)動連接;

當(dāng)?shù)谝婚L方形板33與第二長方形板34放平后,第一長方形板33與第二長方形板34之間的真空密封條63實現(xiàn)對第一長方形板33與第二長方形板34之間間隙的真空密封;當(dāng)?shù)谌L方形板35與第四長方形板36放平后,第三長方形板35與第四長方形板36之間的真空密封條63實現(xiàn)對第三長方形板35與第四長方形板36之間間隙的真空密封。

本實施方式中的其余主體結(jié)構(gòu)與具體實施方式一中的所述真空密封裝置相同,在此不再贅述。

具體實施方式三:結(jié)合附圖1至圖6進(jìn)行說明,本實施方式的每個第一滑輪37的固接位置為靠近第二長方形板34所述另一個長邊的寬側(cè)壁處,每個第二滑輪38的固接位置為靠近第三長方形板35所述一個長邊的寬側(cè)壁處。

本實施方式中第一滑輪37的位置能夠使第一長方形板33轉(zhuǎn)動折疊時,第一長方形板33與第二長方形板34折起后完全靠攏,從而節(jié)省了大量空間,第二滑輪37的道理相同。

本實施方式中的其余主體結(jié)構(gòu)與具體實施方式一或二中的所述真空密封裝置相同,在此不再贅述。

具體實施方式四:結(jié)合附圖1至圖6進(jìn)行說明,本實施方式的第五長方形板39的底面以及第六長方形板61的底面均固接有密封墊66,密封墊66的底面凸起形成長條形密封塊67,所述長條形密封塊67的形狀與所述間隙62的形狀相一致。

本實施方式中的其余主體結(jié)構(gòu)與具體實施方式一、二或三中的所述真空密封裝置相同,在此不再贅述。

具體實施方式五:結(jié)合附圖1至圖6進(jìn)行說明,本實施方式的

第一動力源包括第一齒輪傳動總成71,第二動力源包括第二齒輪傳動總成81,

第一長方形板33的所述外側(cè)長邊的兩端分別固接有一根第一軸73,每根第一軸73沿第一長方形板33的長邊方向穿射出電子槍外罩02,且每根第一軸73與電子槍外罩02的所述穿射處為密封設(shè)置,每根第一軸73的外端固接有一個第一齒輪74,每個第一齒輪74與第一齒輪傳動總成71相應(yīng)的動力輸出齒輪相嚙合,

第四長方形板36的所述外側(cè)長邊的兩端分別固接有一根第二軸75,每根第二軸75沿第四長方形板36的長邊方向穿射出電子槍外罩02,且每根第二軸75與電子槍外罩02的所述穿射處為密封設(shè)置,每根第二軸75的外端固接有一個第二齒輪76,每個第二齒輪76與第一齒輪傳動總成71相應(yīng)的動力輸出齒輪相嚙合;

第五長方形板39的所述外側(cè)長邊的兩端分別固接有一根第三軸82,每根第三軸82沿第五長方形板39的長邊方向穿射出電子槍外罩02,且每根第三軸82與電子槍外罩02的所述穿射處為密封設(shè)置,每根第三軸82的外端固接有一個第三齒輪83,每個第三齒輪83與第二齒輪傳動總成81相應(yīng)的動力輸出齒輪相嚙合,

第六長方形板61的所述外側(cè)長邊的兩端分別固接有一根第四軸84,每根第四軸84沿第六長方形板61的長邊方向穿射出電子槍外罩02,且每根第四軸84與電子槍外罩02的所述穿射處為密封設(shè)置,每根第四軸84的外端固接有一個第四齒輪85,每個第四齒輪85與第二齒輪傳動總成81相應(yīng)的動力輸出齒輪相嚙合。

本實施例所述真空密封裝置在具體工作時,工作流程如下:

需要對電子槍01進(jìn)行維修更換時,啟動第一動力源,第一動力源帶動第一長方形板33的所述外側(cè)長邊以及第四長方形板36的所述外側(cè)長邊同時轉(zhuǎn)動,第一長方形板33通過兩個第一連接臂64帶動第二長方形板34沿導(dǎo)軌32方向展開平放,第四長方形板36通過兩個第二連接臂65帶動第三長方形板35沿導(dǎo)軌32方向展開平放,若干個真空密封條63實現(xiàn)對第一至第四長方形板36的各個長邊的密封。

然后啟動第二動力源,第二動力源帶動第五長方形板39以及第六長方形板61同時轉(zhuǎn)動,使得第五長方形板39以及第六長方形板61將方形孔的兩個豎向側(cè)壁分別與第一至第四長方形板36的所述間隙62密封覆蓋,電子槍外罩02密封完畢。打開電子槍外罩02頂端的電子槍安放密封倉門,對電子槍01進(jìn)行相應(yīng)的維修及保養(yǎng)。

電子槍01維修及保養(yǎng)完畢后,關(guān)閉電子槍安放密封倉門,并使用真空泵對電子槍外罩02的內(nèi)腔進(jìn)行抽真空處理。抽真空處理完畢后,首先啟動第二動力源,第二動力源帶動第五長方形板39與第六長方形板61同時向上翻轉(zhuǎn)并最終豎立于密封板31頂面;

然后再啟動第一動力源,第一動力源帶動第一長方形板33以及第四長方形板36同時向上翻轉(zhuǎn),第一長方形板33以及第四長方形板36分別帶動第二長方形板34以及第三長方形板35豎直立起,從而實現(xiàn)第一長方形板33與第二長方形板34的豎直折疊,以及第三長方形板35與第四長方形板36的豎直折疊,電子槍外罩02與所述真空室05的復(fù)位連通完畢。

至此,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)認(rèn)識到,雖然本文已詳盡示出和描述了本發(fā)明的多個示例性實施例,但是,在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下,仍可根據(jù)本發(fā)明公開的內(nèi)容直接確定或推導(dǎo)出符合本發(fā)明原理的許多其他變型或修改。因此,本發(fā)明的范圍應(yīng)被理解和認(rèn)定為覆蓋了所有這些其他變型或修改。

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