專利名稱：一種防滑裝置及機器人叉子和機器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及液晶面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于基板搬運的機器人叉子 (Robot Fork)的防滑裝置，帶防滑裝置的機器人叉子，以及使用該機器人叉子的機器人。
背景技術(shù)：
在目前的液晶面板制造領(lǐng)域，尤其是薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-IXD)生產(chǎn)中的彩色濾光片(CF)工藝中，大體分為鍍金屬膜(ITO)、曝光(Exposure)等工序。在CF工藝中有一道工序的過程是在玻璃上涂上光阻(PR)膠，在涂布或稱為涂層(Coating)完成后， 將玻璃基板搬送到真空干燥室內(nèi)進行干燥，干燥后再搬送到烘烤爐進行加熱。在這個過程中，搬運玻璃等基板一般采用帶有真空吸盤的Robot R)rk進行搬送，該Robot R)rk的結(jié)構(gòu)如圖1所示，Robot Forkl上帶有真空吸盤11，真空吸盤11如圖1中的圓形區(qū)域所示，采用圖1所示的該Robot R)rk搬送玻璃基板時，首先，玻璃基板被真空吸盤支撐，其次，在Robot Fork運動時為了防止玻璃基板滑動，可以采用真空發(fā)生器或輔助真空吸盤吸附玻璃基板。 該Robot Fork帶有真空吸盤的設(shè)計，由于真空吸盤的吸附力不均勻，即只有在真空吸盤所在的位置吸附力最強，而其他沒有真空吸附的位置吸附力弱，且無法避免玻璃基板被Robot i^ork搬送過程中X方向和Y方向的滑動，因此，容易產(chǎn)生工藝上吸附的水紋(Mura)缺陷，且 Mura缺陷的面積較大，分布較廣，不能滿足生產(chǎn)工藝的要求。鑒于上述Robot Fork帶有真空吸盤的設(shè)計不能滿足生產(chǎn)工藝的要求，對該Robot Fork改良后的設(shè)計如圖2所示，主要設(shè)計是將Robot Forkl原有真空吸盤處的真空吸盤11 改為阻力較大、非真空的結(jié)構(gòu)，且采用真空吸附裝置12和對位防滑的擋板13作為輔助設(shè)計，如圖2中對應(yīng)的局部放大所示的部分。采用圖2所示的該Robot R)rk搬送玻璃基板時，首先玻璃基板被真空吸附裝置和Robot Fork中央的該非真空的結(jié)構(gòu)所支撐；其次，在 Robot運動時為了防止玻璃基板滑動，可以采用真空發(fā)生器或輔助真空吸盤吸附玻璃基板； 再次，利用擋板修正搬送中的傾斜。該Robot R)rk帶有非真空結(jié)構(gòu)的設(shè)計，雖然用該非真空的結(jié)構(gòu)代替原有的真空吸盤，受力會相對均勻，且擋板僅能避免玻璃基板被Robot Fork搬送過程中X方向的滑動，但是無法避免玻璃基板被Robot R)rk搬送過程中Y方向的滑動， 還是會產(chǎn)生工藝上吸附的Mura缺陷，只是相對的減少了 Mura缺陷的面積和分布的區(qū)域，仍然不能滿足生產(chǎn)工藝的要求。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種搬送防滑裝置及帶防滑裝置的 Robot Fork和機器人，避免玻璃基板被Robot Fork搬送過程中X方向和Y方向的滑動，使玻璃基板受力均勻，從而能滿足生產(chǎn)工藝的要求。為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的本實用新型實施例提供一種防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置安裝于機器人叉子上，所述防滑裝置為使基板被機器人叉子搬送過程中不產(chǎn)生X方向和Y方向位移的防滑裝置。進一步地，所述防滑裝置包括有兩個臺階；其中，基板邊緣放置處的臺階為支撐基板和保持基板邊緣的間隙的臺階；固定所述防滑裝置自身的臺階為將所述防滑裝置自身與所述機器人叉子通過所述孔進行固定的有孔臺階。進一步地，所述防滑裝置，位于所述基板邊緣放置處的臺階的上端為直角結(jié)構(gòu)或斜坡結(jié)構(gòu)。 進一步地，所述防滑裝置在X、Y方向區(qū)域范圍內(nèi)設(shè)置。進一步地，所述防滑裝置數(shù)量由要搬送的基板的數(shù)量和/或大小來決定。本實用新型實施例還提供一種機器人叉子，包括上述的防滑裝置。進一步地，所述的機器人叉子還包括Pin結(jié)構(gòu)，其中，所述Pin結(jié)構(gòu)為非真空的針腳結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例還提供一種機器人，包括上述的機器人叉子。采用本實用新型的一組防滑裝置，該防滑裝置能避免玻璃基板被機器人叉子 (Robot Fork)搬送過程中X方向和Y方向的滑動。帶防滑裝置的Robot R)rk通過安裝這樣一組防滑裝置，并結(jié)合非真空的Pin結(jié)構(gòu)，達到玻璃基板在Robot Fork上不會在X方向和Y方向移動，Pin結(jié)構(gòu)代替原有的真空吸盤使玻璃基板受力均勻，從而解決了搬送過程中產(chǎn)生的工藝缺陷，滿足了生產(chǎn)工藝的要求。相應(yīng)地，使用上述機器人叉子的機器人，解決了搬送過程中產(chǎn)生的工藝缺陷，滿足了生產(chǎn)工藝的要求。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中帶有真空吸盤的Robot Fork的結(jié)構(gòu)圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中改良后的Robot Fork的結(jié)構(gòu)圖；圖3為本實用新型搬送防滑裝置一個實施例的左視圖；圖4為本實用新型搬送防滑裝置另一實施例的左視圖；圖5為圖4的立體圖；圖6為本實用新型帶防滑裝置的Robot Fork的示意圖；圖7為本實用新型帶防滑裝置的Robot Fork將原有真空吸盤改為Pin結(jié)構(gòu)的示意圖。圖中標號說明11 真空吸盤；1 機器人叉子(Robot Fork) ；12 真空吸附裝置；13 擋板；2 搬送防滑裝置；21 臺階；22 臺階；23 孔；3 =Pin結(jié)構(gòu)；4 玻璃基板。
具體實施方式
本實用新型的基本思想是安裝于Robot Fork上的該防滑裝置為使玻璃基板被 Robot Fork搬送過程中不產(chǎn)生X方向和Y方向位移的防滑裝置。
以下結(jié)合附圖對技術(shù)方案的實施作進一步的詳細描述。實施例一搬送防滑裝置2，如圖3所示，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)如圖2中所示的擋板13，Y方向增加了兩個臺階，從而，除了能像擋板13—樣在X方向起固定作用，避免X方向的位移，還能在Y方向起固定作用，避免Y方向的位移。圖3中包括臺階21和臺階22，臺階21是玻璃基板邊緣的放置處，用于支撐玻璃基板、以及保持玻璃基板邊緣的間隙；臺階22為有孔臺階， 以便將搬送防滑裝置2自身與Robot R)rk通過該有孔的臺階進行固定。實施例二 搬送防滑裝置2，如圖4所示，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)如圖2中所示的擋板13，Y方向增加了兩個臺階，從而，除了能像擋板13 —樣在X方向起固定作用，避免X方向的位移，還能在Y方向起固定作用，避免Y方向的位移。圖3中包括臺階21和臺階22，臺階21是玻璃基板邊緣的放置處，用于支撐玻璃基板、以及保持玻璃基板邊緣的間隙；臺階22為有孔臺階， 以便將搬送防滑裝置2自身與Robot R)rk通過該有孔的臺階進行固定。這里，區(qū)別于實施例一，進一步將搬送防滑裝置2的上端，由直角設(shè)計改為斜坡設(shè)計，用于上游玻璃基板在搬送過程中傾斜的補正，以便修正精度。采用斜坡設(shè)計的好處斜坡設(shè)計的好處由于在液晶面板制造領(lǐng)域，隨著玻璃基板的尺寸變大，與之相對應(yīng)的堆起 (Tact)縮短，這就要求玻璃基板被搬送的速度越來越高，從而在速度變高的同時，需要提高搬運所需的精度。采用本實用新型的斜坡設(shè)計，由于能修正上游玻璃基板在搬送過程中的傾斜，因此，能有效的提高搬送精度，精度提高了，也就是說減少了搬送過程中X方向和Y方向的位移，能使工藝上的Mura缺陷最小化，達到涂布區(qū)Robot Fork的搬送需求。圖5為圖4的立體圖，搬送防滑裝置2，如圖5所示，在臺階22上還設(shè)置有孔23。這里需要指出的是上述實施例一和實施例二的搬送防滑裝置可以采用聚醚醚酮樹脂(PEEK)材質(zhì)。并且，防滑裝置可以保證在基板被Robot R)rk搬送過程中不產(chǎn)生X方向和Y方向的位移即可，并不限于上述的具體結(jié)構(gòu)。本實用新型的搬送防滑裝置適用于IXD Coating制造工程中使用到的所有Robot Fork設(shè)備。實施例三本實施例提供一種機器人叉子，使用了上述的防滑裝置。進一步地，本實施例的帶防滑裝置的Robot Fork，如圖6所示，在Robot R)rk中央位置處還設(shè)置有Pin結(jié)構(gòu)3，Pin結(jié)構(gòu)3為非真空且阻力較大的針腳結(jié)構(gòu)；Robot 四周位置處安裝有多組搬送防滑裝置2，如圖6中有一組搬送防滑裝置，一組搬送防滑裝置用于固定一塊玻璃基板4。這里，將原有的真空吸盤改為Pin結(jié)構(gòu)的示意圖如圖7所示。本實用新型采用Pin 結(jié)構(gòu)3的好處是將原有的真空吸盤11改為Pin結(jié)構(gòu)3，由于Pin結(jié)構(gòu)3的接觸面為點，區(qū)別于真空吸盤11的接觸面為線或者圓形區(qū)域，可減少因為真空吸附受力不均勻所產(chǎn)生的 Mura缺陷。這里需要指出的是搬送防滑裝置的位置在X和Y方向位置可以任意設(shè)置，并非絕對固定，只要在X、Y方向區(qū)域范圍內(nèi)設(shè)置即可；搬送防滑裝置的組數(shù)/數(shù)量也可以任意設(shè)置，取決于要搬送的玻璃基板數(shù)量和/或大小，因為需要搬送基板的大小的原因，決定了 Robot R)rk的大小，也就決定了 Robot R)rk上搬送防滑裝置的數(shù)量是不固定的；搬送防滑裝置臺階的長度也是不固定的，只要在玻璃基板的圖形O^ttern)區(qū)域外即可。實施例四 本實施例提供一種機器人，使用了上述的機器人叉子。由于上述機器人叉子中的防滑裝置，防止了搬送過程中X方向和Y方向的滑動，因此，所述機器人解決了搬送過程中產(chǎn)生的工藝缺陷，滿足了生產(chǎn)工藝的要求。 以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置安裝于機器人叉子上，所述防滑裝置為 使基板被機器人叉子搬送過程中不產(chǎn)生X方向和Y方向位移的防滑裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置包括有兩個臺階；其中，基板邊緣放置處的臺階為支撐基板和保持基板邊緣的間隙的臺階； 固定所述防滑裝置自身的臺階為將所述防滑裝置自身與所述機器人叉子通過所述孔進行固定的有孔臺階。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置，位于所述基板邊緣放置處的臺階的上端為直角結(jié)構(gòu)或斜坡結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置在X、Y方向區(qū)域范圍內(nèi)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的防滑裝置，其特征在于，所述防滑裝置數(shù)量由要搬送的基板的數(shù)量和/或大小來決定。
6.一種機器人叉子，其特征在于，包括權(quán)利要求1至5任一項所述的防滑裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機器人叉子，其特征在于，還包括Pin結(jié)構(gòu)，其中，所述Pin結(jié)構(gòu)為非真空的針腳結(jié)構(gòu)。
8.一種機器人，其特征在于，包括權(quán)利要求6或7所述的機器人叉子。
專利摘要本實用新型公開了一種防滑裝置、機器人叉子(Robot Fork)及機器人，主要用于液晶顯示領(lǐng)域。所述防滑裝置安裝于機器人叉子上，所述防滑裝置為使玻璃基板被機器人叉子搬送過程中不產(chǎn)生X方向和Y方向位移的防滑裝置。本實用新型還公開了一種帶防滑裝置的機器人叉子，包括防滑裝置和Pin結(jié)構(gòu)。采用本實用新型，避免基板被Robot Fork搬送過程中X方向和Y方向的滑動，使玻璃基板受力均勻，從而能滿足生產(chǎn)工藝的要求。
文檔編號B25J15/00GK202292780SQ20112041236
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月26日
發(fā)明者李中強 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司