脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在搬送陶瓷基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料基板時(shí)所使用的搬送方法及搬送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]將脆性材料基板、例如陶瓷基板或氧化鋁基板在制造步驟中在規(guī)定的框狀部分積層多層，為了進(jìn)行刻劃等而逐片取出并搬送，為了進(jìn)行刻劃或裂斷而使用在搬送軸的前端具有吸附墊的搬送裝置。在專利文獻(xiàn)1中公開了一種搬送機(jī)構(gòu)，為了搬送脆性材料基而使支撐臂與基板接觸并利用真空進(jìn)行吸附，通過使支撐臂移動(dòng)而搬送基板。
[0003][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0004][專利文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2013-177309號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006][發(fā)明要解決的問題]
[0007]在進(jìn)行刻劃之前積層并保持多片脆性材料基板。在這種情況下如果使用吸附墊進(jìn)行吸附，那么有因密接性而同時(shí)吸附兩片脆性材料基板，并同時(shí)搬送兩片脆性材料基板的情況。如果開始同時(shí)搬送兩片脆性材料基板，那么有在搬送的中途下方的基板脫落或保持原狀被搬送至刻劃裝置為止，而無法進(jìn)行刻劃的問題。
[0008]為了解決所述問題，考慮使用靜電消除器從所積層的基板去除靜電，但有即便使用靜電消除器也無法充分地防止搬送兩片基板的問題。
[0009]本發(fā)明是著眼于這種問題而完成的，其目的在于可以從積層并保持的基板確實(shí)地提起僅一片基板。
[0010][解決問題的技術(shù)手段]
[0011]為了解決該問題，本發(fā)明的脆性材料基板的搬送方法是搬送脆性材料基板的搬送方法，利用吸附墊吸引所述脆性材料基板，通過使所述吸附墊上升而使所吸附的脆性材料基板上升，在使所述吸附墊上升時(shí)從鄰接于脆性材料基板的位置自噴嘴集中地噴出空氣，通過使所述吸附墊移動(dòng)而搬送所述脆性材料基板。
[0012]為了解決該問題，本發(fā)明的脆性材料基板的搬送裝置是搬送脆性材料基板的搬送裝置，具備:線性滑塊，設(shè)置于梁；搬送頭，構(gòu)成為沿著所述線性滑塊移動(dòng)自如；吸附墊，安裝在所述搬送頭的下表面且吸附所述脆性材料基板；抽風(fēng)器，從所述搬送頭的吸附墊抽吸空氣；基板保持部，積層并保持所述脆性材料基板；噴嘴，鄰接于所述基板保持部而安裝，且朝向上升的所述脆性材料基板而設(shè)置；以及壓縮栗，經(jīng)由導(dǎo)管而連結(jié)在所述噴嘴，從所述噴嘴噴出空氣。
[0013][發(fā)明效果]
[0014]根據(jù)具有這種特征的本發(fā)明，從積層著脆性材料基板的基板保持部利用吸附墊吸附并搬送最上部的基板。而且，在將基板吸附并保持該狀態(tài)垂直地提起時(shí)，即便兩片基板密接，也會(huì)因從側(cè)方自噴嘴吹送壓縮空氣，而可使基板的密接脫離，使下方的基板返回至基板保持部。因此，可獲得能夠確實(shí)地搬送僅一片基板的效果。
【附圖說明】
[0015]圖1是表示實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送裝置的整體構(gòu)成的立體圖。
[0016]圖2是表示實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送裝置的整體構(gòu)成的前視圖。
[0017]圖3是表示本實(shí)施方式中所使用的集塵機(jī)的一例的立體圖。
[0018]圖4(a)?(c)是表示利用本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送頭吸附并搬送基板的狀態(tài)的圖。
[0019]圖5(a)?(c)是表示在利用本實(shí)施方式的搬送頭吸附并搬送基板的情況下吸附著兩片基板的狀態(tài)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]對(duì)作為本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送裝置進(jìn)行說明。圖1是表示實(shí)現(xiàn)本實(shí)施方式的搬送裝置的整體構(gòu)成的立體圖，圖2是表示實(shí)現(xiàn)本實(shí)施方式的搬送裝置的整體構(gòu)成的前視圖。如這些圖所示，在搬送裝置10中利用未圖示的支架水平地保持梁11，在該梁11上設(shè)置著線性滑塊12。線性滑塊12使刻劃頭13與搬送頭14 一體地沿著梁11自如地動(dòng)作。在搬送裝置10的基座上設(shè)置著如下部件:基板保持部15，積層并保持脆性材料基板(以下也簡稱為基板)；刻劃臺(tái)16，供刻劃基板；及排出平臺(tái)17，供排出已刻劃的基板。搬送頭14是從基板保持部15將基板吸引并搬送至圖中右側(cè)的刻劃平臺(tái)16及排出平臺(tái)17。
[0021]這里，將脆性材料基板20設(shè)為例如厚度為0.6mm的陶瓷基板或氧化鋁基板。在基座的基板保持部15，如圖示般在四方豎立著保持板21，在保持板21之間堆積著多片大致正方形狀的脆性材料基板20。該基板20被從基板保持部15逐片取出，搬送至鄰接的刻劃臺(tái)16。
[0022]接著，對(duì)搬送頭14進(jìn)行詳細(xì)說明。在搬送頭14，設(shè)置著利用滑塊31而進(jìn)行升降的平板32，與該平板32垂直地安裝著搬送軸33。在搬送軸33的下端安裝著吸附墊34。搬送軸33為中空的部件，且安裝著圖3所示的導(dǎo)管35，在導(dǎo)管35的前端連結(jié)著集塵機(jī)的抽風(fēng)器36。此外，這里雖使用集塵機(jī)，但也可以單獨(dú)使用抽風(fēng)器36。通過驅(qū)動(dòng)集塵機(jī)的抽風(fēng)器36，可以經(jīng)由所連結(jié)的導(dǎo)管35從吸附墊34吸引空氣，而將基板吸附。
[0023]且說，在本實(shí)施方式中，在保持板21的側(cè)方的鄰接的位置設(shè)置著豎立的噴嘴基座22，在該前端，噴嘴23朝向基板的側(cè)面水平地突出。在噴嘴23，經(jīng)由導(dǎo)管24而連接著壓縮栗25。也可以與集塵機(jī)的抽風(fēng)器36共有該壓縮栗25。噴嘴23是在通過利用吸附墊34將基板20提起時(shí)，從側(cè)方對(duì)基板20吹送經(jīng)壓縮的空氣流，而使兩片重疊的情況下的基板分離。這里，將噴嘴23的垂直方向的位置設(shè)為在保持著最大裝載數(shù)的基板時(shí)使所吸附的基板略微上升的位置。另外，前端的開口部的口徑例如設(shè)為0.6πιπιΦ。另外，噴嘴23的前端與所積層的基板充分接近，例如將該距離d設(shè)為6mm以下。這里，將從壓縮空氣的噴嘴23噴出的流量設(shè)為例如每分鐘十升，對(duì)上升中的基板吹送較強(qiáng)的集中的壓縮空氣。
[0024]接著，使用圖4、圖5對(duì)本實(shí)施方式的搬送裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明。在圖4、圖5中省略表示基板保持部15的保持板21。在從積層著基板20的基板保持部15搬送至刻劃臺(tái)16的情況下，首先，利用線性滑塊12使搬送頭14移動(dòng)至圖1的左側(cè)，使搬送頭14在基板20的正上方停止。接著，如圖4(a)、圖5(a)所示，以吸附墊34與基板20的大致中央接觸的方式使平板32下降。此時(shí)，通過驅(qū)動(dòng)集塵機(jī)的抽風(fēng)器36而使空氣從吸附墊34流入，由此吸附基板20。然后，通過提拉搬送頭14，可如圖4(b)所示般直接提拉一片已積層的基板20。然后，使線性滑塊12如圖4(c)所示般朝右方向移動(dòng)，當(dāng)?shù)竭_(dá)刻劃臺(tái)16的正上方時(shí)，使平板32下降而將所保持的基板20載置在刻劃臺(tái)16上。然后，通過使抽風(fēng)器36停止，可將基板20保持在刻劃臺(tái)16上。之后，利用刻劃頭13對(duì)基板20進(jìn)行刻劃，當(dāng)刻劃完成時(shí)，以相同的方式將基板20從刻劃臺(tái)16搬送至基板排出平臺(tái)17。
[0025]且說，在從基板保持部15吸附已積層的基板中的最上部的基板時(shí)，例如設(shè)為基板如圖5(b)所示般以最上部的基板與其下方的基板不分離而重疊有兩片的狀態(tài)被吸附。在該情況下從噴嘴23的前端噴出壓縮空氣，因此在通過噴嘴23的位置時(shí)利用集中地吹送的空氣而使得緊貼的基板分離。因此，可如圖5(c)所示使下方的基板下落，再次返回至基板保持部15。之后，可僅吸附上方的基板20并搬送至刻劃臺(tái)16。
[0026]此外，在本實(shí)施方式中，僅在基板保持部15的一端設(shè)置噴嘴基座22，但也可以在基板保持部15的周圍的多個(gè)部位設(shè)置噴嘴基座22，從各個(gè)噴嘴同時(shí)吹送壓縮空氣。另外，在本實(shí)施方式中，將噴嘴自身的垂直方向的位置設(shè)為在保持著最大裝載數(shù)的基板時(shí)使所吸附的基板略微上升的位置，但也可以根據(jù)所裝載的基板的片數(shù)而使上下方向位置的位置變化。
[0027]另外，在本實(shí)施方式中，利用噴嘴23連續(xù)地噴出壓縮空氣，但也可以如圖5(b)所示，僅在上升的基板到達(dá)噴嘴的前端位置的前后的固定期間吹送壓縮空氣。
[0028][工業(yè)上的可利用性]
[0029]本發(fā)明可將脆性材料基板不重疊地僅吸附一片并搬送至所需的位置，且可有效地應(yīng)用于基板制造時(shí)的搬送裝置。
[0030][符號(hào)的說明]
[0031]10搬送裝置
[0032]11 梁
[0033]12線性滑塊
[0034]13刻劃頭
[0035]14搬送頭
[0036]15基板保持部
[0037]16刻劃臺(tái)
[0038]17排出平臺(tái)
[0039]20 基板
[0040]21保持板
[0041]22噴嘴基座
[0042]23 噴嘴
[0043]24 導(dǎo)管
[0044]25壓縮栗
[0045]31滑塊
[0046]32平板
[0047]33搬送軸
[0048]34吸附墊
[0049]35導(dǎo)管
[0050]36抽風(fēng)器。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，利用吸附墊吸引所述脆性材料基板，通過使所述吸附墊上升而使所吸附的脆性材料基板上升，在使所述吸附墊上升時(shí)從鄰接于脆性材料基板的位置自噴嘴集中地噴出空氣，通過使所述吸附墊移動(dòng)而搬送所述脆性材料基板。2.一種脆性材料基板的搬送裝置，其是搬送脆性材料基板的搬送裝置，具備:線性滑塊，設(shè)置于梁；搬送頭，構(gòu)成為沿著所述線性滑塊移動(dòng)自如；吸附墊，安裝在所述搬送頭的下表面且吸附所述脆性材料基板；抽風(fēng)器，從所述搬送頭的吸附墊抽吸空氣；基板保持部，積層并保持所述脆性材料基板；噴嘴，鄰接于所述基板保持部而安裝，且朝向上升的所述脆性材料基板而設(shè)置；以及壓縮栗，經(jīng)由導(dǎo)管而連結(jié)在所述噴嘴，從所述噴嘴噴出空氣。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置，其課題在于在積層并保持基板的情況下，可以從基板保持部吸附并搬送僅一片基板。本發(fā)明的解決方法如下所述。在保持著基板(20)的基板保持部(15)的側(cè)方，對(duì)應(yīng)并鄰接于基板的上升位置而配置噴嘴(23)。通過在搬送基板時(shí)從噴嘴(23)吹送經(jīng)壓縮的空氣流，即便在重疊地搬送基板的情況下，也可以使下方的基板下落，而吸附并搬送僅上部的一片基板。
【IPC分類】B65H3/08, B65H3/48
【公開號(hào)】CN105270889
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510178389
【發(fā)明人】村上健二, 武田真和, 田村健太, 音田健司, 木下知子, 秀島護(hù)
【申請(qǐng)人】三星鉆石工業(yè)股份有限公司
【公開日】2016年1月27日
【申請(qǐng)日】2015年4月15日