脆性材料基板的搬送頭的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是關(guān)于一種對在裂斷基板時(shí)所產(chǎn)生的端材進(jìn)行搬送且使其容易取出的搬送頭，該基板具有在縱向及橫向陣列地形成的功能區(qū)域。搬送頭具有基座板（21)與頂板（22)，而在其連接之間設(shè)置空隙（24)。在空隙（24)內(nèi)，將呈環(huán)狀地具有推動銷（32)的推板（31)收納成上下移動自如。而且在吸引端材時(shí)，在已收納推動銷（32)的狀態(tài)下，從開口吸引空氣而吸附端材，往既定的地點(diǎn)搬送。此外，在取出端材時(shí)，使空氣從開口噴出，同時(shí)使推動銷（32)從開口突出。借此，能夠?qū)⒍瞬娜咳〕觥?br> 【專利說明】脆性材料基板的搬送頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種用于對基板進(jìn)行吸附并搬送時(shí)的搬送頭，該基板是半導(dǎo)體晶圓等的脆性材料基板，具有在縱向及橫向陣列地形成的多數(shù)個(gè)功能區(qū)域(亦稱元件區(qū)域)，且就每個(gè)功能區(qū)域裂斷而成的基板。

【背景技術(shù)】
[0002]在專利文獻(xiàn)I中，提及有借由對形成有刻劃線的基板，從形成有刻劃線的面的背面，沿刻劃線往面垂直地按壓而進(jìn)行裂斷的基板裂斷裝置。以下，揭示利用如此般的裂斷裝置進(jìn)行裂斷的概要。在成為裂斷對象的半導(dǎo)體晶圓上，陣列地形成有多個(gè)功能區(qū)域。在進(jìn)行分?jǐn)嗟那樾?，首先，在基板上，在功能區(qū)域之間隔著等間隔在縱向及橫向形成刻劃線。然后，沿該刻劃線利用裂斷裝置進(jìn)行分?jǐn)?。圖1A表示分?jǐn)嗲拜d置于裂斷裝置的基板的剖面圖。如該圖所示，在基板101上、在功能區(qū)域1laUOlb之間形成有刻劃線S1、S2、S3……。在進(jìn)行分?jǐn)嗟那樾?，在基?01的背面貼附粘著帶102，且在其表面貼附保護(hù)薄膜103。然后，在裂斷時(shí)，如圖1B所示般，應(yīng)在承受刀刃105、106的正中間裂斷的刻劃線，在該情形配置刻劃線S2，從其上部使刀片104吻合刻劃線并下降，對基板101進(jìn)行按壓。以如此方式進(jìn)行了利用一對承受刀刃105、106與刀片104的三點(diǎn)彎曲的裂斷。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開第2004-39931號公報(bào)
[0004]在使用具有如此般構(gòu)成的裂斷裝置，對呈格子狀地形成有刻劃線的基板進(jìn)行裂斷后，在就每個(gè)功能區(qū)域分?jǐn)喑傻木車鷼埩舳瞬摹Ｔ趯⒁逊謹(jǐn)嗟墓δ芫黄疬M(jìn)行搬送前、或搬送之后，有必要將周圍的端材分離并進(jìn)行搬送。因此，雖考慮利用搬送頭僅吸引端材并進(jìn)行搬送，但由于在基板的功能區(qū)域表面注入有硅材，因此存在有即使吸引端材并往既定的地點(diǎn)搬送，在僅將端材廢棄的情形，亦難以從搬送頭取出端材的問題。
[0005]由此可見，上述現(xiàn)有的搬送頭在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種在搬送端材之后，使端材容易從搬送頭脫離的搬送頭。
[0007]本發(fā)明的目的是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。一種搬送頭，搬送脆性材料基板的端材區(qū)域，該脆性材料基板，在一面具有在縱向及橫向以既定間距形成的功能區(qū)域，以功能區(qū)域位于中心的方式沿呈格子狀地形成的刻劃線裂斷，具有格子狀的功能區(qū)域與在其外側(cè)成為端材的區(qū)域；包括:頂板；基座板，在與該頂板之間形成氣密的空洞，在不與該頂板相接的表面外周具有與該空洞連通的開口 ；推板，在由該頂板與基座板形成的空洞內(nèi)被保持成上下移動自如，在周圍以相當(dāng)于該脆性材料基板功能區(qū)域間距的間距間隔呈環(huán)狀地設(shè)置有銷；以及柱塞，與該推板連結(jié)，以該推板的銷在從該基座板的開口突出的狀態(tài)與收納的狀態(tài)之間成為上下移動自如的方式進(jìn)行驅(qū)動；該基座板的開口，以相當(dāng)于該脆性材料基板功能區(qū)域間距的間距呈環(huán)狀地排列。
[0008]本發(fā)明的目的還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0009]較佳的，前述的搬送頭，其進(jìn)一步具有檢測與該基座板連結(jié)的柱塞上下方向位置的位置感測器。
[0010]較佳的，前述的搬送頭，其中，該搬送頭具備彈性片，該彈性片貼附于該基座板的不與該頂板相接的表面，且具有排列在與該基座板開口相對方向位置的開口。
[0011]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明脆性材料基板的搬送頭至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:根據(jù)具有上述特征的本發(fā)明，能夠借由與已沿刻劃線裂斷的基板抵接，而利用搬送頭僅吸附端材。而且，在將已吸附的端材搬送至必要的位置之后，借由使推動銷從基座板突出而使已吸附的端材脫落。因此,能夠確實(shí)地從搬送頭取出端材并進(jìn)行廢棄。
[0012]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1A、圖1B是表示現(xiàn)有習(xí)知的基板裂斷時(shí)的狀態(tài)的剖面圖。
[0014]圖2A、圖2B分別是表示以呈格子狀地刻劃、裂斷的基板的一例的主視圖及部分剖面圖。
[0015]圖3是表示本發(fā)明實(shí)施例的搬送頭的立體圖。
[0016]圖4A、圖4B分別是本實(shí)施例的搬送頭的主視圖及仰視圖。
[0017]圖5A、圖5B分別是本實(shí)施例的搬送頭的A-A線剖面圖及B-B線剖面圖。
[0018]圖6A、圖6B分別是表示本實(shí)施例的推板的主視圖及側(cè)視圖。
[0019]圖7A、圖7B分別是表示本實(shí)施例的搬送頭的推板被往上抬的狀態(tài)及被往下降的狀態(tài)的部分剖面圖。
[0020]【主要元件符號說明】
[0021]10:基板11:功能區(qū)域
[0022]12:線狀突起20:搬送頭
[0023]21:基座板22:頂板
[0024]23:橡膠片24:空隙
[0025]25:開口26:管接頭
[0026]31:推板32:推動銷
[0027]33、35:柱塞34a、34b:連接板
[0028]41a-41d:臂42:托架
[0029]43:氣缸44a、44b:光學(xué)感測器
[0030]51:彈性片52:開口

【具體實(shí)施方式】
[0031]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的一種脆性材料基板的搬送頭的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0032]在本發(fā)明的實(shí)施例中，成為裂斷對象的基板10，如圖2A、圖2B中所示的主視圖及其部分剖面圖，是在制造步驟中沿X軸與I軸以一定間距形成有多個(gè)功能區(qū)域11的基板。該功能區(qū)域11，例如為具有作為LED功能的區(qū)域，且在各功能區(qū)域，在各個(gè)表面形成有LED的圓形的晶體(lens)。而且，為了就各功能區(qū)域進(jìn)行分?jǐn)喽纬蒐ED晶片，借由刻劃裝置以各功能區(qū)域位于中心的方式，形成縱向的刻劃線Syl-Syn與橫向的刻劃線Sxl-Sxm相互正交。上述刻劃線Sxl-Sxm、亥Ij劃線Syl-Syn的間距,與功能區(qū)域的x軸與y軸方向的間距相同。而且，在該基板10的刻劃線Sxl、Sxm> Syl> Syn的內(nèi)側(cè),在搬送基板時(shí)雖填充娃樹脂，但為了使該硅樹脂留在形成有LED功能區(qū)域的范圍，而在功能區(qū)域外側(cè)的周圍形成有比基板10的表面稍微高的線狀突起12。
[0033]對經(jīng)如此方式刻劃的基板10以未圖示的裂斷裝置的刀片(blade)從刻劃線的正上方往下壓而進(jìn)行裂斷。然后，借由沿刻劃線Sxl-Sxm反復(fù)進(jìn)行裂斷而可成為細(xì)長的分?jǐn)嗥M(jìn)一步地，借由沿刻劃線Syl-Syn反復(fù)進(jìn)行裂斷而可生成個(gè)別的LED晶片。經(jīng)裂斷的基板10，雖沿刻劃線分?jǐn)嗟⒉环蛛x。亦即，已分?jǐn)嗟幕?0，由成為外周的端材的不要部分、與外周以外的格子狀的多個(gè)LED晶片的部分構(gòu)成。
[0034]接著，針對該發(fā)明的實(shí)施例用以僅吸引周圍端材的搬送頭進(jìn)行說明。圖3表示搬送頭的立體圖，圖4A是其主視圖，圖4B是仰視圖。圖5A是圖4A的A-A線剖面圖，圖5B是B-B線剖面圖，圖6A、圖6B是表示推板的主視圖及側(cè)視圖。如上述的圖所示，該搬送頭20具有長方形狀的基座板21、及與此大致相同形狀的頂板22。在基座板21與頂板22相對方向的面的中央部分形成洼部，基座板21與頂板22之間為了保持氣密而通過環(huán)狀的橡膠片23接著。而且，借由上述的洼部與橡膠片23而形成有氣密的空隙24。在基座板21如圖4B的搬送頭仰視圖所示般在對角線上的角的位置設(shè)置有引導(dǎo)用的開口 21a、21b。該開口 21a、21b借由插入往基板外側(cè)的上方突出的銷，而能夠相對于基板正確地定位該搬送頭20。
[0035]在基座板21的下面，在各邊的附近呈環(huán)狀地設(shè)置多個(gè)開口 25。該所有開口 25相連通并與在基座板21與頂板22之間的洼部形成的空隙24連結(jié)。在頂板22的上面設(shè)置管接頭26，且與空隙24相通。該管接頭26通過未圖示的管而與真空吸附裝置連結(jié)，借由驅(qū)動真空吸附裝置而能夠從開口 25使來自外部的空氣噴出、或吸引空氣。開口 25的間距，與基板10的刻劃線Sxl-Sxm、Syl-Syn的間距相同。
[0036]此外，在該空隙24的內(nèi)部，設(shè)置上下移動自如的推板31。推板31是與基板10為大致相同的形狀，如圖6A、圖6B所示主視圖及側(cè)視圖，對長方形狀的平板施以減重加工，在其邊緣附近以一定間隔并相對于推板31的面垂直地設(shè)置有多個(gè)推動銷32。推動銷32的長度如圖示般為全部相同。此外，推動銷32的間距，與基板10的刻劃線Sxl-Sxm、Syl-Syn的間距相同。
[0037]進(jìn)一步地,在推板31的中央部分連接柱塞33,進(jìn)一步地,通過連接板34a、34b而在垂直方向連接柱塞35。推板31借由驅(qū)動柱塞35，而在基座板21與頂板22之間的空隙24內(nèi)上下移動。
[0038]此外，在頂板22的上面如圖3所示立體圖，在周圍設(shè)置4個(gè)臂41a_41d，且在其間在基座板21的背面垂直地設(shè)置平板狀的托架(bracket)42。而且，在該托架42安裝有氣缸43。進(jìn)一步地，在該氣缸43設(shè)置有用以偵測已與推板31連結(jié)的柱塞35的上下移動的位置感測器44a、44b。
[0039]此外，如圖4B的搬送頭的仰視圖所示般，在基座板21下面的周圍貼附由環(huán)狀橡膠構(gòu)成的彈性片51，進(jìn)一步地在彈性片51內(nèi)部，在四周與上述推板31的銷32對應(yīng)的位置呈環(huán)狀地設(shè)置有多個(gè)開口 52。而且構(gòu)成為:在將柱塞35往下拉時(shí)，推動銷32的前端成為通過開口 25從彈性片51的開口 52突出的狀態(tài)，一旦將柱塞35往上抬，則推動銷32成為不從開口 52突出而收納于內(nèi)部的狀態(tài)。
[0040]此外，在使用該搬送頭20對既已裂斷的基板進(jìn)行搬送的情形，首先，吸引柱塞35并上抬推板31。位置感測器44a，對推板往上方向的移動進(jìn)行偵測。此時(shí)，如圖7A所示，成為不使推動銷32從彈性片51的開口 52突出的狀態(tài)。而且從各開口 52吸引空氣而使搬送頭20吻合已裂斷的基板并加以固定。然后，借由維持該狀態(tài)下將搬送頭上抬而能夠僅上抬已裂斷的基板周圍的端材。
[0041]而且，在使搬送頭20往未圖示的吹射機(jī)(shooter)移動之后，借由真空吸附裝置使空氣從開口 52噴出。借此雖至少取出I個(gè)端材，但由于空氣從此處漏出，因此其他多數(shù)的端材成為維持附著的狀態(tài)。因此，如圖7B所示般下壓推板31。此時(shí)，位置感測器44b對推板往下方向的移動進(jìn)行偵測。據(jù)此能夠使銷32從開口 52突出，且借此能夠?qū)⒏街谥車亩瞬娜咳〕觥?br> [0042]之后若進(jìn)行搬送基板殘留的功能區(qū)域，則能夠在不受圖2A、圖2B所示線狀突起的影響下搬送中央格子狀的基板區(qū)域。
[0043]此外，亦可僅特地搬送中央的基板區(qū)域，之后借由本實(shí)施例的搬送頭僅搬送周圍的端材區(qū)域。
[0044]本發(fā)明是對在裂斷脆性材料基板之后所形成的周圍端材進(jìn)行吸附，在吸附之后從頭部取出時(shí)，借由使推動銷從開口部突出而取出端材。因此，可有效果地應(yīng)用于搬送功能區(qū)域周圍端材的裝置。
[0045]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種搬送頭，搬送脆性材料基板的端材區(qū)域，該脆性材料基板，在一面具有在縱向及橫向以既定間距形成的功能區(qū)域，以功能區(qū)域位于中心的方式沿呈格子狀地形成的刻劃線裂斷，具有格子狀的功能區(qū)域與在其外側(cè)成為端材的區(qū)域；其特征在于包括: 頂板； 基座板，在與該頂板之間形成氣密的空洞，在不與該頂板相接的表面外周具有與該空洞連通的開口； 推板，在由該頂板與基座板形成的空洞內(nèi)被保持成上下移動自如，在周圍以相當(dāng)于該脆性材料基板功能區(qū)域間距的間距間隔呈環(huán)狀地設(shè)置有銷；以及 柱塞，與該推板連結(jié)，以該推板的銷在從該基座板的開口突出的狀態(tài)與收納的狀態(tài)之間成為上下移動自如的方式進(jìn)行驅(qū)動； 該基座板的開口，以相當(dāng)于該脆性材料基板功能區(qū)域間距的間距呈環(huán)狀地排列。
2.如權(quán)利要求1所述的搬送頭，其特征在于進(jìn)一步具有檢測與該基座板連結(jié)的柱塞上下方向位置的位置感測器。
3.如權(quán)利要求1所述的搬送頭，其特征在于:該搬送頭具備彈性片，該彈性片貼附于該基座板的不與該頂板相接的表面，且具有排列在與該基座板開口相對方向位置的開口。
【文檔編號】B65G49/07GK104210847SQ201410144031
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年4月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】太田欣也 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司