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燒結(jié)金剛石的加工方法、基板用刀輪及其加工方法

文檔序號(hào):7220805閱讀:296來源:國知局

專利名稱::燒結(jié)金剛石的加工方法、基板用刀輪及其加工方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法,特別涉及在截?cái)嗖A?、陶瓷、單晶硅或藍(lán)寶石等脆性材料基板時(shí)用于在這些基板上形成劃線的刀輪的制造方法、及根據(jù)該制造方法得到的刀輪。
背景技術(shù)
:一般,在截?cái)嗖AЩ宓却嘈圆牧匣鍟r(shí),廣泛利用如下的方法-通過使刀輪以壓接狀態(tài)在基板表面上轉(zhuǎn)動(dòng),從而在基板上刻上劃線,沿該劃線在板厚方向上產(chǎn)生裂紋,從而截?cái)嗷?。在該基板分割中使用的刀輪由超硬合金或燒結(jié)金剛石來做成,特別從考慮刀刃的壽命的觀點(diǎn)來講廣泛使用將燒結(jié)金剛石作為材料的刀輪。這樣的刀輪(以下,在該發(fā)明中稱為"刀輪")在其外周面上具有沿圓周方向延伸的棱線即刀刃,且還具有軸體所貫通的軸孔,該軸體用于將刀輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地軸支在基板上。另外,為了提高刀刃對(duì)基板表面的接觸點(diǎn)中的每單位面積的負(fù)荷,有時(shí)將刀輪的外徑設(shè)定為23mm。另一方面,本申請(qǐng)人已申請(qǐng)了在所述刀刃上沿周向隔開規(guī)定間隔形成連續(xù)的突起和槽的刀輪(參照專利文獻(xiàn)l)。由此,在使用形成于刀刃上的突起來在基板表面上形成劃線時(shí),可在基板的板厚方向上形成深的垂直裂紋,同時(shí)還可以有效地防止刀輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的滑動(dòng)。通過使用金剛石刀輪的機(jī)械加工來形成上述刀輪的突起和槽。另外,所謂該"金剛石刀輪"是指,在JIS—B4131中規(guī)定廣義的砂輪,為避免與在該發(fā)明中使用的"刀輪"的語句混淆,以下稱為"砂輪"。專利文獻(xiàn)1:日本特許第3074143號(hào)公報(bào)但是,如果想要如上述那樣在外徑為23mm的刀輪上以微細(xì)的間距(pitch)形成突起和槽,則在所使用的砂輪的前端部分需要微細(xì)的形狀,形成砂輪前端形狀(包含磨損時(shí)的整形)需要較長時(shí)間,并且還受到砂輪本身的壽命的影響。另一方面,作為工件的微細(xì)加工的方法,使用激光加工。使用激光來加工金剛切塊(diamonddice)的粗形狀的技術(shù)于1960年代的后半段被導(dǎo)入,經(jīng)過紅寶石激光器、YAG激光器、二氧化碳激光器這樣的變遷而得到了實(shí)用化。并且,使用激光來加工的用途從當(dāng)初的粗加工擴(kuò)展到微細(xì)加工。但是,在使用激光來加工燒結(jié)金剛石時(shí),存在燒結(jié)金剛石的加工部位由于受到激光照射的加工熱而產(chǎn)生石墨化的問題。雖然這樣的石墨化在粗加工時(shí)可以忽略不計(jì),但在微細(xì)加工時(shí)有時(shí)會(huì)產(chǎn)生產(chǎn)品功能降低等問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供可抑制在使用激光來對(duì)燒結(jié)金剛石進(jìn)行微細(xì)加工時(shí)的加工部位的石墨化、且可高效地進(jìn)行精確的微細(xì)加工的方法。進(jìn)而,作為另一目的,可舉出提供解決如下問題點(diǎn)的方法。圖21是說明通過激光光束的照射來加工出圓弧狀槽的以往的加工方法的圖。如圖21所示,從刀輪側(cè)面,沿由圖中的單點(diǎn)劃線表示的規(guī)定軌跡,在圖中的箭頭方向上,使激光光束一邊圓弧狀地相對(duì)移動(dòng)一邊對(duì)刀輪的棱線進(jìn)行照射來加工槽部時(shí),在加工終點(diǎn)側(cè)的突起邊緣(edge)部分a上將產(chǎn)生被稱為"非對(duì)稱"的現(xiàn)象。所謂該"非對(duì)稱"是指,在刀輪2的槽加工部位2b中,在由圖中的箭頭表示的激光光束的進(jìn)入側(cè)和退出側(cè),槽的形狀以中心線C為中心而成為非對(duì)稱的現(xiàn)象。另外,圖中突起邊緣部分a的實(shí)線以及圖中的單點(diǎn)劃線為激光光束的移動(dòng)軌跡,虛線為實(shí)際的加工形狀。產(chǎn)生該現(xiàn)象的原因?yàn)?,沿激光光束的移?dòng)軌跡,槽加工部位的厚度變化。在產(chǎn)生這樣的"非對(duì)稱"時(shí),刀輪的質(zhì)量下降,使用微細(xì)的突起和槽來形成劃線的功能有可能受到損失。另外,所謂的所述"刀輪側(cè)面"是指,包含刀輪的軸孔的開口部的刀輪的平坦的表面以及背面。本發(fā)明的另一個(gè)重要的目的在于提供使用激光光束來以微細(xì)的間距加工出突起和槽,而不會(huì)產(chǎn)生上述那樣的"非對(duì)稱"現(xiàn)象那樣的不合理的情況的加工方法。并且,如圖22所示,在對(duì)刀輪以與該軸線X平行的方式從刀輪側(cè)面照射激光光束來加工出突起和槽部時(shí),在形成棱線2a的激光光束照射側(cè)斜面的上側(cè)斜面上,產(chǎn)生被成為"凹痕"的凹陷的缺陷部(d)。所謂該"凹痕"是指,在激光光束的射入側(cè)工件加工部位和非加工部位之間的邊界面相互糾纏,兩者的邊界變得不清楚。因此,本發(fā)明的另一目的在于提供當(dāng)使用激光光束來以微細(xì)的間距加工出突起和槽時(shí)不產(chǎn)生"凹痕"現(xiàn)象那樣的不合理的情況的加工方法。并且,本發(fā)明的另一目的在于提供在刀輪的外周面形成將頂點(diǎn)作為刀刃的V字形的棱線部且在該棱線部的全周上使用激光光束交替形成多個(gè)微細(xì)且精密的突起和槽的脆性材料基板用刀輪。為了達(dá)成上述目的,在本發(fā)明中使用了如下那樣的技術(shù)方法。艮口,本發(fā)明的使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法的特征在于,在該方法中,對(duì)于將燒結(jié)金剛石作為材料的工件,使所述激光光束一邊相對(duì)于所述工件相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述工件的加工部位上,在加工部位的最大厚度為200Um以下的范圍內(nèi),將所述工件加工成微細(xì)形狀。激光光束的波長范圍為1251066nm,1個(gè)脈沖的脈沖寬度的范圍為5f(飛母托,femto)秒50n(納)秒,脈沖重復(fù)頻率的范圍為300Hz5KHz。本發(fā)明的脆性材料基板用刀輪的制造方法的特征在于,在該方法中,包括在將燒結(jié)金剛石作為材料的盤狀刀輪的外周面上,沿圓周方向形成將頂點(diǎn)作為刀刃的V字形的棱線部,在包含該棱線部分的刀輪外周部,從刀輪側(cè)面?zhèn)龋辜す夤馐贿呄鄬?duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,在所述棱線部分上在周向上隔開期望的間隔來連續(xù)形成朝向刀輪半徑方向開口的微細(xì)的槽部的工序,使所述激光光束一邊相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位上,在加工部位的最大厚度為200um以下的范圍內(nèi),將所述刀輪加工成微細(xì)形狀。激光光束的波長范圍為1251066nm,1個(gè)脈沖的脈沖寬度的范圍為5f秒50n秒,脈沖重復(fù)頻率的范圍為300Hz5KHz。關(guān)于在該發(fā)明中使用的激光光束,只要是具有短波長和/或短脈沖的激光光束,則不特別限定激光的種類,但特別優(yōu)選在使用將YAG激光的基本波(波長1064nm)作為基礎(chǔ)的YAG第5諧波(波長212nm)、YAG第4諧波(波長266nm)、YAG第3諧波(波長355nm)以及YAG第2諧波(波長533nm)時(shí),可進(jìn)行良好的加工。該發(fā)明中的激光光束的移動(dòng)是相對(duì)于工件即刀輪的相對(duì)移動(dòng),從而可以固定刀輪而使激光光束移動(dòng),也可以固定激光光束而使刀輪移動(dòng),或還可以形成為可使兩者都移動(dòng),根據(jù)加工部位要求的加工精度來選擇性地使兩者移動(dòng)。所述工件和激光光束之間的相對(duì)移動(dòng)速度實(shí)用上優(yōu)選為0.1ym/秒3.0mm/秒。所述激光光束和工件沿相同模式(pattern)的圖形而相對(duì)于所述刀輪來進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),使根據(jù)該激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形在刀輪的半徑方向上偏移,從而調(diào)節(jié)所加工的槽部的深度,改變根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形的尺寸,從而調(diào)節(jié)槽部的圓周方向的長度。由此,即使每個(gè)刀輪的尺寸產(chǎn)生較大幅度的變更,控制部中的XY臺(tái)移動(dòng)的控制程序也可以每次進(jìn)行簡單的設(shè)定。作為根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形,沒有特別限定,可舉出由圓、橢圓或多邊形那樣的閉合曲線構(gòu)成的圖形,或者由不形成閉合曲線的拋物線或雙曲線那樣的曲線、直線構(gòu)成的圖形。使激光光束從應(yīng)加工槽部的一端緣相當(dāng)部分在一方向上相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)來進(jìn)行第一次照射,從而加工出槽部的一部分,接下來使第二次的激光光束從未完成槽部的另一端緣相當(dāng)部分在與所述方向相反的方向上移動(dòng)來完成一個(gè)槽部的方法對(duì)本發(fā)明而言也是有效的。由此,可避免所述那樣的在槽部中的加工終點(diǎn)側(cè)邊緣產(chǎn)生"非對(duì)稱",可形成輪廓清晰的精密的突起。作為防止所述"非對(duì)稱"現(xiàn)象的方法,在上述激光光束的第一次照射以及第二次照射中,可通過將各激光光束的對(duì)所述刀輪的相對(duì)移動(dòng)的軌跡設(shè)為圓或多邊形等閉合曲線在刀輪周向上偏移而進(jìn)行照射來達(dá)成。并且,作為其他方法,也可以將應(yīng)形成槽部的加工輪廓線以分割預(yù)定線為邊界分割為兩個(gè),分別使用第一次和第二次的激光光束來加工所分割的部分。在包含棱線部分的刀輪外周部上從刀輪側(cè)面?zhèn)仁辜す夤馐贿呄鄬?duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射時(shí),從刀輪的左右兩面?zhèn)冉惶婊蛲瑫r(shí)進(jìn)行照射來加工出槽部,從而確保突起和槽部的左右對(duì)稱性。并且此時(shí),以使從刀輪的左右兩面?zhèn)日丈涞募す夤馐恼丈浞较蛳鄬?duì)于刀輪軸線接近的方式,來具有規(guī)定的傾角來形成是有效的。由此,在激光光束照射時(shí),可準(zhǔn)確地避免產(chǎn)生所述那樣的"凹痕"。在該發(fā)明中使用的激光光束根據(jù)激光磨蝕(abrasion)加工來形成槽部。短脈沖和/或短波長的激光光束具有高功率密度,可在對(duì)刀輪的激光光束照射部位提供充分的熱之前使所述照射部位中的物質(zhì)飛散而將其去除。另外,將通過這樣組合激光的波長、脈沖寬度、以及功率密度來幾乎不產(chǎn)生熔化過程而瞬時(shí)蒸發(fā)掉加工對(duì)象物的加工部位的過程稱為磨蝕。因此,在加工時(shí),可避免刀輪的非加工部位受到熱影響。并且,本發(fā)明的特征在于提供根據(jù)上述制造方法而得到的、與以往的使用砂輪的加工方法相比在刀刃上具備以更微細(xì)的間距形成且更精密的突起和槽部的脆性材料基板用刀輪。并且,本發(fā)明的特征在于測定出與激光光束的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的均勻性,根據(jù)所述測定結(jié)果使用所述激光光束的所述外緣部的特定位置來對(duì)工件進(jìn)行加工。由此,抑制由于與激光光束的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的不均勻性導(dǎo)致的加工偏差,可對(duì)所述刀輪形成精確的加工形狀。另外,所述"激光光束的所述外緣部的特定位置"優(yōu)選為在激光光束的能量分布中沒有產(chǎn)生偏差而曲率固定的位置。在本發(fā)明的脆性材料基板用刀輪的制造方法中,可抑制在使用激光來對(duì)燒結(jié)金剛石進(jìn)行微細(xì)加工時(shí)的加工部位的石墨化,并且可高效地進(jìn)行精確的微細(xì)加工。并且,可在成為刀輪的刀刃的棱線上,加工出在以往的使用砂輪的加工中無法得到的微細(xì)且準(zhǔn)確的突起和槽。進(jìn)而,存在如下的效果可僅通過使根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡描繪出的圖形在刀輪的半徑方向上偏移來簡單地調(diào)節(jié)所加工的槽部的深度,可僅通過改變根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡描繪出的圖形的尺寸來容易地調(diào)節(jié)槽部的圓周方向的長度。并且,存在如下的效果根據(jù)在發(fā)明1114中記載的結(jié)構(gòu),可避免在槽部中的加工終點(diǎn)側(cè)邊緣產(chǎn)生"非對(duì)稱",可形成輪廓清晰的精密的突起。并且,根據(jù)在發(fā)明11中記載的結(jié)構(gòu),可制造出沒有出現(xiàn)在將激光光束照射到棱線部分時(shí)經(jīng)常產(chǎn)生的"凹痕"現(xiàn)象的精密的刀輪。可經(jīng)由支撐單元支撐所述刀輪,使激光光束一邊相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位上,可通過上述結(jié)構(gòu)使激光光束精確地相對(duì)移動(dòng)而在所述刀輪上描繪出期望的移動(dòng)軌跡,該支撐單元具備粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其可在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行粗調(diào)節(jié);微調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其在粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部上可在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行微調(diào)節(jié);以及旋轉(zhuǎn)支撐部,其在微調(diào)節(jié)移動(dòng)部上可旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度地支撐所述刀輪。圖1是用于實(shí)施本發(fā)明的制造方法的概略的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。圖2是示出保持所加工的刀輪的底座部分和激光頭部分的圖。圖3是所加工的刀輪的剖面圖。圖4是示出本發(fā)明的制造方法的一實(shí)施例的說明圖,示出激光光束的軌跡和刀輪之間的位置關(guān)系。圖5是圖4的要部放大圖。圖6是示出所加工的槽部的放大剖面圖。圖7是示出所激光加工的刀輪的圖,(a)示出刀輪整體,(b)示出要部放大圖。圖8是示出激光光束的軌跡的變更例的圖,(a)表示四邊形軌跡,(b)表示三角形軌跡。圖9是示出用于防止上述"非對(duì)稱"現(xiàn)象的本發(fā)明的實(shí)施例的說明圖,(a)示出激光光束的第一次照射和第二次照射的軌跡與刀輪之間的位置關(guān)系,(b)示出所加工的槽部,(c)示出第二次照射的軌跡比第一次照射的軌跡小的例子。圖IO是示出用于防止上述"非對(duì)稱"現(xiàn)象的實(shí)施例的說明圖。圖ll是示出本發(fā)明的制造方法的其他實(shí)施例的說明圖,(a)是示出槽部的加工輪廓線和分割線的說明圖,(b)是示出激光光束的第一次照射的說明圖,(c)是示出激光光束的第二次照射的軌跡的說明圖。圖12是與圖11相同的說明圖,示出將激光光束的軌跡設(shè)為四邊形的情況。圖13是與圖11相同的說明圖,示出將激光光束的軌跡設(shè)為三角形的情況。圖14是示出用于防止上述"凹痕"現(xiàn)象的實(shí)施例的說明圖。圖15是用于說明根據(jù)特定位置使用法來形成在X—Y軸移動(dòng)臺(tái)上保持的刀輪的槽部的方法的俯視圖。圖16是示出實(shí)施例的喇曼光譜分析的測定點(diǎn)的圖。圖17是示出實(shí)施例的根據(jù)以往的磨削加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果的圖。圖18是示出實(shí)施例的根據(jù)本發(fā)明的激光加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果的圖。圖19是示出實(shí)施例的根據(jù)以往的激光加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果的圖。圖20是在納米臺(tái)使用法中使用的納米臺(tái)的圖。圖21是示出加工槽部時(shí)的"非對(duì)稱"現(xiàn)象的剖面圖。圖22是示出加工槽部時(shí)的"凹痕"現(xiàn)象的剖面圖。圖23是示出其他形狀的刀輪、加工該刀輪時(shí)的底座部分和激光頭部分的圖。標(biāo)號(hào)說明1:激光頭;2、2,刀輪;2a:刀輪的棱線;2b:刀輪的槽部;2c:刀輪的突起;3:固定底座;3a:固定底座的X—Y軸移動(dòng)臺(tái);3b:保持刀輪的軸;5:吸引路;31:粗調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)(粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部);32:微調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)(微調(diào)節(jié)移動(dòng)部);41:刀輪;b:槽部的加工輪廓線;C:分割預(yù)定線;R、R'、R":激光光束的移動(dòng)軌跡;S:表示激光光束的照射方向的線;A:金剛石的喇曼位移;B:石墨的喇曼位移。具體實(shí)施例方式以下,參照附圖來說明本發(fā)明的脆性材料基板用刀輪的制造方法。圖1是用于實(shí)施本發(fā)明方法的簡略的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖,圖2是示出保持所加工的盤狀刀輪的底座部分和激光頭部分的圖。如圖1所示,該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)包括控制部12,其具備監(jiān)視器ll;激光光源部13,其由該控制部12控制;激光頭l,其照射出來自該激光光源部13的激光光束;以及固定底座3,其具有用于保持應(yīng)加工的刀輪2的X—Y軸移動(dòng)臺(tái)。X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a形成為可在圖2中的水平面上沿X—Y軸方向移動(dòng),激光頭1形成為通過圖示外的Z軸方向移動(dòng)臺(tái)而可在圖2中的垂直方向上移動(dòng)且可調(diào)節(jié)照射角度。刀輪2保持于在X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a上設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸3b上,由計(jì)算機(jī)控制部控制所述移動(dòng)臺(tái)3a和刀輪2與激光頭l之間的相對(duì)移動(dòng)速度。另外,標(biāo)號(hào)3c是為了易于進(jìn)行對(duì)焦作業(yè)而設(shè)置在刀輪2的下方的白色陶瓷盤。在該方式中,從激光頭1照射出的激光光束為YAG激光的高次諧波,但只要是短波長和/或短脈沖的激光光束,不特別限定可使用的激光的種類。只要是可照射出波長范圍為1251066mm、1個(gè)脈沖的脈沖寬度范圍為5f秒50n秒、脈沖重復(fù)頻率范圍為300Hz5KHz的激光光束,則可以使用任意形式。并且,利用從激光頭1照射出的激光光束來加工的工件的加工部位的最大厚度為200um以下即可。關(guān)于加工部位的最小厚度,只要是實(shí)際可加工的薄厚,則不特別進(jìn)行限定。另外,從易于加工的點(diǎn)來看,加工部位的厚度范圍優(yōu)選為1200nm。并且,將刀輪2和激光頭1之間的相對(duì)移動(dòng)速度控制為3.0mm/秒以下。其中,關(guān)于移動(dòng)速度的下限,雖然沒有特別限定,但只要不是加工時(shí)間過長而成為實(shí)用上的問題的程度即可。進(jìn)而,優(yōu)選控制為0.1um3.0mm/妙即可。.從激光頭1照射出的激光光束的實(shí)質(zhì)上的輸出為0.002W5.0W左右??刂撇?2控制激光光束1照射出的激光的波長、脈沖寬度、以及功率密度,從而從激光光源部13照射出最適合于激光磨蝕加工的脈沖激光光束。另外,以下說明中的所謂"激光頭1的移動(dòng)"是指,照射出激光光束的激光頭1和保持應(yīng)加工的刀輪2的X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a之間的相對(duì)移動(dòng)。并且,以下說明中的所謂"激光光束的移動(dòng)軌跡"是指,由激光頭l和X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a之間的相對(duì)移動(dòng)形成的激光光束的軌跡。關(guān)于本發(fā)明的刀輪,為了割斷(截?cái)?各種脆性材料,以在被加工對(duì)象的脆性材料上形成劃線為目的,對(duì)使用在劃線動(dòng)作中的以往的刀輪進(jìn)一步進(jìn)行加工,提高該劃線性能。S卩,沿以往的刀輪的周邊棱線進(jìn)行形成凹凸形狀的微細(xì)加工。在以往的刀輪中,為了形成起到刀刃功能的棱線部,在圓板盤的外周緣部通過使用砂輪的磨削加工來形成傾斜部。在該形成過程中,在外周緣部的傾斜部和棱線部上形成微小且不規(guī)則的凹凸(磨削條痕),但沿外周棱線部進(jìn)行微細(xì)加工來形成所需數(shù)量的與這樣的不規(guī)則的凹凸的尺寸不同且規(guī)則的、具有根據(jù)刀輪外徑選擇的規(guī)定高度的"突起"和具有規(guī)定寬度和深度的"槽",從而可提供大幅提高了以往刀輪的劃線性能的刀輪。在具備不規(guī)則且微小的磨削條痕的以往刀輪中,當(dāng)進(jìn)行劃線時(shí)可在被加工物的內(nèi)部形成的垂直裂紋的深度為其厚度的1015。%。另一方面,本發(fā)明的刀輪在其外周棱線部上具有規(guī)則的"突起"和"槽",所以在進(jìn)行劃線時(shí)使刀刃負(fù)荷局部地集中到該突起物上,所以不產(chǎn)生大寬度的水平裂紋而使大的刀刃負(fù)荷發(fā)揮作用。其結(jié)果,在使刀輪在被加工物的表面上轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),在劃線的正下方,連續(xù)形成深度達(dá)到被加工物的厚度的近80%的垂直裂紋。其結(jié)果,在將本發(fā)明的刀刃應(yīng)用在脆性材料的割斷(截?cái)?工序以代替以往的刀刃時(shí),可簡化在劃線之后所需的斷裂工序。迸而,雖然與基板材質(zhì)和其厚度相關(guān),但可根據(jù)情況來實(shí)現(xiàn)無需斷裂工序的割斷(截?cái)?工序。從而,在FPD(平面顯示體)面板的生產(chǎn)設(shè)備的截?cái)嗑€結(jié)構(gòu)中,采用使用這樣的形成較深的垂直裂紋的刀刃的劃線裝置,從而能夠構(gòu)筑出在劃線結(jié)構(gòu)中可實(shí)現(xiàn)斷裂裝置的簡略化或省略化來節(jié)約成本的劃線設(shè)備。在制造本發(fā)明的刀輪時(shí),如圖3以及圖4所示,使用將燒結(jié)金剛石為作為材料的以往的盤狀刀輪2來對(duì)其進(jìn)行追加加工。以往刀輪2沿其圓周方向在外周面具有呈V字形且發(fā)揮刀刃功能的棱線部2a。在移動(dòng)臺(tái)3a的旋轉(zhuǎn)軸3b上,經(jīng)由軸孔2d水平安裝該刀輪2。以使刀輪2靜止的狀態(tài),從刀輪2的側(cè)面朝向包含棱線部2a的刀輪外周部,使激光光束一邊沿圓形軌跡R移動(dòng)一邊進(jìn)行照射。此時(shí),如圖4以及圖5所示,通過設(shè)定為圓形軌跡R的一部分與棱線部2a接觸,從而可加工出圖6所示那樣的一個(gè)圓弧狀的槽部2b。接下來,根據(jù)預(yù)先輸入的參數(shù)來使圖2所示的旋轉(zhuǎn)軸3b僅旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度(1間距量)后同樣照射激光光束,依次重復(fù)該加工過程,從而如圖7所示,可將以往刀輪2加工為具備多個(gè)微細(xì)的突起2c和槽部2b的刀輪2'。關(guān)于所加工的槽部2b的深度H,可通過在刀輪的半徑方向上使根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡描繪出的圖形偏移來進(jìn)行微調(diào)節(jié),并且,可通過改變根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形的尺寸來對(duì)槽部的圓周方向的長度進(jìn)行微調(diào)節(jié)。上述激光光束的軌跡R不限于圖4那樣的圓形,例如也可以是圖8(a)的四邊形R,、或圖8(b)的三角形R"的圖形,還可以是其他多邊形的閉合曲線或不形成閉合曲線的曲線、直線的圖形。并且,也可以組合使用這些中的多個(gè)不同圖形來加工出一個(gè)槽。即使在使用這些圖形的情況下,也可通過在刀輪的半徑方向上使根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡描繪出的圖形偏移來對(duì)所加工的槽部的深度進(jìn)行微調(diào)節(jié),并且,可通過改變根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形的尺寸來對(duì)槽部的圓周方向的長度進(jìn)行微調(diào)節(jié)。圖9圖13分別示出用于消除上述敘述的在激光加工終點(diǎn)側(cè)產(chǎn)生的"非對(duì)稱"現(xiàn)象的實(shí)施例。在圖9的實(shí)施例中,在圖9(a)中,使具有圓形移動(dòng)軌跡的激光光束從應(yīng)加工槽部的一端緣相當(dāng)部分沿一個(gè)方向移動(dòng)來進(jìn)行第一次照射Rl,從而加工出槽部的一部分,接下來在第二次照射R2中,使激光光束從未完成槽部的另一端緣相當(dāng)部分沿與所述一個(gè)方向相反的方向移動(dòng),從而完成圖9(b)所示那樣的一個(gè)槽部2b。此時(shí),如圖9(c)所示,優(yōu)選設(shè)定為第二次激光光束的軌跡比第一次激光光束的軌跡小。由此,可實(shí)現(xiàn)縮短照射時(shí)間。并且,如圖10所示,使具有圓形移動(dòng)軌跡的激光光束從應(yīng)加工槽部的一端緣相當(dāng)部分沿一個(gè)方向移動(dòng)來進(jìn)行第一次照射R1,接下來在第二次照射R2中,可以以激光光束的軌跡相對(duì)于刀輪2位于與第一次照射時(shí)相同的部位上的方式使激光光束移動(dòng),并且以第一次照射R1中的激光光束的移動(dòng)方向與第二次照射R2中的激光光束的移動(dòng)方向成為互相相反的方向的方式使激光光束移動(dòng)。由此,可消除所述非對(duì)稱現(xiàn)象。在圖ll所示的實(shí)施例中,以分割預(yù)定線c為邊界,將應(yīng)形成槽部的加工輪廓線b分割為二個(gè),分別使用第一次和第二次的激光光束對(duì)所分割的部分進(jìn)行加工。在圖11的實(shí)施例中,示出所加工的槽部2b的形狀為圓弧的情況,與此相對(duì),在圖12中示出槽部2b的形態(tài)為開口部朝上的〕字形的情況,在圖13中示出槽部2b的形態(tài)為V形的情況,任意一個(gè)都是使用第一次和第二次的激光光束來對(duì)由加工輪廓線b分割的部分進(jìn)行加工。圖14示出用于消除所述"凹痕"的產(chǎn)生(參照?qǐng)D22)的實(shí)施例。在該實(shí)施例中,從刀輪2的左右兩面?zhèn)冉惶嬲丈浼す夤馐?、或同時(shí)照射激光光束來加工槽部。此時(shí),以使激光光束的照射方向相對(duì)于刀輪軸線X接近的方式(在圖22的以往例中,與刀輪軸線平行地照射),具有規(guī)定的傾角來形成。作為規(guī)定傾角是指,當(dāng)將以激光光束照射線S作為邊界的上側(cè)斜面和激光光束照射線S之間的角度設(shè)為a,將下側(cè)斜面與和激光光束照射線S之間的角度設(shè)為e時(shí),a變大而P變小,從而a和P(從與刀輪軸線X平行的方向)傾向于接近的方向。由此,以激光光束照射線S作為邊界的上側(cè)斜面和激光光束照射線S之間的角度a接近于下側(cè)斜面和激光光束照射線S之間的角度P,而緩和了偏斜使得上側(cè)斜面受到很多照射熱的情況,由此可防止產(chǎn)生上述"凹痕"。在本發(fā)明的脆性材料基板用刀輪的制造方法中,測定出與激光光束的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的均勻性,根據(jù)所述測定結(jié)果,可使用所述激光光束的所述外緣部的特定位置來對(duì)工件進(jìn)行加工(以下,稱為"特定位置使用法")。參照?qǐng)D46所示的所述實(shí)施例以及圖15來說明特定位置使用法的實(shí)施方式。圖15是用于說明基于特定位置使用法的槽部2b的形成方法的圖2的固定底座2的俯視圖。在圖2的X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a上,以使應(yīng)加工刀輪2靜止的狀態(tài),從刀輪2的側(cè)面朝向包含棱線部2a的刀輪外周部,一邊使激光光束沿圓形軌跡R相對(duì)移動(dòng)一邊照射的情況下,如圖4以及圖5所示,被設(shè)定為圓形軌跡的一部分接觸棱線部2a,形成圖6所示那樣的一個(gè)圓弧狀的槽部2b。在圖15中說明時(shí),首先,為了形成第一個(gè)槽部2b,相對(duì)于從激光頭1照射出的激光光束LB,使在X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a(參照?qǐng)D2)的旋轉(zhuǎn)軸3b(參照?qǐng)D2)上保持的刀輪2接近于激光光束LB,例如調(diào)節(jié)刀輪2的位置以使激光光束LB的角度位置L1與由圖中的實(shí)線表示的刀輪2的外周部對(duì)置,形成所述圓弧狀的槽部2b。接下來,使刀輪2從激光光束LB離開,使旋轉(zhuǎn)軸3b旋轉(zhuǎn)角度9,然后使保持在旋轉(zhuǎn)軸3b上的刀輪2接近于激光光束LB,在與角度位置Ll對(duì)置的刀輪2的外周部上形成第二個(gè)槽部2b。通過依次重復(fù)這樣的動(dòng)作,在刀輪2的外周上以規(guī)定間隔形成n個(gè)槽部2b。此時(shí),在照射到棱線部2a上的激光光束LB中,與該激光光束的光軸正交的剖面的外緣部的相同角度位置L1接觸棱線部2a。另一方面,通常,激光光束LB的照射面中的激光光束的形狀不是正圓,所以與激光光束LB的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布在全周上未必是均勻的。因此,當(dāng)在與刀輪2對(duì)置的所述激光光束的所述外緣部上存在能量分布顯著降低的部分時(shí),例如當(dāng)在所述角度位置L1上存在能量分布顯著降低的部分時(shí),如果假設(shè)為激光光束的所述外緣部中的能量分布為均勻而一邊使激光光束相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,則將產(chǎn)生激光光束的移動(dòng)軌跡沒有描繪出所預(yù)定的圖形的不合理情況。此處,說明使用特定位置使用法來防止上述不合理情況的實(shí)施方式。首先,在圖15的X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a(參照?qǐng)D2)的旋轉(zhuǎn)軸3b上保持測試輪。測試輪具有與作為工件的刀輪2相同的材質(zhì)、形狀。一邊使來自激光頭1的激光光束LB相對(duì)于所述測試輪相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,例如描繪出與在工件上描繪出的圖形相同的圖形,例如使用顯微鏡來觀察由此得到的激光加工部位。根據(jù)該觀察結(jié)果,判斷與所述激光光束LB的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的均勻性。艮P,在所述激光加工部位上,在存在與加工預(yù)定線之間的偏差、或與非加工部位之間的邊界面糾纏時(shí),避開與所述激光加工部位接觸的所述激光光束LB的外緣部的角度位置Ll,在所述激光光束LB的外緣部的不同的角度位置、例如圖中的角度位置L2L4上,與上述相同地,一邊使所述激光光束LB相對(duì)于測試輪相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,同樣使用顯微鏡來觀察由此得到的激光加工部位,根據(jù)該觀察結(jié)果,判斷與所述激光光束LB的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的均勻性。當(dāng)判斷為在所述激光加工部位上沒有產(chǎn)生上述那樣的不合理情況時(shí),將與該激光加工部位接觸的所述激光光束LB的外緣部的角度位置、例如圖中的角度位置L2L4中的任意一個(gè)視為"特定位置",使用該特定位置來進(jìn)行作為工件的刀輪2的激光加工。具體而言,在X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a的旋轉(zhuǎn)軸3b上保持刀輪2,相對(duì)移動(dòng)到與從激光頭1照射出的激光光束LB的所述"特定位置"對(duì)置的位置(例如,由圖中的虛線表示的刀輪2的任意一個(gè)位置)。接下來,一邊使刀輪2的加工部位接觸到激光光束LB的所述特定位置,一邊移動(dòng)X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a以便描繪出所述閉合曲線,進(jìn)行刀輪2的槽加工。在第一次槽加工結(jié)束時(shí),使旋轉(zhuǎn)軸3a旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度e(l間距),與上述相同地以描繪出所述閉合曲線的方式使X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a移動(dòng),以便激光光束LB的所述特定位置接觸與根據(jù)上述槽加工形成的槽加工部位相鄰的槽加工預(yù)定部位,進(jìn)行第二個(gè)槽加工。以下,相同地進(jìn)行n個(gè)槽加工。通過使用上述特定位置使用法,工件總是經(jīng)由激光光束LB的能量分布不產(chǎn)生偏差、曲率恒定的外緣部與激光光束LB接觸,所以能夠消除激光光束LB的移動(dòng)軌跡R沒有描繪出所預(yù)定的圓形等閉合曲線的不合理情況。在根據(jù)本發(fā)明的制造方法來加工的脆性材料基板用刀輪2中,V字形的棱線部的刀刃角度為85160度,刀輪的外形為120mm,刀輪的厚度為5mm以下,所述突起部和槽的長度為5200um,突起的高度為0.520um,如果為上述范圍內(nèi)的刀輪,則可制造出作為大幅提高以往刀刃的劃線性能的性能,具有形成深垂直裂紋的高浸透效果、或?qū)Υ嘈圆牧媳砻娴?作用"良好的效果的刀刃。另外,在用于實(shí)施所述發(fā)明的優(yōu)選方式所示的燒結(jié)金剛石的使用激光的微細(xì)加工中,幾乎可以完全抑制加工部位的石墨化,可形成精確的加工形狀。(實(shí)驗(yàn))對(duì)根據(jù)使用砂輪的以往磨削加工來形成槽的脆性材料基板用刀輪、和根據(jù)本發(fā)明的激光加工來形成槽的上述刀輪,進(jìn)行喇曼光譜分析。各刀輪具有將相同燒結(jié)金剛石作為材料的相同尺寸以及形狀(直徑2mm、厚度0.65mm、刀刃角度115°)。設(shè)定為形成槽的激光的移動(dòng)軌跡是直徑為48um的圓,在該刀輪上切削出該圓的圓周上的7um長度的圓弧。<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>圖16(a)以及(b)使用箭頭來表示對(duì)刀輪2'的喇曼光譜分析用入射光的入射方向,圖16(c)表示刀輪2中的喇曼光譜分析用的測定點(diǎn)Pl以及P2。表2示出本發(fā)明的激光加工中的加工條件。<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>另外,所謂表2的"散焦/光束直徑為0um/4"m"是指,在將激光光束對(duì)焦到作為加工面的刀輪2的棱線部2a上時(shí),加工面中的光束直徑被縮小至4nm。圖17表示根據(jù)使用砂輪的以往磨削加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果,圖18表示根據(jù)本發(fā)明的激光加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果。進(jìn)而,圖19表示根據(jù)以往的激光加工來形成槽的刀輪的喇曼光譜分析結(jié)果。在這些圖17圖19中,橫軸表示散射光的頻率,縱軸表示喇曼散射光強(qiáng)度。并且,峰值A(chǔ)表示金剛石的喇曼位移(1332.5cm—",峰值B表示石墨的喇曼位移(1580.0cm—"。圖17(a)表示圖16(c)的測定點(diǎn)Pl中的喇曼光譜分析結(jié)果,圖17(b)表示圖16(c)的測定點(diǎn)P2中的喇曼光譜分析結(jié)果。從這些結(jié)果可知,在根據(jù)使用砂輪的以往的磨削加工來形成槽時(shí),可不在刀輪表層形成石墨地進(jìn)行微細(xì)加工。圖18(a)表示圖16(c)的測定點(diǎn)Pl中的喇曼光譜分析結(jié)果,圖18(b)表示圖16(c)的測定點(diǎn)P2中的喇曼光譜分析結(jié)果。從這些結(jié)果可知,根據(jù)本發(fā)明的激光加工,可與使用砂輪的以往的磨削加工相同地,不在刀輪表層形成石墨地進(jìn)行微細(xì)加工。圖19是偏離了本發(fā)明的激光加工條件范圍的條件下的喇曼光譜分析結(jié)果,具體而言,使用激光光束波長為355nm、輸出為5.0W、激光脈沖寬度為25n秒、重復(fù)頻率為10KHz的激光光束,將刀輪和激光光束之間的相對(duì)移動(dòng)速度設(shè)為0.5mm/秒來照射所述刀輪的加工部位,將加工部位的厚度為10um的所述刀輪加工成微細(xì)形狀。另外,測定點(diǎn)為圖16(c)的測定點(diǎn)P1。在該條件下,顯然產(chǎn)生石墨化。在偏離本發(fā)明的激光加工的條件范圍時(shí),可知即使是其他條件相同也有產(chǎn)生石墨化的傾向。從這些結(jié)果可知,通過按照本發(fā)明的激光加工中的條件范圍來進(jìn)行激光加工,可將在激光加工時(shí)產(chǎn)生的石墨化抑制為與使用砂輪的以往的磨削加工相同的程度。(其他實(shí)施方式)在本發(fā)明的脆性材料基板用刀輪的制造方法中,可經(jīng)由支撐單元支撐所述刀輪,一邊使激光光束相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位(以下,稱為"納米臺(tái)使用法"),該支撐單元具備粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其可在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行粗調(diào)節(jié);微調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其可在粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部上在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行微調(diào)節(jié);以及旋轉(zhuǎn)支撐部,其在微調(diào)節(jié)移動(dòng)部上可旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度地支撐所述刀輪。參照?qǐng)D20來說明納米臺(tái)使用法的實(shí)施方式。圖20是在納米臺(tái)使用法中使用的納米臺(tái)的圖。圖2的X—Y軸移動(dòng)臺(tái)3a為可在X以及Y周方向上移動(dòng)來進(jìn)行調(diào)節(jié)的臺(tái),與此相對(duì),此處不同點(diǎn)為,圖20所示的納米臺(tái)包括粗調(diào)節(jié)臺(tái)31,其可在X以及Y軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行粗調(diào)節(jié);以及微調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)32,其可在粗調(diào)節(jié)移動(dòng)臺(tái)31上在X以及Y軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行微調(diào)節(jié)。由于其他結(jié)構(gòu)相同,所以省略其說明。如圖4所示,在以使應(yīng)加工刀輪2靜止的狀態(tài),從刀輪2的側(cè)面朝向包含棱線部2a的刀輪外周部,例如沿直徑為10um的圓形軌跡R,一邊使激光光束相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射的情況下,優(yōu)選納米臺(tái)可以以±0.1lim土0.5um精度來移動(dòng)。通過使用納米臺(tái),可使激光光束精確地相對(duì)移動(dòng)而在所述刀輪上描繪出期望圖形(移動(dòng)軌跡)。本發(fā)明可用于制造對(duì)玻璃、陶瓷、單晶硅或藍(lán)寶石等脆性材料基板、液晶面板、等離子顯示器面板、有機(jī)EL顯示器面板等平板顯示器用的面板基板,在劃線開始時(shí)的"作用"良好的刀輪,或用于制造隨著深入形成于基板內(nèi)部的垂直裂痕的形成,可提供劃線的正直度良好且斷裂截?cái)嗪蟮慕財(cái)嗝尜|(zhì)量良好的劃線動(dòng)作作的刀輪。另外,作為可通過本發(fā)明的激光加工來制造出的刀輪,除了圖4所示的以往的刀輪2以夕卜,即使是圖23所示的軸和刀輪主體形成為一體的刀輪41,也可將與軸部相當(dāng)?shù)牟糠州d置于具有凹陷部分的治具中,使用空氣管5來進(jìn)行吸引等以不使位置偏移,使用與圖2對(duì)應(yīng)的那樣的設(shè)備配置來對(duì)刀輪41的圓周棱線部進(jìn)行激光加工,從而可與上述圖4的刀輪2的情況相同地,制造出提高了劃線性能的刀輪。權(quán)利要求1.一種使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法,其特征在于,在該使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法中,對(duì)于將燒結(jié)金剛石作為材料的工件,使激光光束一邊相對(duì)于所述工件相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述工件的加工部位上,在加工部位的最大厚度為200μm以下的范圍內(nèi),將所述工件加工成微細(xì)形狀。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法,激光光束的波長范圍為1751066nm,1個(gè)脈沖的脈沖寬度為5f秒50n秒,脈沖重復(fù)頻率為300Hz5KHz。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用激光的燒結(jié)金剛石的微細(xì)加工方法,將所述工件和激光光束之間的相對(duì)移動(dòng)速度設(shè)為0.1ym/秒3.0mm/秒,使所述激光光束一邊相對(duì)于所述工件相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述工件的加工部位上。4.一種使用激光的脆性材料基板用刀輪的制造方法,其特征在于,在該使用激光的脆性材料基板用刀輪的制造方法中,包括在將燒結(jié)金剛石作為材料而在外周面上具有成為刀刃的V字型的棱線部的脆性材料基板用刀輪中,從刀輪側(cè)面?zhèn)?,使激光光束一邊相?duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,在所述棱線部分上在周向上隔開期望的間隔來連續(xù)形成朝向刀輪半徑方向開口的微細(xì)的槽部的工序,使所述激光光束一邊相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位上,在加工部位的最大厚度為200um以下的范圍內(nèi),將所述刀輪加工成微細(xì)形狀。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,激光光束的波長范圍為1751066nm,1個(gè)脈沖的脈沖寬度為5f秒50n秒,脈沖重復(fù)頻率為300Hz5KHz。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,將所述刀輪和激光光束之間的相對(duì)移動(dòng)速度設(shè)為0.1Pm/秒3.0mm/秒,使所述激光光束一邊相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位上。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,?敫光光束是脈沖激光光束,通過激光磨蝕加工來形成槽部。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,、激光光束相對(duì)于所述刀輪的相對(duì)移動(dòng)軌跡為相同模式的圖形。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,戶/f述圖形為圓、橢圓或多邊形的閉合曲線、或者不形成閉合曲線的曲線、直線。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,使根據(jù)激光光束相對(duì)于所述刀輪的相對(duì)移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形在刀輪的半徑方向上偏移,從而調(diào)節(jié)所加工的槽部的深度,改變根據(jù)激光光束的移動(dòng)軌跡來描繪出的圖形的尺寸,從而調(diào)節(jié)槽部的圓周方向的長度。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,使激光光束從應(yīng)加工槽部的一端緣相當(dāng)部分在一個(gè)方向上相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)來進(jìn)行第一次照射,從而加工出槽部的一部分,接下來使第二次的激光光束從未完成槽部的另一端緣相當(dāng)部分在與所述一個(gè)方向相反的方向上相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)來完成一個(gè)槽部。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,在激光光束的第一次照射以及第二次照射中,各激光光束相對(duì)于對(duì)所述刀輪的相對(duì)移動(dòng)軌跡為閉合曲線且在刀輪周向上相互偏移。13.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,將槽部中的激光光束相對(duì)于所述刀輪的相對(duì)移動(dòng)軌跡設(shè)為圓弧,將第一次和第二次的激光光束的圓弧的尺寸設(shè)為不同尺寸。14.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,以分割預(yù)定線為邊界而將應(yīng)形成槽部的加工輪廓線分割為二個(gè),分別使用第一次和第二次的激光光束來加工所分割的部分。15.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,從刀輪的左右兩面?zhèn)冉惶婊蛲瑫r(shí)照射激光光束來加工出槽部。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,以使從刀輪的左右兩面?zhèn)日丈涞募す夤馐恼丈浞较蛳鄬?duì)于刀輪軸線接近的方式,以規(guī)定的傾角來形成。17.根據(jù)權(quán)利要求4所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,測定出與激光光束的光軸正交的剖面的外緣部中的能量分布的均勻性,根據(jù)所述測定結(jié)果使用所述激光光束的所述外緣部的特定位置來對(duì)工件進(jìn)行加工。18.根據(jù)權(quán)利要求4所述的使用激光的脆性材料基板用刀輪的制造方法,可經(jīng)由支撐單元支撐所述刀輪,使激光光束一邊相對(duì)于所述刀輪相對(duì)移動(dòng)一邊照射到所述刀輪的加工部位上,該支撐單元具備粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其可在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行粗調(diào)節(jié);微調(diào)節(jié)移動(dòng)部,其可在粗調(diào)節(jié)移動(dòng)部上在至少二軸方向上移動(dòng)來進(jìn)行微調(diào)節(jié);以及旋轉(zhuǎn)支撐部,其在微調(diào)節(jié)移動(dòng)部上可旋轉(zhuǎn)規(guī)定角度地支撐所述刀輪。19.根據(jù)權(quán)利要求4至權(quán)利要求18中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法,激光光束由YAG激光的第2第5高次諧波來構(gòu)成。20.—種脆性材料基板用刀輪,其使用在權(quán)利要求4權(quán)利要求19中任一項(xiàng)所述的脆性材料基板用刀輪的制造方法來制造。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的脆性材料基板用刀輪,在該脆性材料基板用刀輪中,在刀輪的外周面上形成將頂點(diǎn)作為刀刃的V字形的棱線部且在該棱線部的全周上交替連續(xù)形成多個(gè)突起和槽,所述V字形的棱線部的角度為85160度,刀輪的外形為120mm,由所述突起和槽構(gòu)成的間距長度為5200tim,突起的高度為0.520ym。全文摘要本發(fā)明提供燒結(jié)金剛石的加工方法、基板用刀輪及其加工方法,根據(jù)這些方法,可抑制在使用激光來對(duì)燒結(jié)金剛石進(jìn)行微細(xì)加工時(shí)的加工部位的石墨化,并且可高效地進(jìn)行精確的微細(xì)加工。在上述方法中,包括在包含棱線部分(2a)的刀輪外周部上,從刀輪側(cè)面?zhèn)仁辜す夤馐贿呄鄬?duì)于刀輪(2)相對(duì)移動(dòng)一邊進(jìn)行照射,在棱線部分上在周向隔開期望的間隔來連續(xù)形成朝向刀輪半徑方向開口的微細(xì)的槽部的工序,對(duì)于將燒結(jié)金剛石作為材料的工件,以所述工件和激光光束之間的相對(duì)移動(dòng)速度來對(duì)所述工件的加工部位進(jìn)行照射,在加工部位的最大厚度為200μm以下的范圍內(nèi),將所述工件加工成微細(xì)形狀。文檔編號(hào)H01L21/301GK101115581SQ20068000395公開日2008年1月30日申請(qǐng)日期2006年2月2日優(yōu)先權(quán)日2005年2月2日發(fā)明者冨森纮,栗山和久,近藤幹夫申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司
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