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真空密封裝置的制作方法

文檔序號(hào):8063695閱讀:162來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:真空密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石單晶生產(chǎn)領(lǐng)域,特別是一種用于藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐的真空密封裝置。
背景技術(shù)
減速器是原動(dòng)機(jī)和工作機(jī)之間的獨(dú)立的閉式傳動(dòng)裝置,用來(lái)降低轉(zhuǎn)速和增大轉(zhuǎn)矩,以滿足工作需要,在某些場(chǎng)合也用來(lái)增速,稱為增速器。通用減速器是一種相對(duì)精密的機(jī)械,使用它的目的是降低轉(zhuǎn)速,增加轉(zhuǎn)矩。它的種類繁多,型號(hào)各異,不同種類有不同的用途,其共同特點(diǎn)是固定減速比,本身不具有變速功能。常插板閥門是一種真空密封裝置,只具有隔離兩個(gè)空間的功效。雖然種類繁多,用途各異,但均不具備工作空間可視、與外界連通輔助抽氣功能。當(dāng)閥門打開、隔離的工作狀態(tài),工作空間有無(wú)障礙物是無(wú)法確定的;閥門重新打開時(shí)隔離空間的氣壓應(yīng)相等,需要在其基礎(chǔ)上加輔助功能。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種增加了可視空間和抽氣口的輔助功能的真空密封裝置。本實(shí)用新型真空密封裝置,包括水冷式插板閥,所述水冷式插板閥為中空的規(guī)則的多面體;中空水冷套,所述中空水冷套貫穿設(shè)置與所述水冷式插板閥;旋轉(zhuǎn)手柄,所述旋轉(zhuǎn)手柄的一端與所述水冷式插板閥連接;所述中空水冷套上設(shè)有觀察窗口以及輔助抽氣口。所述觀察窗口為圓柱式,所述觀察窗口的一端與所述中空水冷套連接。所述輔助抽氣口為圓柱式,所述輔助抽氣口的一端與所述中空水冷套連接。所述觀察窗口及所述輔助抽氣口相互獨(dú)立。在所述輔助抽氣口及所述中空水冷套的端口都設(shè)有法蘭。所述法蘭為KF 法蘭。在所述觀察窗口處設(shè)有石英玻璃。所述石英玻璃通過(guò)氟橡膠0型圈進(jìn)行密封。本實(shí)用新型真空密封裝置能夠?qū)崿F(xiàn)真空空間的有效隔離,同時(shí)通過(guò)觀察窗口能夠目測(cè)空間狀態(tài),避免內(nèi)部空間的工件被切斷,以常見水冷式插板閥為基礎(chǔ),在其一端增加帶有觀察窗口及輔助抽氣口的真空部品,各結(jié)構(gòu)焊接組成,減少了密封處的泄露點(diǎn),水冷連為一路,簡(jiǎn)化了裝置,節(jié)省了物料及人工,便于設(shè)備向小型化、模塊化方向發(fā)展。

圖1為本實(shí)用新型真空密封裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型真空密封裝置附圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明1-水冷式插板閥 2-觀察窗口 3-輔助抽氣口 4-中空水冷套5-石英玻璃6-KF法蘭 7-旋轉(zhuǎn)手柄
具體實(shí)施方式
[0011]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型真空密封裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示,本實(shí)用新型真空密封裝置,包括中空的規(guī)則的多面體的水冷式插板閥1 ;貫穿設(shè)置與水冷式插板閥的中空水冷套4 ;一端與水冷式插板閥1連接的旋轉(zhuǎn)手柄7 ; 中空水冷套4上設(shè)有相互獨(dú)立的觀察窗口 2以及輔助抽氣口 3,觀察窗口 2及輔助抽氣口 3 為圓柱式,一端與中空水冷套4連接。在輔助抽氣口 3及中空水冷套4的端口都設(shè)有KF法蘭6。在觀察窗口 2處設(shè)有通過(guò)氟橡膠0型圈進(jìn)行密封的石英玻璃5。本實(shí)用新型真空密封裝置能夠?qū)崿F(xiàn)真空空間的有效隔離,同時(shí)通過(guò)觀察窗口能夠目測(cè)空間狀態(tài),避免內(nèi)部空間的工件被切斷,以常見水冷式插板閥為基礎(chǔ),在其一端增加帶有觀察窗口及輔助抽氣口的真空部品,各結(jié)構(gòu)焊接組成,減少了密封處的泄露點(diǎn),水冷連為一路,簡(jiǎn)化了裝置,節(jié)省了物料及人工,便于設(shè)備向小型化、模塊化方向發(fā)展。以上已對(duì)本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說(shuō)明,但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于實(shí)施例,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換,這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.真空密封裝置,包括水冷式插板閥,所述水冷式插板閥為中空的規(guī)則的多面體; 中空水冷套,所述中空水冷套貫穿設(shè)置與所述水冷式插板閥; 旋轉(zhuǎn)手柄,所述旋轉(zhuǎn)手柄的一端與所述水冷式插板閥連接; 其特征在于,所述中空水冷套上設(shè)有觀察窗口以及輔助抽氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述觀察窗口為圓柱式,所述觀察窗口的一端與所述中空水冷套連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述輔助抽氣口為圓柱式,所述輔助抽氣口的一端與所述中空水冷套連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的真空密封裝置,其特征在于,所述觀察窗口及所述輔助抽氣口相互獨(dú)立。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,在所述輔助抽氣口及所述中空水冷套的端口都設(shè)有法蘭。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,在所述觀察窗口處設(shè)有石英玻璃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空密封裝置,其特征在于,所述石英玻璃通過(guò)氟橡膠0型圈進(jìn)行密封。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空密封裝置,其特征在于,所述法蘭為KF法蘭。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空密封裝置,包括水冷式插板閥,所述水冷式插板閥為中空的規(guī)則的多面體;中空水冷套,所述中空水冷套貫穿設(shè)置與所述水冷式插板閥;旋轉(zhuǎn)手柄,所述旋轉(zhuǎn)手柄的一端與所述水冷式插板閥連接;所述中空水冷套上設(shè)有觀察窗口以及輔助抽氣口。本實(shí)用新型真空密封裝置能夠?qū)崿F(xiàn)真空空間的有效隔離,同時(shí)通過(guò)觀察窗口能夠目測(cè)空間狀態(tài),避免內(nèi)部空間的工件被切斷,以常見水冷式插板閥為基礎(chǔ),在其一端增加帶有觀察窗口及輔助抽氣口的真空部品,各結(jié)構(gòu)焊接組成,減少了密封處的泄露點(diǎn),水冷連為一路,簡(jiǎn)化了裝置,節(jié)省了物料及人工,便于設(shè)備向小型化、模塊化方向發(fā)展。
文檔編號(hào)C30B35/00GK202247009SQ20112030205
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者宋奇 申請(qǐng)人:上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司
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