3所示的結(jié)構(gòu)。在圖23的承載件D中，作為與承載件C之間的差異點(diǎn)，可列舉出在容器主體5的進(jìn)深側(cè)設(shè)有保持部71。該保持部71與各插槽500相對應(yīng)地設(shè)置，且構(gòu)成為設(shè)有朝向進(jìn)深側(cè)的缺口 72的組件。另外，在蓋體50的背面?zhèn)?朝向容器主體5的一側(cè))設(shè)有保持部73。該保持部73構(gòu)成為設(shè)有朝向蓋體50的表面?zhèn)鹊娜笨?74的組件。將晶圓W的邊緣部保持在形成有這些缺口 72、74的傾斜面上。
[0097]與承載件C同樣地，在該承載件D中也存在如下情況，即，由于輸送時受到的沖擊和在將蓋體50拆卸時的沖擊，如圖24所示，使容器主體5內(nèi)的晶圓W在保持部71的傾斜面上滑動，從而將晶圓W的靠蓋體50的一側(cè)支承為朝向上方。另外，存在如下情況，即，在將蓋體50拆卸時，晶圓W的邊緣部掛在保持部73，從而隨著蓋體50的移動而使晶圓W的位置偏移，其結(jié)果，同樣如圖24所示，使晶圓W的靠蓋體50的一側(cè)朝向下方傾斜。S卩，在使用這樣的承載件D的情況下，所述各實(shí)施方式的檢測方法也是有效的。
[0098]在所述實(shí)施方式中，以光學(xué)方式對晶圓W的高度位置進(jìn)行了檢測，但并不限于此。也可以是，替代所述傳感器對60和反射傳感器68，將超聲波傳感器設(shè)于升降機(jī)構(gòu)61，通過一邊使該超聲波傳感器升降一邊朝向晶圓W照射超聲波，并對與晶圓W碰撞而反射的超聲波進(jìn)行檢測，從而檢測晶圓W的高度位置。另外，也可以是，僅利用反射傳感器68或傳感器對60中的任意一者來檢測晶圓W的高度位置。
[0099]此外，在所述基板處理系統(tǒng)200中，使能在兩個或兩個以上的數(shù)量的裝置之間進(jìn)行映射數(shù)據(jù)的接收和發(fā)送，而能夠如下那樣運(yùn)用系統(tǒng)。首先，針對收納有晶圓W的承載件C，在一個處理裝置中進(jìn)行輸入時映射。在將晶圓W自該承載件C交付到所述一個處理裝置之后，將該承載件C輸送至另一個處理裝置。將所述一個處理裝置的輸入時映射數(shù)據(jù)發(fā)送至所述另一個處理裝置的裝置控制器2。然后，在所述另一個處理裝置中將處理完成后的晶圓W輸送至該承載件C。此時，所述裝置控制器2根據(jù)所述輸入時映射數(shù)據(jù)將另一個裝置的移載機(jī)構(gòu)16設(shè)定在要向承載件C的各插槽進(jìn)入的高度位置。由此，能夠?qū)⒕AW準(zhǔn)確地收納于該承載件C。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板處理裝置，該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對基板進(jìn)行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于將多個基板以呈擱板狀收納的方式輸送，其特征在于， 該基板處理裝置包括: 裝載部，向該裝載部輸入所述輸送容器； 檢測部，其用于對輸入到所述裝載部的、蓋體被拆卸后的輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測； 處理部，其用于對自輸入到所述裝載部的輸送容器取出的基板進(jìn)行處理；以及 控制部，其用于執(zhí)行第I步驟、第2步驟以及第3步驟，在該第I步驟中，在將基板自輸入到所述裝載部的輸送容器向所述處理部交付之前對輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測，在該第2步驟中，在使經(jīng)所述處理部處理過的基板返回到原來的輸送容器之后且在將蓋體關(guān)閉之前，對該輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測，在該第3步驟中，根據(jù)所述第I步驟和第2步驟來對輸送容器是否異常進(jìn)行判斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述檢測部具有光傳感器，該光傳感器能相對于輸送容器相對地升降且具有水平光軸，所述檢測部用于取得將在輸送容器的開口部處的高度位置和光是否透過相關(guān)聯(lián)而得到的信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述控制部在經(jīng)所述第I步驟檢測出基板的收納狀況的異常且經(jīng)第2步驟檢測出與所述第I步驟相同的異常時，判斷為輸送容器異常。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述控制部在經(jīng)所述第2步驟檢測出基板的收納狀況的異常、而經(jīng)第I步驟沒有檢測出基板的收納狀況的異常時，判斷為基板處理裝置內(nèi)的輸送系統(tǒng)異常。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述控制部在經(jīng)所述第I步驟檢測出基板的收納狀況的異常、而經(jīng)第2步驟沒有檢測出基板的收納狀況的異常時，判斷為在輸送容器的輸送中或在將蓋體自輸送容器拆卸時產(chǎn)生了不良。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述控制部在判斷為輸送容器異常時將其判斷結(jié)果報告給上位計算機(jī)。
7.一種基板處理裝置的運(yùn)用方法，其是運(yùn)用以下基板處理裝置的方法:該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對基板進(jìn)行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于將多個基板以呈擱板狀收納的方式輸送，其特征在于， 該基板處理裝置的運(yùn)用方法包括以下工序: 將所述輸送容器輸入到裝載部并將蓋體拆卸的工序； 接著、在將基板交付到處理部之前對輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測的第I檢測工序； 然后、在將基板自所述輸送容器取出并利用處理部對該基板進(jìn)行處理之后將該基板收納在該輸送容器內(nèi)的工序； 之后、在將輸送容器的蓋體關(guān)閉之前對該輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測的第2檢測工序；以及 根據(jù)所述第I檢測工序和第2檢測工序來判斷輸送容器是否異常的判斷工序。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 所述第I檢測工序和第2檢測工序包括以下工序:使用能相對于輸送容器相對地升降且具有水平光軸的光傳感器來取得將在輸送容器的開口部處的高度位置和光是否透過相關(guān)聯(lián)而得到的信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 所述判斷工序包括如下工序:在經(jīng)所述第I檢測工序檢測出基板的收納狀況的異常且經(jīng)第2檢測工序檢測出與所述第I檢測工序相同的異常時，判斷為輸送容器異常。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 該基板處理裝置的運(yùn)用方法包括以下工序:在經(jīng)所述第2檢測工序檢測出基板的收納狀況的異常、而經(jīng)第I檢測工序沒有檢測出基板的收納狀況的異常時，判斷為基板處理裝置內(nèi)的輸送系統(tǒng)異常。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 在經(jīng)所述第I檢測工序檢測出基板的收納狀況的異常、而經(jīng)第2檢測工序沒有檢測出基板的收納狀況的異常時，判斷為在輸送容器的輸送中或?qū)⑸w體自輸送容器拆卸時產(chǎn)生了不良。
12.—種基板處理裝置的運(yùn)用方法，其是運(yùn)用以下基板處理裝置的方法:該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對基板進(jìn)行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于將多個基板以呈擱板狀收納的方式輸送，其特征在于， 該基板處理裝置的運(yùn)用方法包括以下工序: 使經(jīng)一個基板處理裝置處理過的基板返回到置于裝載部的輸送容器中的工序； 之后、在將輸送容器的蓋體關(guān)閉之前對該輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測的輸出時檢測工序； 接著、將所述輸送容器的蓋體關(guān)閉并將該輸送容器輸入到另一個基板處理裝置的裝載部的工序； 然后、將所述輸送容器的蓋體拆卸的工序； 接著、在將基板交付到處理部之前對輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測的輸入時檢測工序；以及 根據(jù)所述輸出時檢測工序和所述輸入時檢測工序來判斷所述輸送容器是否異常的判斷工序。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 所述輸出時檢測工序和所述輸入時檢測工序包括以下工序:使用能相對于輸送容器相對地升降且具有水平光軸的光傳感器來取得將在輸送容器的開口部處的高度位置和光是否透過相關(guān)聯(lián)而得到的信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 所述判斷工序包括如下工序:在經(jīng)所述輸出時檢測工序檢測出基板的收納狀況的異常且經(jīng)所述輸入時檢測工序檢測出與所述輸出時檢測工序相同的異常時，判斷為輸送容器異常。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板處理裝置的運(yùn)用方法，其特征在于， 在經(jīng)所述輸入時檢測工序檢測出基板的收納狀況的異常、而經(jīng)輸出時檢測工序沒有檢測出基板的收納狀況的異常時，判斷為在輸送容器的輸送中或?qū)⑸w體自輸送容器拆卸時產(chǎn)生了不良。
16.一種存儲介質(zhì)，在該存儲介質(zhì)中存儲有在運(yùn)用基板處理裝置的方法中使用的程序，該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對基板進(jìn)行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于將多個基板以呈擱板狀收納的方式輸送，其特征在于， 將所述程序編入，以實(shí)施權(quán)利要求7所述的運(yùn)用方法。
【專利摘要】基板處理裝置包括：裝載部，向該裝載部輸入輸送容器；檢測部，其用于對輸入到裝載部的、蓋體被拆卸后的輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測；處理部，其用于對自輸入到裝載部的輸送容器取出的基板進(jìn)行處理；以及控制部?？刂撇坑糜趫?zhí)行第1步驟、第2步驟以及第3步驟，在該第1步驟中，在將基板自輸入到裝載部的輸送容器向處理部交付之前對輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測，在該第2步驟中，在使經(jīng)處理部處理過的基板返回到原來的輸送容器之后且在將蓋體關(guān)閉之前，對該輸送容器內(nèi)的基板的收納狀況進(jìn)行檢測，在該第3步驟中，根據(jù)第1步驟和第2步驟來對輸送容器是否異常進(jìn)行判斷。
【IPC分類】H01L21-67, H01L21-677
【公開號】CN104854688
【申請?zhí)枴緾N201380063468
【發(fā)明人】森川勝洋, 須中郁雄
【申請人】東京毅力科創(chuàng)株式會社
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2013年12月5日
【公告號】WO2014088078A1