基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)以及輸送容器的異常檢測(cè)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在對(duì)利用輸送容器輸入的基板進(jìn)行處理的裝置中對(duì)輸送容器的異常進(jìn)行監(jiān)視的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造工廠中，將半導(dǎo)體基板收納在輸送容器內(nèi)，并利用自動(dòng)輸送機(jī)器人(AGV)、頂部輸送裝置(OHT)將輸送容器向半導(dǎo)體制造裝置輸送。半導(dǎo)體制造裝置包括:輸送容器的輸入輸出部；以及處理組件，其用于對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行處理。作為輸送容器，主流是在前表面具有蓋體的密閉型的輸送容器，在為12英寸半導(dǎo)體晶圓的情況下，使用被簡(jiǎn)稱(chēng)做FOUP的輸送容器。
[0003]FOUP在由樹(shù)脂制成的輸送容器(容器主體)的前表面上設(shè)有蓋體，該蓋體具有兩個(gè)鍵孔。在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中示出了該結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。所述輸入輸出部通常被稱(chēng)作裝載部，該輸入輸出部具有載物臺(tái)，將FOUP自外部載置到載物臺(tái)上。更詳細(xì)而言，裝載部構(gòu)成為，利用馬達(dá)、氣缸等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將載物臺(tái)按壓于分隔壁，使鍵(開(kāi)閉機(jī)構(gòu))經(jīng)由形成在分隔壁上的開(kāi)口部自裝置側(cè)插入到蓋體的鍵孔中并使鍵旋轉(zhuǎn)，使鍵后退而將蓋體拆卸。
[0004]作為半導(dǎo)體制造裝置而使用與半導(dǎo)體制造工序的各工藝相對(duì)應(yīng)的裝置例如成膜裝置、用于形成掩模圖案的裝置、蝕刻裝置、以及清洗裝置等，利用輸送容器在這些裝置之間依次輸送半導(dǎo)體基板。并且，最近，由于每單位時(shí)間的處理張數(shù)越來(lái)越多，因此，F(xiàn)OUP的使用頻率也變得很高，由此，產(chǎn)生FOUP的不良的概率變高。
[0005]當(dāng)FOUP產(chǎn)生異常時(shí)(產(chǎn)生不良時(shí))，擔(dān)心產(chǎn)生蓋體等零件落下等的故障。于是，能夠設(shè)想，當(dāng)在裝載部產(chǎn)生這樣的故障時(shí)，還存在不得不使半導(dǎo)體制造裝置的生產(chǎn)線的運(yùn)轉(zhuǎn)暫時(shí)中斷的情況，因此能夠想到，優(yōu)選的是，在FOUP發(fā)生異常之前，事先掌握FOUP的狀態(tài)。
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2004 - 119427號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明是考慮到這樣的情況而做出的，其目的在于，提供一種能夠盡早檢測(cè)出用于收納基板并將該基板輸入到基板處理裝置中的輸送容器的異常的技術(shù)。
[0008]本發(fā)明的一技術(shù)方案提供一種基板處理裝置，該基板處理裝置用于自輸送容器取出基板并對(duì)基板進(jìn)行處理，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于收納并輸送多個(gè)基板，其特征在于，該基板處理裝置包括:裝載部，相對(duì)于該裝載部輸入和輸出所述輸送容器；以及裝置控制器，其用于對(duì)所述裝載部中的操作進(jìn)行控制，所述裝置控制器具有:存儲(chǔ)部，其根據(jù)輸送容器的識(shí)別符號(hào)來(lái)存儲(chǔ)自外部發(fā)送過(guò)來(lái)的參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)，所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過(guò)將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個(gè)操作的結(jié)果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關(guān)聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進(jìn)行的操作和為了將該輸送容器自裝載部輸出而進(jìn)行的操作；以及判斷部，在將輸送容器輸入到該基板處理裝置的裝載部之后，該判斷部根據(jù)與該輸送容器的輸入和輸出中的至少一者相對(duì)應(yīng)的所述參數(shù)值以及與該輸送容器有關(guān)的所述參數(shù)值的過(guò)去的推移數(shù)據(jù)來(lái)判斷該輸送容器有無(wú)異常。
[0009]本發(fā)明的另一技術(shù)方案提供一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，該基板處理系統(tǒng)包括:多個(gè)基板處理裝置，該基板處理裝置分別具有裝載部、基板處理部和裝置控制器，相對(duì)于該裝載部輸入和輸出輸送容器，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于收納并輸送多個(gè)基板，該基板處理部用于對(duì)自輸入到該裝載部的輸送容器取出的基板進(jìn)行處理，該裝置控制器用于對(duì)所述裝載部中的操作進(jìn)行控制；以及主計(jì)算機(jī)，其用于與所述多個(gè)基板處理裝置分別進(jìn)行通信，所述主計(jì)算機(jī)包括:存儲(chǔ)部，其用于根據(jù)輸送容器的識(shí)別符號(hào)來(lái)存儲(chǔ)自外部發(fā)送過(guò)來(lái)的參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)，所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過(guò)將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個(gè)操作的結(jié)果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關(guān)聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進(jìn)行的操作和為了將該輸送容器自裝載部輸出而進(jìn)行的操作中的至少一個(gè)操作；以及判斷部，在將輸送容器輸入到基板處理裝置的裝載部之后，該判斷部根據(jù)與該輸送容器的輸入和輸出中的至少一者相對(duì)應(yīng)的所述參數(shù)值以及與該輸送容器有關(guān)的所述參數(shù)值的過(guò)去的推移數(shù)據(jù)來(lái)判斷該輸送容器有無(wú)異常。
[0010]本發(fā)明的又一技術(shù)方案提供一種輸送容器的異常檢測(cè)方法，在該異常檢測(cè)方法中，檢測(cè)輸送容器的異常，該輸送容器的容器主體的前表面的基板取出口能被蓋體氣密地封堵，該輸送容器用于收納并輸送多個(gè)基板，其特征在于，該輸送容器的異常檢測(cè)方法包括以下工序:向用于對(duì)自所述輸送容器取出的基板進(jìn)行處理的基板處理裝置的裝載部輸入輸送容器的工序；自所述裝載部輸出輸送容器的工序；以及用于根據(jù)輸送容器的識(shí)別符號(hào)來(lái)存儲(chǔ)自外部發(fā)送過(guò)來(lái)的參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)的工序，所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過(guò)將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個(gè)操作的結(jié)果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關(guān)聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進(jìn)行的操作和為了將該輸送容器自裝載部輸出而進(jìn)行的操作；以及根據(jù)所述參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)來(lái)判斷輸送容器有無(wú)異常的工序。將蓋體安裝于容器主體的動(dòng)作包含在為了將輸送容器自裝載部輸出而進(jìn)行的動(dòng)作中。
[0011]采用本發(fā)明，根據(jù)輸送容器的識(shí)別符號(hào)來(lái)存儲(chǔ)參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)，該參數(shù)值的推移數(shù)據(jù)是通過(guò)將該輸送容器的使用次數(shù)與將以下操作中的至少一個(gè)操作的結(jié)果數(shù)值化而得到的參數(shù)值相關(guān)聯(lián)而得到的，即，為了向裝載部輸入所述輸送容器并將蓋體拆卸而進(jìn)行的操作和為了將所述蓋體安裝于容器主體并該輸送容器自裝載部輸出而進(jìn)行的操作。并且，在將輸送容器輸入到裝載部之后，根據(jù)所述推移數(shù)據(jù)以及由該輸送容器的相對(duì)于該裝載部的輸入和輸出中的至少一者獲得的參數(shù)值來(lái)判斷該輸送容器有無(wú)異常。通過(guò)采用這種方式，能夠盡早檢測(cè)出輸送容器的異常。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是表示作為應(yīng)用本發(fā)明的基板處理裝置的涂敷顯影裝置的立體圖。
[0013]圖2是包括所述涂敷顯影裝置和主計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
[0014]圖3是所述涂敷顯影裝置的承載組件的側(cè)視圖。
[0015]圖4是所述涂敷顯影裝置的承載組件的側(cè)視圖。
[0016]圖5是所述承載組件的開(kāi)閉門(mén)和承載件的立體圖。
[0017]圖6是表示所述開(kāi)閉門(mén)的開(kāi)閉動(dòng)作的說(shuō)明圖。
[0018]圖7是表示所述開(kāi)閉門(mén)的開(kāi)閉動(dòng)作的說(shuō)明圖。
[0019]圖8是表示所述開(kāi)閉門(mén)的開(kāi)閉動(dòng)作的說(shuō)明圖。
[0020]圖9是表示所述承載件的旋轉(zhuǎn)部的旋轉(zhuǎn)的說(shuō)明圖。
[0021]圖10是表示裝置控制器的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0022]圖11是表示承載件的使用次數(shù)的一個(gè)例子與扭矩值之間的關(guān)系的一個(gè)例子的圖。
[0023]圖12是表示夾持時(shí)間與承載件的使用次數(shù)之間的關(guān)系的一個(gè)例子的圖。
[0024]圖13是表示夾持時(shí)間與承載件的使用次數(shù)之間的關(guān)系的一個(gè)例子的圖。
[0025]圖14是表示所述裝置控制器的動(dòng)作的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]參照?qǐng)D1說(shuō)明作為本發(fā)明的基板處理裝置的一個(gè)例子的涂敷顯影裝置I。圖1是所述涂敷顯影裝置I的立體圖。涂敷顯影裝置I設(shè)置在半導(dǎo)體制造工廠內(nèi)的潔凈室內(nèi)，是通過(guò)將承載組件E1、處理組件E2、以及轉(zhuǎn)接組件E3呈直線狀連接而構(gòu)成的。轉(zhuǎn)接組件E3在與處理組件E2相反的一側(cè)連接有曝光裝置E4。涂敷顯影裝置I的外側(cè)是收納有多個(gè)作為基板的晶圓W的承載件C的輸送區(qū)域11。后述的承載件輸送機(jī)構(gòu)12在該輸送區(qū)域11中輸送承載件C。承載件C是例如被稱(chēng)作FOUP的輸送容器。
[0027]先簡(jiǎn)單地說(shuō)明各組件的作用。承載組件El是用于在與承載件輸送機(jī)構(gòu)12之間交接承載件C的組件。另外，承載組件El用于在輸送到該承載組件El上的承載件C與處理組件E2之間交接晶圓W。在后面詳細(xì)敘述承載組件E1。
[0028]處理組件E2是用于對(duì)晶圓W進(jìn)行抗蝕劑涂敷處理、顯影處理等各種液處理、加熱處理的組件。曝光裝置E4用于將利用處理組件E2形成于晶圓W的抗蝕膜曝光。轉(zhuǎn)接組件E3用于在處理組件E2與曝光裝置E4之間交接晶圓W。自承載件C輸出后的晶圓W在處理組件E2中依次受到抗蝕劑涂敷處理、加熱處理之后，被在曝光裝置E4中曝光，并在處理組件E2中依次受到加熱處理、顯影處理之后返回到所述承載件C。
[0029]在例如承載組件El的側(cè)面設(shè)有用于對(duì)涂敷顯影裝置I的各部分的動(dòng)作進(jìn)行控制的裝置控制器2。裝置控制器2是計(jì)算機(jī)，其對(duì)各部分發(fā)送控制信號(hào)。承載組件El的各部分接收到該控制信號(hào)而被控制，以進(jìn)行后述的晶圓W的輸入動(dòng)作和將晶圓W自承載件C輸出的輸出動(dòng)作。另外，各組件El?E3接收到該控制信號(hào)，由此被控制，以如上所述那樣在各組件之間輸送晶圓W并對(duì)晶圓W進(jìn)行處理。
[0030]在所述潔凈室內(nèi)，如圖2所示那樣設(shè)有多個(gè)涂敷顯影裝置I，各涂敷顯影裝置I的裝置控制器2與主計(jì)算機(jī)20相連接而構(gòu)成基板處理系統(tǒng)200。