技術(shù)編號(hào)：8531970
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體制造工廠中，將半導(dǎo)體基板收納在輸送容器內(nèi)，并利用自動(dòng)輸送機(jī)器人(AGV)、頂部輸送裝置(OHT)將輸送容器向半導(dǎo)體制造裝置輸送。半導(dǎo)體制造裝置包括輸入輸出部，其用于將輸送容器的半導(dǎo)體輸入到裝置內(nèi)、自裝置內(nèi)輸出；以及處理組件，其用于對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行處理。作為輸送容器，主流是在前表面具有蓋體的密閉型的輸送容器，在為12英寸半導(dǎo)體晶圓的情況下，使用被簡(jiǎn)稱做FOUP的輸送容器。FOUP在由樹脂制成的輸送容器(容器主體)的前表面上設(shè)有蓋體，并具有形成于蓋體的...
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