1.一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s5中,所述硅拋光液,按體積分數(shù)計,其原料配比為:
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s3中,步驟s5中,所述cmp精拋的工藝條件為:拋光盤的轉(zhuǎn)速為26-33r/min,溫度為25-30℃,拋光速率為0.8-1um/min,拋光壓力為0.8-1.2n/cm2,時間為10-20s,拋光墊選取帶絨毛的無紡布,拋光量為10-20nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s6中,所述處理液為水、h2o2與hcl按體積比10:1:2配制而成,水為去離子水,處理時間為150-200s;
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s4中,在制備所述隧穿層之后,在遂穿層的背面制備摻雜p型材料的非晶硅層,再對硅片進行退火處理,以制得p+poly層;
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s3中,采用koh溶液進行所述堿拋光,koh溶液為水與koh按體積比18-25:1配制而成;堿拋光的時間為250-350s、溫度為45-65℃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s2中,還包括采用所述單面酸洗來去除硅片邊緣因摻雜擴散所產(chǎn)生的繞鍍;
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s1中,在摻雜擴散之前,先對硅片進行制絨,以使硅片的表面形成絨面陷光結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的制備方法,其特征在于,步驟s7中,所述背面鈍化膜還包括沉積于al2o3膜背面的背面氮化硅膜;所述正面鈍化膜為和正面氮化硅膜;所述背面鈍化膜為背面氮化硅膜。
10.一種太陽能電池,其特征在于,其采用權(quán)利要求1-9任一項所述的一種太陽能電池的制備方法制得。