技術(shù)編號：40575385
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及太陽電池，具體涉及一種太陽能電池及其制備方法。背景技術(shù)、在p型太陽能電池(如p-perc電池、p-topcon電池)中，通過在硅片正面摻磷制備n發(fā)射極，在硅片背面制備p發(fā)射極(如ppoly層)。、其中，ppoly層的背面通常會制備一層帶負電的極性材料膜(即alo膜)作為ppoly層的鈍化膜。而alo膜通常采用ald(原子層沉積)法制備，其制備原料為tma(三甲基鋁)，制備過程中的氧則一般采用水氧的方式獲得，也即以水作為alo膜中氧的來源。在制備alo膜時，...
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