一種用于放置片狀元件的托盤的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種用于放置片狀元件的托盤。
【背景技術(shù)】
[0002]異質(zhì)結(jié)太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池。在異質(zhì)結(jié)太陽能電池的制備工藝中，包括清洗制絨、PECVD、物理氣相沉積、絲網(wǎng)印刷、退火等工藝步驟;其中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposit1n，簡稱PECVD)是最核心的工藝之一。在PECVD工藝過程中需要用到承載硅片的托盤，如圖1和圖2所示，包括基板10，基板的表面設(shè)置有若干用于承載硅片的凹槽20。在PECVD工藝過程中，首先，機(jī)械手將硅片放置在托盤的凹槽20內(nèi)；之后，將托盤傳送至PECVD設(shè)備內(nèi)對硅片的上表面進(jìn)行鍍膜;然后，將硅片翻面，對硅片的上表面進(jìn)行鍍膜;在鍍膜工藝完成后，托盤被傳出PECVD設(shè)備，由機(jī)械手將硅片從托盤上抓取至傳送帶，進(jìn)行下一工藝。在這個(gè)過程中，機(jī)械手需要多次將硅片放置在托盤的凹槽內(nèi)，多次從托盤的凹槽內(nèi)抓取硅片。由于凹槽槽壁的存在，機(jī)械手會與凹槽槽壁多次接觸，一方面，導(dǎo)致機(jī)械手對硅片放置和抓取的效率低，另一方面，導(dǎo)致托盤容易損壞。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提供了一種用于放置片狀元件的托盤，與現(xiàn)有技術(shù)相比，解決了外部的機(jī)械手將片狀元件放置在托盤上和從托盤上抓取時(shí)效率低且托盤易被損壞的技術(shù)問題。
[0004]本實(shí)用新型公開了以下技術(shù)方案:
[0005]—種用于放置片狀元件的托盤，包括:
[0006]基板；
[0007]固定在所述基板第一表面的限位組件，所述限位組件包括至少三個(gè)分離的阻擋件且每個(gè)所述阻擋件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位組件的阻擋件之間用于放置片狀元件且所述阻擋件用于阻擋放置在所述阻擋件之間的片狀元件沿所述基板第一表面移出所述阻擋件之間。
[0008]優(yōu)選的，所述限位組件的阻擋件之間用于放置圓形片狀元件時(shí)，所述限位組件的阻擋件位于同一個(gè)圓的圓周上且任意相鄰兩個(gè)阻擋件所在弧的圓心角小于180度。
[0009]優(yōu)選的，所述限位組件的阻擋件之間用于放置多邊形片狀元件時(shí)，所述多邊形片狀元件每個(gè)邊的外側(cè)對應(yīng)至少一個(gè)所述阻擋件。
[0010]優(yōu)選的，所述多邊形片狀元件是方形片狀元件，所述限位組件的阻擋件至少為四個(gè)且分別設(shè)置在所述方形片狀元件的四個(gè)邊的外側(cè)。
[0011 ]優(yōu)選的，四個(gè)所述阻擋件兩兩相對設(shè)置且每個(gè)阻擋件設(shè)置在與之對應(yīng)的所述方形片狀元件的每個(gè)邊的中間位置的外側(cè)。
[0012]優(yōu)選的，所述限位組件是多個(gè)且呈陣列排布。
[0013]優(yōu)選的，相鄰行的所述限位組件在相鄰的位置共用一個(gè)所述阻擋件，相鄰列的所述限位組件在相鄰的位置共用一個(gè)所述阻擋件。
[0014]優(yōu)選的，所述阻擋件的邊緣為倒邊或所述阻擋件的端部是倒角。
[0015]優(yōu)選的，所述阻擋件和所述基板第一表面通過粘接劑固定。
[0016]優(yōu)選的，所述阻擋件和所述基板第一表面通過硅膠固定。
[0017]優(yōu)選的，所述阻擋件的厚度是之間的任一值。
[0018]優(yōu)選的，所述阻擋件的厚度是0.7mm。
[0019]優(yōu)選的，所述基板是玻璃基板，所述阻擋件是玻璃阻擋件或陶瓷阻擋件。
[0020]本實(shí)用新型的用于放置片狀元件的托盤，包括基板和固定在基板第一表面的限位組件，限位組件包括至少三個(gè)分離的阻擋件且每個(gè)所述阻擋件凸出固定在所述基板第一表面，每個(gè)所述限位組件的阻擋件之間用于放置片狀元件且所述阻擋件用于阻擋放置在所述阻擋件之間的片狀元件沿所述基板第一表面移出所述阻擋件之間。這樣，外部的機(jī)械手可以自上而下在每個(gè)限位組件的阻擋件之間放置片狀元件，可以自下而上從每個(gè)限位組件的阻擋件之間取出片狀元件，當(dāng)片狀元件放置在限位組件的阻擋件之間時(shí)，由于阻擋件的存在，可以阻擋片狀元件沿所述基板第一表面移出所述阻擋件之間，即每個(gè)所述限位組件的阻擋件之間可以對片狀元件進(jìn)行限位；由于所述限位組件的阻擋件之間是分離設(shè)置的，即阻擋件之間是有存在間隔的，這樣，在外部的機(jī)械手對片狀元件放置和抓取的過程中，外部的機(jī)械手可以通過阻擋件之間間隔進(jìn)行放置和抓取，減少了機(jī)械手與托盤的接觸，提高了外部的機(jī)械手放置和抓取片狀元件的效率，同時(shí)，托盤不容易損壞，提高了托盤的使用壽命ο
【附圖說明】
[0021]圖1為現(xiàn)有的托盤的俯視圖；
[0022]圖2為圖1托盤的Α-Α剖視圖；
[0023]圖3是本實(shí)用新型的放置了正方形片狀元件的托盤的局部示意圖；
[0024]圖4是本實(shí)用新型的放置了正方形片狀元件的托盤的俯視圖；
[0025]圖5是圖4所示放置了正方形片狀元件的托盤的Β-Β剖視圖；
[0026]圖6是本實(shí)用新型的放置了圓形片狀元件的托盤的局部示意圖。
[0027]附圖標(biāo)記:
[0028]10基板，20凹槽；
[0029]100基板，110基板第一表面，
[0030]200 阻擋件，
[0031]300片狀元件。
【具體實(shí)施方式】
[0032]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0033]實(shí)施例一
[0034]本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種用于放置制備太陽能電池用片狀元件300如硅片的托盤，如圖3，圖4和圖5所示，包括:
[0035]基板100;
[0036]固定在基板第一表面110的限位組件，限位組件包括至少三個(gè)分離的阻擋件200且每個(gè)阻擋件200凸出固定在基板第一表面110，限位組件的阻擋件200之間用于放置片狀元件300且阻擋件200用于阻擋放置在阻擋件200之間的片狀元件300沿基板第一表面110移出阻擋件200之間。
[0037]需要說明的是，在本實(shí)施例中，是以用于放置制備太陽能電池用硅片的托盤為例進(jìn)行說明的，但是不限于硅片，只要是片狀元件且需要采用機(jī)械手進(jìn)行放置和抓取，都可以采用本實(shí)施例結(jié)構(gòu)的托盤，如可以是片形的瓷磚，玻璃板，木板，金屬板等等。
[0038]本實(shí)施例的托盤，包括基板和固定在基板第一表面的限位組件，限位組件包括至少三個(gè)分離的阻擋件且每個(gè)阻擋件凸出固定在基板第一表面，每個(gè)限位組件的阻擋件之間用于放置片狀元件且阻擋件用于阻擋放置在阻擋件之間的片狀元件沿基板第一表面移出阻擋件之間。這樣，外部的機(jī)械手可以自上而下在每個(gè)限位組件的阻擋件之間放置片狀元件，可以自下而上從每個(gè)限位組件的阻擋件之間取出片狀元件，當(dāng)片狀元件放置在限位組件的阻擋件之間時(shí)，由于阻擋件的存在，可以阻擋片狀元件沿基板第一表面移出阻擋件之間，即每個(gè)限位組件的阻擋件之間可以對片狀元件進(jìn)行限位；由于限位組件的阻擋件之間是分離設(shè)置的，即阻擋件之間是有存在間隔的，這樣，在外部的機(jī)械手對片狀元件放置和抓取的過程中，外部的機(jī)械手可以通過阻擋件之間間隔進(jìn)行放置和抓取，減少了機(jī)械手與托盤的接觸，提高了外部的機(jī)械手放置和抓取片狀元件的效率，同時(shí)，托盤不容易損壞，提高了托盤的使用壽命。
[0039]同時(shí)，阻擋件的存在，外部的機(jī)械手可以通過阻擋件的位置，精確得到片狀元件的位置，為實(shí)現(xiàn)片狀元件放置、抓取和翻面的自動化提供了條件，保證了太陽能電池的制備工藝的連續(xù)性和一致性，提高了制備太陽能電池的效率。
[0040]具體的，基板可以是采用玻璃基板。選用玻璃基板作為基板，是為了滿足太陽能電池的制備工藝中對基板耐高溫、不易變形、不影響產(chǎn)品性能、成本低的需求，同時(shí)，玻璃基板與太陽能電池的制備工藝中的其他設(shè)備的兼容性好，重復(fù)使用率高，穩(wěn)定性好，清洗工藝簡單。作為一種優(yōu)選的尺寸，基板的尺寸為2600mmX 2200mm，厚度為3?4mm?；逄绊懲斜P強(qiáng)度和耐高溫的脆性，太厚會導(dǎo)致托盤重量加重，影響托盤的正常運(yùn)輸，也會影響產(chǎn)品的電池性能。
[0041 ]具體的，阻擋件優(yōu)選采用玻璃阻擋件，如可以直接采用載玻片作為阻擋件。這樣，玻璃阻擋件與玻璃基板之間的粘接固定更容易實(shí)現(xiàn)且更牢固。
[0042]阻擋件還可以是耐高溫的陶瓷阻擋件，還