可以是耐高溫的工程塑料的阻擋件。
[0043]常見的硅片的形狀是圓形，方形，其中方形包括正方形和長方形。根據(jù)硅片的形狀，只要設(shè)置每個限位組件的阻擋件的位置使放置在阻擋件之間的硅片不能沿基板的第一表面從阻擋件之間移出即可，每個限位組件的阻擋件的數(shù)量和具體設(shè)置位置可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。
[0044]如圖3所示，當(dāng)硅片是方形時，限位組件的阻擋件200是四個且阻擋件分別設(shè)置在方形片狀元件的每個邊的外側(cè)。
[0045]這樣，方形的硅片可以放置在限位組件的四個阻擋件之間，四個阻擋件從上下左右四個方向阻擋硅片沿基板的第一表面從限位組件的四個阻擋件之間移出。
[0046]進(jìn)一步的，如圖3所示，限位組件的四個阻擋件200兩兩相對設(shè)置且每個阻擋件設(shè)置在與之對應(yīng)的所述方形片狀元件的每個邊的中間位置的外側(cè)。這樣，在限位組件的阻擋件之間放置和抓取硅片時，相鄰邊上的阻擋件之間的間隔相同，便于外部的機(jī)械手對片狀元件的放置和抓取;同時，也便于托盤的加工制造。
[0047]需要說明的是，在本實(shí)施例中，是以片狀元件是方形片狀元件，限位組件的四個阻擋件兩兩相對設(shè)置且每個阻擋件設(shè)置在與之對應(yīng)的所述方形片狀元件的每個邊的中間位置的外側(cè)為例進(jìn)行說明的，但不限于此，如果片狀元件是其他多邊形，多邊形片狀元件每個邊的外側(cè)對應(yīng)至少一個所述阻擋件即可。
[0048]進(jìn)一步的，如圖3所示，兩兩相對的阻擋件200之間的距離略大于方形硅片的邊長，這樣，可以方便外部的機(jī)械手對片狀元件的放置和抓取。
[0049]進(jìn)一步的，如圖4所示，限位組件是多個且呈陣列排布。多個限位組件是按照陣列排布，即限位組件是按規(guī)律排列的，外部的機(jī)械手按照排列的規(guī)律，精確得到片狀元件的位置，為實(shí)現(xiàn)片狀元件放置，抓取和翻面的自動化提供了條件，保證了太陽能電池的制備工藝的連續(xù)性和一致性；同時，可以簡化托盤的制造工藝。
[0050]為了減少阻擋件的數(shù)量，同時，有效提高基板第一表面的利用率，作為一種優(yōu)選的方式，陣列排布的限位組件可以采用如圖4所示的，相鄰行的限位組件在相鄰的位置共用一個阻擋件，相鄰列的限位組件在相鄰的位置共用一個阻擋件。
[0051]這樣，減少了阻擋件的數(shù)量，節(jié)約了基板第一表面的空間。在第一基板的尺寸不變的條件下，可以設(shè)置更多的限位組件，即可以放置更多的片狀元件，最大化的利用了基板第一表面。由于在托盤進(jìn)入PECVD設(shè)備后，鍍膜是針對托盤的整個上表面進(jìn)行的，片狀元件之間的間隔越小，對PECVD設(shè)備中鍍膜材料的浪費(fèi)越小，因此，提高了 PECVD設(shè)備中鍍膜材料的利用率。
[0052]阻擋件的形狀可以是多種形狀的，作為一種優(yōu)選的方式，如圖3所示，阻擋件可以是長條形阻擋件;長片形阻擋件的一個長條形的底面與基板的第一表面固定;每個長條形阻擋件的長邊朝向限位組件的阻擋件之間內(nèi)。優(yōu)選的，通過合理設(shè)置長條形阻擋件的尺寸，尤其是減小長條形阻擋件的厚度，減少PECVD工藝中的擾射，從而提高太陽能電池的性能，如長條形阻擋件的厚度小于1mm。具體的，長條形阻擋件的尺寸長X寬可以是10_X 10mm，20mm X 10mm，30mm X 1 0mm , 40mm X 10mm，厚度為0.2mm?1mm之間的任一值。厚度在0.2mm?1mm之間任一值的阻擋件，一方面，厚度足夠大，可以有效的阻擋片狀元件，另一方面，厚度適宜，減少PECVD工藝中的擾射，從而提高太陽能電池的性能。作為一種優(yōu)選的阻擋件厚度，還可以是0.7mm。
[0053]每個長條形阻擋件的長邊朝向限位組件的阻擋件之間，長條形阻擋件的長邊是與片狀元件的邊緣相對的，對片狀元件的固定和限位作用更好；同時，相鄰的片狀元件之間的間隔較小。
[0054]作為一種優(yōu)選的方式，阻擋件的邊緣為倒邊或阻擋件的端部是倒角。這樣，可以減少阻擋件將片狀元件劃傷風(fēng)險。
[0055]具體的，阻擋件和基板第一表面可以通過粘接劑固定。粘接劑的主要作用是粘貼阻擋件，托盤要在PECVD設(shè)備中工作，因此還需要耐200°C以上的高溫、耐化學(xué)腐蝕，且能耐等離子體化學(xué)沖擊在PECVD工藝不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的粘結(jié)劑，如可以是耐200°C以上的高溫、耐化學(xué)腐蝕的硅膠。
[0056]實(shí)施例二
[0057]本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種用于放置制備太陽能電池用硅片的托盤，與實(shí)施例一的區(qū)別在于:
[0058]當(dāng)硅片是圓形時，限位組件的阻擋件200位于同一個圓的圓周且任意相鄰兩個阻擋件所在弧的圓心角小于180度。
[0059]具體的，可以是如圖6所示，限位組件的阻擋件最少是三個且任意相鄰兩個阻擋件所在弧的圓心角為120度。這樣，限位組件的阻擋件的數(shù)量最少，減少了托盤制作工藝的復(fù)雜程度。此時，實(shí)施例一中的特征“陣列排布的限位組件的相鄰行的限位組件在相鄰的位置共用一個阻擋件，相鄰列的限位組件在相鄰的位置共用一個阻擋件”不適用。
[0060]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，包括: 基板； 固定在所述基板第一表面的限位組件，所述限位組件包括至少三個分離的阻擋件且每個所述阻擋件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位組件的阻擋件之間用于放置片狀元件且所述阻擋件用于阻擋放置在所述阻擋件之間的片狀元件沿所述基板第一表面移出所述阻擋件之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述限位組件的阻擋件之間用于放置圓形片狀元件時，所述限位組件的阻擋件位于同一個圓的圓周上且任意兩個相鄰的阻擋件所在弧的圓心角小于180度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述限位組件的阻擋件之間用于放置多邊形片狀元件時，所述多邊形片狀元件每個邊的外側(cè)對應(yīng)至少一個所述阻擋件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述多邊形片狀元件是方形片狀元件，所述限位組件的阻擋件至少為四個且分別設(shè)置在所述方形片狀元件的四個邊的外側(cè)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，四個所述阻擋件兩兩相對設(shè)置且每個阻擋件設(shè)置在與之對應(yīng)的所述方形片狀元件的每個邊的中間位置的外側(cè)。6.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述限位組件是多個且呈陣列排布。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，相鄰行的所述限位組件在相鄰的位置共用一個所述阻擋件，相鄰列的所述限位組件在相鄰的位置共用一個所述阻擋件。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述阻擋件的邊緣為倒邊或所述阻擋件的端部是倒角。9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述阻擋件和所述基板第一表面通過粘接劑固定。10.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述阻擋件和所述基板第一表面通過硅膠固定。11.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述阻擋件的厚度是0.2mm?1mm之間的任一值。12.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述阻擋件的厚度是0.7mm。13.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的用于放置片狀元件的托盤，其特征在于，所述基板是玻璃基板，所述阻擋件是玻璃阻擋件或陶瓷阻擋件。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于放置片狀元件的托盤，包括：基板；固定在所述基板第一表面的限位組件，所述限位組件包括至少三個分離的阻擋件且每個所述阻擋件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位組件的阻擋件之間用于放置片狀元件且所述阻擋件用于阻擋放置在所述阻擋件之間的片狀元件沿所述基板第一表面移出所述阻擋件之間。本實(shí)用新型的用于放置片狀元件的托盤，與現(xiàn)有技術(shù)相比，解決了外部的機(jī)械手將片狀元件放置在托盤上和從托盤上抓取時效率低且托盤易被損壞的技術(shù)問題。
【IPC分類】H01L21/687, H01L31/18, H01L21/673
【公開號】CN205081103
【申請?zhí)枴緾N201520915321
【發(fā)明人】代智杰, 房現(xiàn)飛, 周廣福, 王曉娜, 張武科, 劉春岐, 孟原, 郭鐵
【申請人】新奧光伏能源有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年11月17日