技術編號：10170717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。異質結太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池。在異質結太陽能電池的制備工藝中，包括清洗制絨、PECVD、物理氣相沉積、絲網印刷、退火等工藝步驟;其中，等離子體增強化學氣相沉積工藝(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposit1n，簡稱PECVD)是最核心的工藝之一。在PECVD工藝過程中需要用到承載硅片的托盤，如圖1和圖2所示，包括基板10，基板的表面設置有若干用于承載硅片的凹槽20。在PECVD工藝...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。