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一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置的制作方法

文檔序號(hào):11197182閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置,包括圓盤底座,圓盤底座的上表面均勻布設(shè)有兩組以上的圓柱支撐塊,每組的圓柱支撐塊為兩個(gè),圓盤底座的外緣均勻布設(shè)有兩個(gè)以上的加強(qiáng)筋,圓柱支撐塊上固定連接有導(dǎo)軌,所述加強(qiáng)筋的上平面連接導(dǎo)軌的下底面,導(dǎo)軌上部的兩側(cè)面上均標(biāo)注有刻度;導(dǎo)軌的上部滑動(dòng)式連接有移動(dòng)滑塊,移動(dòng)滑塊的底部開設(shè)有與導(dǎo)軌的上部相匹配的等腰梯形滑槽,移動(dòng)滑塊的前端固定連接有連桿,所述連桿的一端固定連接有定位元件,定位元件的下部開設(shè)有凹槽。本實(shí)用新型可以滿足不同直徑晶圓的傳輸,降低了操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)研發(fā)人員:楊樂;陳魯;劉濤;馬硯忠;黃有為;張鵬斌;龐芝亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳中科飛測科技有限公司
文檔號(hào)碼:201720185122
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.28
技術(shù)公布日:2017.09.29

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