1.一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，包括圓盤底座，其特征在于，所述圓盤底座的上表面均勻布設(shè)有兩組以上的圓柱支撐塊，每組的圓柱支撐塊為兩個(gè)，每組的兩個(gè)圓柱支撐塊不在同一圓周但在同一中心線上，圓盤底座的外緣均勻布設(shè)有兩個(gè)以上的加強(qiáng)筋，圓盤底座的上表面和加強(qiáng)筋的上表面在同一平面上，圓柱支撐塊上固定連接有導(dǎo)軌，所述加強(qiáng)筋的上平面連接導(dǎo)軌的下底面，導(dǎo)軌上部的豎截面呈等腰梯形、下部的豎截面呈矩形，導(dǎo)軌上部的兩側(cè)面上均標(biāo)注有刻度；導(dǎo)軌的上部滑動式連接有移動滑塊，移動滑塊的底部開設(shè)有與導(dǎo)軌的上部相匹配的等腰梯形滑槽，移動滑塊的前端固定連接有連桿，所述連桿的一端固定連接有定位元件，所述定位元件的上部呈半圓臺形、下部呈半圓柱形，定位元件的下部開設(shè)有凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，其特征在于，所述圓盤底座的中心開設(shè)有沉頭孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌的上平面開設(shè)有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔分別與每組的圓柱支撐塊連接，第一通孔和第二通孔的中心距等于每組的兩個(gè)圓柱支撐塊的中心距。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，其特征在于，所述移動滑塊的下部開設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)布設(shè)有限位螺釘。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式晶圓自中心定位裝置，其特征在于，所述圓柱支撐塊為三組，相鄰兩組的圓柱支撐塊之間的夾角為120°。