技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明主要屬于離子束流調(diào)節(jié)裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種離子束流調(diào)節(jié)裝置。包括鐵芯、極頭、第一線圈和第二線圈，所述鐵芯包括上鐵芯塊、下鐵芯塊、前鐵芯塊和后鐵芯塊，所述上鐵芯塊和所述下鐵芯塊的前后兩端分別通過前鐵芯塊和后鐵芯塊連接，所述上鐵芯塊、所述下鐵芯塊、所述前鐵芯塊和所述后鐵芯塊的內(nèi)側(cè)面共同界定形成貫通孔；所述離子束流調(diào)節(jié)裝置還包括依次堆疊套設(shè)在所述前鐵芯塊上的第三線圈和依次堆疊套設(shè)在所述后鐵芯塊上的第四線圈。本發(fā)明所述離子束流調(diào)節(jié)裝置不僅能夠使束流通過時(shí)帶狀束流的截面形狀保持直線形狀，而且能夠調(diào)節(jié)束流在高度方向上的均勻性，以滿足束流傳輸和注入的要求。

技術(shù)研發(fā)人員：錢鋒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞帕薩電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.02
技術(shù)公布日：2017.09.29