技術(shù)特征：

1.一種三維LiMn₂O₄薄膜正電極的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）以Li過量的LiMn₂O₄材料作為靶材，安裝好靶材和基片，關(guān)閉磁控濺射腔室，將腔室抽真空至1×10^-4Pa或以下，將基片加熱至25～900℃，并通入36sccm氬氣和4sccm的氧氣，再將腔室內(nèi)氣體壓強(qiáng)調(diào)節(jié)到0.2～2Pa；

（2）設(shè)定直流濺射功率2W/cm²～6W/cm²，靶基距40mm～120mm，預(yù)濺射5～20min，以清理靶材表面的雜質(zhì)，濺射時間為1～10h，在基片上得到三維LiMn₂O₄薄膜；

（3）對上述得到的三維LiMn₂O₄薄膜進(jìn)行退火處理，退火溫度500～800℃，退火時間0～4h。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維LiMn₂O₄薄膜正電極的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，靶材為LiMn₂O₄、LiCoO₂、LiNi_xMn_1-xO₂(0<x<1)、LiNi_xCo_1-xO₂(0<x<1)、LiNi_1-x-yCo_xMn_yO₂(0<x<1, 0<y<1)或LiNiO₂正極靶材。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維LiMn₂O₄薄膜正電極的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，基片為不銹鋼箔、硅片或聚合物基片；所述基片預(yù)先進(jìn)行鍍金或鉑薄膜，厚度為100～500nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維LiMn₂O₄薄膜正電極的制備方法，其特征在于，所述聚合物基片為聚酰亞胺薄膜、云母片或玻璃。

5.一種三維全固態(tài)薄膜鋰離子電池的制備方法，其特征在于，在權(quán)利要求1所述的制備方法得到的三維正極薄膜上依次鍍上固態(tài)電解質(zhì)薄膜、負(fù)極薄膜、負(fù)極集流體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維全固態(tài)薄膜鋰離子電池的制備方法，其特征在于，所述固態(tài)電解質(zhì)包括晶體形無機(jī)固體電解質(zhì)、玻璃態(tài)及無定形無機(jī)固體電解質(zhì)、復(fù)合鋰離子無機(jī)固體電解質(zhì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維全固態(tài)薄膜鋰離子電池的制備方法，其特征在于，所述負(fù)極為TiO₂、Si、Sn或金屬Li。