，分別得到如圖4所示的上/下表面球心環(huán)像16，通過分析確定出上下兩個面形成的上/下表面球心環(huán)像16的中心點相對位置的數(shù)值，即得出非球面上下兩個表面的相對水平位移偏心數(shù)值；
2)檢測非球面鏡片5上表面相對于非球面鏡片5外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)B9打開，關閉激光光學系統(tǒng)A1的光源，但不關閉激光光學系統(tǒng)A1的接收裝置，激光光學系統(tǒng)B9的激光束B11穿過被測非球面鏡片5時，部分光被被測非球面鏡片5的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)A1的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，如圖6所示，之后將圖4所示的上/下表面球心環(huán)像16的中心點與圖6所示的邊緣輪廓影像重疊，即得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值；
3)檢測非球面鏡片5下表面對于非球面鏡片非球面鏡片5外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)A1打開，關閉激光光學系統(tǒng)B9的光源，但不關閉激光光學系統(tǒng)B9的接收裝置，激光光學系統(tǒng)A1的激光束A4穿過被測非球面鏡片5時，部分光被被測非球面鏡片5的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)B9的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，如圖5所示，之后將圖4所示的上/下表面球心環(huán)像16的中心點與圖5所示的邊緣輪廓的影像重疊，即可得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值；
4)檢測非球面鏡片5整體傾斜數(shù)值的時，將激光光學系統(tǒng)A1打開，并且觀察平面環(huán)13的反射干涉圖形，如圖5所示，之后通過計算干涉條紋，得出被測非球面鏡片5的整體傾斜情況。
[0015]以上所述及圖中所示的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應視為屬于本發(fā)明的保護范圍。
【主權項】
1.干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于包括激光光學系統(tǒng)A(1)和激光光學系統(tǒng)B (9)，所述的激光光學系統(tǒng)A (1)底部固定設置多維位移平臺A (2)，所述的多維位移平臺A (2)下方配合設置多維位移平臺B (7)，所述的多維位移平臺B (7)下方配合設置激光光學系統(tǒng)B (9)，所述的多維位移平臺B (7)上固定設置鏡片夾具(6)。2.如權利要求1所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的激光光學系統(tǒng)B (9)設置在底座(10)上，所述的底座(10)上固定設置支架B (8)，所述的支架B (8)上設置多維位移平臺B (7)和支架A (3)，所述的支架A (3)上設置多維位移平臺A(2)。3.如權利要求2所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的支架A (3)包括立柱A (301)和固定板A (302)，所述的固定板A (302)上設有供光路通過的通孔A (303)，所述的支架B (8)包括立柱B (801)和固定板B (802)，所述的固定板B (802)上設有供光路通過的通孔B (803)。4.如權利要求3所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀，其特征在于所述的多維位移平臺A (2)設置在固定板A (302)上，所述的多維位移平臺B (7)設置在固定板B(802)上。5.利用權利要求1所述的干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀進行非球面偏心檢測的方法，其特征在于包括以下步驟: 1)檢測非球面鏡片(5)上下兩個表面的相對水平位移偏心時，將激光光學系統(tǒng)A(1)和激光光學系統(tǒng)B (9)同時打開，激光光學系統(tǒng)A (1)發(fā)射出來的激光束A (4)和激光光學系統(tǒng)B (9)發(fā)射出來的激光束B (11)分別照射在被測非球面鏡片(5)的上下兩個表面上，并且在上表面球心環(huán)(12)和下表面球心環(huán)(15)上形成反射光路，分別得到上/下表面球心環(huán)像(16)，通過分析確定出上下兩個面形成的上/下表面球心環(huán)像(16)的中心點相對位置的數(shù)值，即得出非球面上下兩個表面的相對水平位移偏心數(shù)值； 2)檢測非球面鏡片(5)上表面相對于非球面鏡片(5)外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)B (9)打開，關閉激光光學系統(tǒng)A (1)的光源，但不關閉激光光學系統(tǒng)A (1)的接收裝置，激光光學系統(tǒng)B (9)的激光束B (11)穿過被測非球面鏡片(5)時，部分光被被測非球面鏡片(5)的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)A (1)的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，之后將上/下表面球心環(huán)像(16)的中心點與邊緣輪廓影像重疊，即得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值； 3)檢測非球面鏡片(5)下表面對于非球面鏡片非球面鏡片(5)外圓輪廓的偏心數(shù)值時，將激光光學系統(tǒng)A (1)打開，關閉激光光學系統(tǒng)B (9)的光源，但不關閉激光光學系統(tǒng)B (9)的接收裝置，激光光學系統(tǒng)A (1)的激光束A (4)穿過被測非球面鏡片(5)時，部分光被被測非球面鏡片(5)的形狀遮擋，無法穿透，只有邊緣部分的光束進入激光光學系統(tǒng)B(9)的接收裝置，形成邊緣輪廓影像，之后將上/下表面球心環(huán)像(16)的中心點與邊緣輪廓的影像重疊，即可得到上表面相對于非球面鏡片外圓輪廓的偏心數(shù)值； 4)檢測非球面鏡片(5)整體傾斜數(shù)值的時，將激光光學系統(tǒng)A(1)打開，并且觀察平面環(huán)(13)的反射干涉圖形，之后通過計算干涉條紋，得出被測非球面鏡片(5)的整體傾斜情況。
【專利摘要】干涉及投影一體化非球面偏心檢測儀及其檢測方法，屬于光學檢測技術領域。該檢測儀包括激光光學系統(tǒng)A和激光光學系統(tǒng)B，所述的激光光學系統(tǒng)A底部固定設置多維位移平臺A，所述的多維位移平臺A下方配合設置多維位移平臺B，所述的多維位移平臺B下方配合設置激光光學系統(tǒng)B，所述的多維位移平臺B上固定設置鏡片夾具。本發(fā)明能夠在同一臺設備上，檢測多種類型鏡片的偏心和傾斜問題，不但提高了鏡片的檢測精度，還大大加快了鏡片的檢測速度，不但提升了企業(yè)的產品品質，同時也能提高企業(yè)的生產經濟效益。
【IPC分類】G01B11/27, G01B11/26, G01C9/00, G01B11/00
【公開號】CN105403151
【申請?zhí)枴緾N201510912874
【發(fā)明人】王俊, 包凱凱, 程宏, 王勤
【申請人】杭州志達光電有限公司
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年12月11日