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移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置的制作方法

文檔序號(hào):11982110閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:包括混合氣體回收系統(tǒng)、混合氣體分離系統(tǒng)、制冷機(jī)組(16)、六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)、四氟化碳專用壓充系統(tǒng)、混合氣體配氣充氣系統(tǒng)和抽真空系統(tǒng),混合氣體回收系統(tǒng)的出氣口與混合氣體分離系統(tǒng)的進(jìn)氣口連接,混合氣體分離系統(tǒng)的出氣口與四氟化碳專用壓充系統(tǒng)的進(jìn)氣口連接,混合氣體分離系統(tǒng)的出液口與六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)的進(jìn)液口連接,抽真空系統(tǒng)的抽氣口分別與混合氣體回收系統(tǒng)、六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)、四氟化碳專用壓充系統(tǒng)和混合氣體配氣充氣系統(tǒng)連接,制冷機(jī)組(16)的制冷輸出口分別與混合氣體回收系統(tǒng)、混合氣體分離系統(tǒng)和四氟化碳專用壓充系統(tǒng)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:混合氣體回收系統(tǒng)包括第一高壓管(1),第一高壓管(1)的進(jìn)氣口設(shè)有混合進(jìn)氣自封快速接頭(2),第一高壓管(1)上沿混合氣體氣流方向依次設(shè)有第一電磁閥(V1)、第一手動(dòng)常開閥(C1)、第一分子篩(3)、第一分子篩(4)、無油壓縮機(jī)(5)、第一單向閥(6)、第一冷熱交換器(7)和混合出氣自封快速接頭(8);第一電磁閥(V1)的進(jìn)口和出口之間的第一高壓管(1)上連接有增壓高壓管(9),增壓高壓管(9)上沿混合氣體氣流方向依次設(shè)有第二電磁閥(V2)、真空壓縮機(jī)(10)和第二單向閥(11);制冷機(jī)組(16)的制冷輸出口與第一冷熱交換器(7)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:混合氣體分離系統(tǒng)包括混合分離高壓管(12)和氣體分離罐(13),混合分離高壓管(12)的進(jìn)氣口連接在第一冷熱交換器(7)和混合出氣自封快速接頭(8)之間的第一高壓管(1)上,混合分離高壓管(12)的出氣口與氣體分離罐(13)的進(jìn)氣口連接,混合分離高壓管(12)上設(shè)有第三電磁閥(V3),氣體分離罐(13)底部設(shè)有液位計(jì)(14),氣體分離罐(13)頂部設(shè)有六氟化硫純度儀(15);制冷機(jī)組(16)的制冷輸出口與氣體分離罐(13)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:四氟化碳專用壓充系統(tǒng)包括第二高壓管(20),第二高壓管(20)的進(jìn)氣口與氣體分離罐(13)頂部連接,第二高壓管(20)的出氣口設(shè)有四氟化碳出氣自封快速接頭(21),第二高壓管(20)上沿進(jìn)氣口到出氣口方向依次設(shè)有第四電磁閥(V4)、高壓壓縮機(jī)(22)和第二冷熱交換器(23);制冷機(jī)組(16)的制冷輸出口與第二冷熱交換器(23)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)包括第三高壓管(17),第三高壓管(17)的進(jìn)液口與氣體分離罐(13)底部連接,第三高壓管(17)的出氣口設(shè)有六氟化硫出氣自封快速接頭(18),第三高壓管(17)上沿進(jìn)液口到出氣口方向依次設(shè)有第五電磁閥(V5)、液態(tài)灌裝機(jī)(19)和第六電磁閥(V6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:混合氣體配氣充氣系統(tǒng)包括配氣充氣高壓管(24)、四氟化碳配氣自封快速接頭(25)和六氟化硫配氣自封快速接頭(26),配氣充氣高壓管(24)的充氣口設(shè)有充氣自封快速接頭(27),配氣充氣高壓管(24)上由進(jìn)氣口到出氣口依次設(shè)有配氣儀(28)、緩存罐(29)、電磁比例調(diào)節(jié)閥(D1)、第七電磁閥(V7)、低壓壓縮機(jī)(30)和第三單向閥(31);四氟化碳配氣自封快速接頭(25)和六氟化硫配氣自封快速接頭(26)分別與配氣儀(28)的進(jìn)氣口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動(dòng)式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收補(bǔ)氣裝置,其特征在于:抽真空系統(tǒng)包括抽真空主管(33),抽真空主管(33)的兩端分別與真空泵(32)和外界抽真空自封快速接頭(34)連接,抽真空主管(33)上設(shè)有第八電磁閥(V8);抽真空主管(33)與增壓高壓管(9)之間通過第一抽真空管(35)連接,第一抽真空管(35)上設(shè)有第九電磁閥(V9);抽真空主管(33)與配氣充氣高壓管(24)之間通過第二抽真空管(36)連接,第二抽真空管(36)上設(shè)有第十電磁閥(V10);抽真空主管(33)與第三高壓管(17)之間通過第三抽真空管(37)連接,第三抽真空管(37)上設(shè)有第十一電磁閥(V11);第二高壓管(20)與第三高壓管(17)之間通過第四抽真空管(38)連接,第四抽真空管(38)上設(shè)有第十二電磁閥(V12)。

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