件15的第一陽極分段2、第一陽極元件15的第二陽極分段3及第一陽極元件15的介于所述第一陽極分段2與所述第二陽極分段3之間的中間間隔4。
[0081]此外，圖1在第一陽極分段2內側展現(xiàn)第一陽極元件15的第一陽極分段2的四個不同緊固及電接觸元件5，同時在第一陽極元件15的第二陽極分段3內側展示四個不同緊固及電接觸元件6。據(jù)此，這四個不同緊固及電接觸元件6放置于第一陽極元件15的圓形第二陽極分段3的外側，由于數(shù)個缺點(例如所施加電場的干擾)，此將并非是本發(fā)明的更優(yōu)選實施例中的情況。然而，已成功地應用圖1中所展示的第一陽極元件15來實現(xiàn)本發(fā)明的主要目的。
[0082]另外，圖1展示第一陽極元件15的第一陽極分段2的多個貫通導管7，其圍繞第一陽極元件15的中心以圓形方式布置。所述貫通導管包括長方形孔的橫截面，其中長方形孔具有從第一陽極元件的中心到其外側的定向。第一陽極元件15的第一陽極分段2的中心8以及第一陽極元件15的最外部陽極區(qū)域9 (在此情況中等于第二陽極分段3)不包括任何貫通導管。
[0083]圖2展示優(yōu)選實施例的第一裝置元件的第一載體元件10的示意性后視圖，其包括圍繞第一載體元件10的中心以圓形方式點對稱布置的貫通導管11，及緊固元件12。所述貫通導管包括圓形橫截面。此外，可辨識出將在另一側(載體元件10的前側)上的第一陽極元件的第一陽極分段的緊固及電接觸元件5'以及第一陽極元件的第二陽極分段的緊固及電接觸元件6'。進一步值得注意的是，所述第一載體元件10的中心不具有貫通導管，從而自然地導致在前側(此圖中未展示)上放置于第一載體元件10的腔中的相鄰第一陽極元件的中心不存在貫通導管。
[0084]圖3展示優(yōu)選實施例的第一裝置元件的第一載體元件10'的貫通導管11'的一個可能分布的示意圖，所述第一載體元件包括第一載體元件10'的緊固元件12'及在第一或第三裝置元件的第一載體元件1(V內側的腔13，所述腔適合于以使得第一載體元件10'及第一陽極元件的上部邊緣對準的方式容納第一陽極元件。此外，圖3展現(xiàn)第一載體元件表面上的垂線14，其已用以測量第一載體元件10'的貫通導管11'相對于所述垂線14的角度。清楚地演示，這些貫通導管11'在最靠近載體元件10'的中心的位置中具有30°的角度且對于其它(較靠外)貫通導管11'具有40°的角度。但是，必須注意，圖3圖解說明穿過載體元件10'的剖面，此意指(特定來說)在圍繞載體元件10'的中心的圓形布置中每一接下來的貫通導管I。(圖3中未展示)可相對于圖3中所展示的貫通導管Ilr具有相同或不同角度。
[0085]圖4及5展示優(yōu)選實施例的第一或第三裝置元件1、廣兩者的第一陽極元件與第一載體元件10"、10"'結合的前視圖及透視圖，所述第一陽極元件包括第一陽極元件的第一陽極分段2'、2"及第二陽極分段3'、3"，第一陽極元件的所述第一陽極分段2'、2"與第二陽極分段3'、3"之間具有中間間隔4'、4"。此外，圖4及5展示第一陽極元件的第一陽極分段2'、2"的緊固及電接觸元件5"、5"'及第二陽極分段3'、3"的緊固及電接觸元件6"、6"'。
[0086]圖4還展示第一載體元件10"的貫通導管11"，其放置于第一陽極分段2'后面且其可在第一陽極元件的第一陽極分段2'的貫通導管7'的內側以交替次序可見。表達“交替次序”意指在圍繞第一載體元件10"的中心的同心圓內側的每一第二貫通導管11"包括相對于載體元件表面上的垂線相應在前貫通導管11"的對角。與其相反，圖5僅展示第一陽極元件的第一陽極分段2"的貫通導管7"。
[0087]圖4及5進一步展示第一陽極元件的第一陽極分段2'、2"中無貫通導管7'、7"的中心8'、8"及最外部陽極區(qū)域9'、9"(在此情況中其等于第一陽極元件的無貫通導管的第二陽極分段3'、3")。最后，存在第一載體元件10"、10"'的緊固元件12"、12"'。在本發(fā)明的此實施例中，第一陽極分段的貫通導管7'、7"的最外部圓圈用于產生及/或正面地影響處理溶液的入射體積流的目的以便確保甚至是第一陽極元件的最外部區(qū)域(在此情況中是第二陽極分段3'、3")將恰當且成功地進行金屬(特定來說，銅)電流沉積，特定來說，將處理溶液的入射體積流一直引導到第一陽極元件的由第一載體元件10"、10"'至少部分地或如在本發(fā)明的此優(yōu)選實施例中完全地包圍的邊緣。
[0088]圖6a及6b展示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的具有其貫通導管17、17 ^的均勻(圖6a)或非均勻(圖6b)分布的掩蔽元件16、W的前視圖。此外，圖6a及6b揭示掩蔽元件的緊固元件18、18' ο
[0089]圖7a及7b展示本發(fā)明的優(yōu)選實施例的第一或第三裝置元件的包括多個突出部19的第一載體元件10""的前視圖及透視圖。圖7a及7b進一步展示第一陽極元件的第一陽極分段與第二陽極分段之間的中間間隔4"'(為更好地圖解說明所述優(yōu)選第一載體元件的前表面未將陽極分段置于這些圖中)。此外，存在第一陽極元件的第一陽極分段的緊固元件及電接觸元件5""以及第一陽極元件的第二陽極分段的緊固及電接觸元件6""。因此，第一載體元件10""包括多個貫通導管11"'、數(shù)個緊固元件12""及腔13'。圖7c展現(xiàn)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的包括多個突出部19的第一載體元件10""的圖7b的透視圖的一部分的分解視圖。
[0090]將理解，本文中所描述的實施例僅為示范性的且所屬領域的技術人員可在不背離本發(fā)明的精神及范圍的情況下做出許多變化及修改。包含上文所論述的那些變化及修改的所有此類變化及修改打算包含于如所附權利要求書所界定的本發(fā)明的范圍內。
[0091]參考符號
[0092]1、I'第一或第三裝置元件
[0093]2、2'、2"第一陽極元件的第一陽極分段
[0094]3、3'、3"第一陽極元件的第二陽極分段
[0095]4、4'、4"、4"'第一陽極元件的第一陽極分段與第二陽極分段之間的中間間隔
[0096]5、5'、5"、5" '、5""第一陽極元件的第一陽極分段的緊固元件及電接觸元件
[0097]6，6'，6"，6" '，6""第二陽極元件的第二陽極分段的緊固元件及電接觸元件
[0098]7、7'、7"第一陽極元件的第一陽極分段的貫通導管
[0099]8、8'、8"第一陽極元件的第一陽極分段中無貫通導管的中心
[0100]9、9'、9"第一或第三裝置元件的第一陽極元件的無貫通導管的最外部陽極區(qū)域
[0101]1UOr、10"、10"丨、10""第一 /第三裝置元件的第一載體元件
[0102]IlUlr、11"、11"'第一載體元件的貫通導管
[0103]12、12'、12"、12" '、12""第一載體元件的緊固元件
[0104]13、13 ^第一載體元件內側的腔
[0105]14第一載體元件表面上的垂線
[0106]15陽極元件
[0107]16、16'掩蔽元件
[0108]17、17^掩蔽元件的貫通導管
[0109]18、18'掩蔽元件的緊固元件
[0110]19第一載體元件的突出部
【主權項】
1.一種用于在襯底上進行垂直金屬、優(yōu)選地為銅電流沉積的裝置，其特征在于 所述裝置包括彼此平行地以垂直方式布置的至少第一裝置元件及第二裝置元件，其中所述第一裝置元件包括具有多個貫通導管的至少第一陽極元件及具有多個貫通導管的至少第一載體元件，其中所述至少第一陽極元件與所述至少第一載體元件彼此牢固地連接；且其中所述第二裝置元件包括適于接納至少第一待處理襯底的至少第一襯底固持器，其中所述至少第一襯底固持器在接納所述至少第一待處理襯底之后沿著其外框架至少部分地包圍所述至少第一待處理襯底；且其中所述至少第一裝置元件的所述第一陽極元件與所述第二裝置元件的所述至少第一襯底固持器之間的距離介于從2mm到15mm的范圍內。2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于所述至少第一待處理襯底為:圓的、優(yōu)選地圓形；或有角的、優(yōu)選地多角，例如矩形、方形或三角形；或圓與有角結構元件的混合，例如半圓形；及/或其中在圓結構的情況中，所述至少第一待處理襯底具有介于從50mm到1000mm、優(yōu)選地從10mm到700mm且更優(yōu)選地從120mm到500mm的范圍內的直徑；或在有角、優(yōu)選地多角結構的情況中，所述至少第一待處理襯底具有介于從1mm到1000mm、優(yōu)選地從25mm到700mm且更優(yōu)選地從50mm到500mm的范圍內的邊長，及/或其中所述至少第一待處理襯底為印刷電路板、印刷電路箔片、半導體晶片、太陽能電池、光電電池或監(jiān)視器單元。3.根據(jù)權利要求1或2所述的裝置，其特征在于所述裝置進一步包括第三裝置元件，所述第三裝置元件以使得所述第二裝置元件布置于所述第一裝置元件與所述第三裝置元件之間的方式平行于所述第一裝置元件及所述第二裝置元件以垂直方式布置，其中所述第三裝置元件包括具有多個貫通導管的至少第一陽極元件及具有多個貫通導