專利名稱：處理裝置、處理方法及機(jī)械手裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用多個處理部依次處理液晶用玻璃基板和半導(dǎo)體晶片等被處理物的處理裝置及處理方法、以及用來輸送上述被處理物的機(jī)械手裝置。
背景技術(shù)：
以前，在液晶用的玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等被處理物上形成回路的制造工序中，要對這些被處理物進(jìn)行種種處理，其中的一個處理是要求用高潔凈度洗凈上述被處理物的工序。
在被處理物的洗凈方面，已知的有各種洗凈機(jī)構(gòu)(處理部)，譬如有將紫外線照射在被處理物上、使有機(jī)物分解而加以除去的紫外線照射機(jī)構(gòu)；一邊將藥液等噴涂在輸送中的被處理物上、一邊用刷子加以洗凈的刷子洗凈機(jī)構(gòu)；將被處理物保持在工作臺上、一邊使其旋轉(zhuǎn)、一邊噴涂藥液等洗凈液的旋轉(zhuǎn)洗凈機(jī)構(gòu)等，在用多個洗凈機(jī)構(gòu)洗凈處理被處理物時，還相對于這些洗凈機(jī)構(gòu)設(shè)置輸送機(jī)構(gòu)(處理部)，將被處理物輸入、輸出。
為了提高被處理物的潔凈度，要在上述多個洗凈機(jī)構(gòu)中盡可能多地采用洗凈機(jī)構(gòu)對被處理物進(jìn)行清洗。這時把組件化的多個洗凈機(jī)構(gòu)平面地并排設(shè)置在清洗室里，用輸送機(jī)構(gòu)把要洗凈的被處理物相對多個洗凈機(jī)構(gòu)依次進(jìn)行輸入、輸出。
但是，在把上述多個洗凈機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)平面地配置時，多個洗凈機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)會占去清洗室中較大的空間。要盡可能有效地利用清洗室中的空間。因此在洗凈被處理物時，最好將多個洗凈機(jī)構(gòu)和輸送機(jī)構(gòu)所占的空間縮小。
為了把上述被處理物在并排設(shè)置的洗凈機(jī)構(gòu)間進(jìn)行輸送，在上述洗凈機(jī)構(gòu)上的洗凈處理是連續(xù)進(jìn)行的場合下，只要用傳送帶進(jìn)行連續(xù)輸送就可以。但在洗凈機(jī)構(gòu)上的洗凈處理是如旋轉(zhuǎn)洗凈那樣不是連續(xù)進(jìn)行的場合下，則用機(jī)械手裝置輸送上述被處理物，這機(jī)械手裝置構(gòu)成上述的輸送機(jī)構(gòu)，其作為一個處理部。
在把機(jī)械手裝置用作輸送機(jī)構(gòu)時，有時是使這機(jī)械手裝置沿著并排的多個洗凈機(jī)構(gòu)行進(jìn)的。這時在上述機(jī)械手裝置的行進(jìn)范圍內(nèi)要設(shè)置軌道。
但是，在用上述機(jī)械手裝置輸入、輸出那些要被洗凈的被處理物時，從被處理物上滴下的洗凈液有時會滴到上述軌道上。作為洗凈液除了純水以外，有時會用酸度很高的藥液等用作洗凈液。因此在把這種藥液用作洗凈液時，從被處理物上滴下的藥液會腐蝕軌道，會損傷用來控制上述機(jī)械手裝置的電纜。
而且，在用機(jī)械手裝置把被處理物輸入到規(guī)定的洗凈機(jī)構(gòu)時，在這洗凈機(jī)構(gòu)上對被處理物的洗凈結(jié)束之前，必須把由前一道工序洗凈的被處理物停留并處于待機(jī)狀態(tài)。在這種場合下一旦待機(jī)時間加長，就有使前一道工序附著在上述被處理物上的洗凈液干燥，并沾染等附著在這被處理物上的問題。
上述的空間問題不僅在洗凈處理被處理物時會發(fā)生，在各種工序也存在這問題。譬如在涂敷保護(hù)膜的場合下，由于設(shè)置涂敷裝置、加熱裝置、預(yù)熱裝置等多個處理部，因而就產(chǎn)生同樣的問題。
發(fā)明的公開本發(fā)明的目的是提供一種處理裝置及處理方法，它能把多個處理部設(shè)置在較小的空間里。
本發(fā)明的另一個目的是提供一種這樣的處理裝置，即為了用機(jī)械手裝置在處理部之間交接被處理物、使這機(jī)械手裝置沿著處理部行進(jìn)時，洗凈液不會從上述被處理物滴到下邊的機(jī)械手裝置的軌道等上面。
本發(fā)明的再一個目的是提供一種這樣的處理裝置，即，即使機(jī)械手裝置在處理部之間進(jìn)行交接的被處理物停留時，甚至在待機(jī)狀態(tài)下，也不會使這被處理物干燥。
為了達(dá)到上述目的而作出的本發(fā)明的一個最佳實施的處理裝置，它設(shè)有多個處理部、是將被處理物依次輸送到這些處理部進(jìn)行處理的，其特征在于它是將上述多個處理部配置成上下二段的。
這樣，與平面地配置的場合相比，能把設(shè)置多個處理部所需要的專有面積縮小。
為了達(dá)到上述目的而作出的本發(fā)明的一個最佳實施例的處理裝置，它是用來處理被處理物的，其特征在于設(shè)有下列構(gòu)件，即被配置成上段和下段等上下二段的多個處理部；與位于上段或下段中的任意一方的一端上的處理部相對配置的、保持尚未處理的被處理物的裝料部；與位于上段或下段的另一方的一端上的處理部相對配置的、收容被處理過的被處理物的卸料部；從上述裝料部將未處理的被處理物供給位于上段或下段的任意一方的一端上的第一交接機(jī)構(gòu)；從位于上段或下段的任意一方的另一端上的處理部接受被處理物、并將這被處理物供給位于上段或下段的另一方的另一端上的第二交接機(jī)構(gòu)。
這樣，與平面地配置的場合相比，能把設(shè)置多個處理部所需要的專用面積縮小。
為了達(dá)到上述目的而作出的本發(fā)明一個最佳實施例的處理方法是輸送被處理物并用多個處理部依次處理的，其特征在于設(shè)有下列多個工序，即將沒處理過的被處理物按規(guī)定的高度供給的供給工序；用配置在高度大致與這輸送高度相同位置上的處理部處理從上述供給工序供給輸送的被處理物的第一處理工序；改變由這第一處理工序處理的被處理物的輸送高度的高度變更工序；用配設(shè)在由上述高度變更工序變更過高度的位置上的處理部對上述被處理物進(jìn)行處理的第二處理工序；存儲由上述第二處理工序處理過的被處理物的存儲工序；提供具備的處理方法。
這樣，由于能用不同的輸送高度分別處理被處理物，因而能立體地有效利用處理被處理物用的空間。
為了達(dá)到上述目的而作出的本發(fā)明一個最佳實施例的機(jī)械手裝置，它設(shè)有第一臂和第二臂，它們都是將多個連桿能自由轉(zhuǎn)動地連接，而且設(shè)有把被處理物保持在前端的定位調(diào)節(jié)件并進(jìn)行伸縮運動，其特征在于上述第一臂的定位調(diào)節(jié)件位于第二臂的定位調(diào)節(jié)件的上方，而且在這第二臂的定位調(diào)節(jié)件上設(shè)置著噴嘴，它向被保持在該處的被處理物噴射液體。
這樣，能防止被保持在位于下側(cè)的第二臂的定位調(diào)節(jié)件上的被處理物表面干燥；能防止用來防止上述被處理物表面干燥的液體附著到被保持在位于上側(cè)的第一臂的定位調(diào)節(jié)件上的被處理物上。
附圖簡述圖1是表示本發(fā)明一個實施例的整體結(jié)構(gòu)圖；圖2是表示上述實施例的第二交接機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖；圖3是表示上述實施例的機(jī)械手配置狀態(tài)的側(cè)視圖；圖4是表示上述機(jī)械手的斜視圖；圖5是說明將凈化空氣導(dǎo)入機(jī)械手的結(jié)構(gòu)圖；圖6是表示上述實施例的可動滾筒組件和固定滾筒組件的斷面圖。
本發(fā)明的最佳實施例下面，參照


本發(fā)明的一個實施例。
圖1所示的本發(fā)明的處理裝置是洗凈處理裝置1，它是用于洗凈處理作為被洗凈物的液晶用玻璃基板的。這個洗凈處理裝置1設(shè)有如圖中用雙點劃線表示的多個處理組件，在本實施例中設(shè)有第一～第五處理組件1a～1e，第一～第三處理組件1a～1c和第四、第五處理組件1d、1e并排設(shè)置成二列。圖中的2是電裝組件。
在上述第一處理組件1a內(nèi)有設(shè)置在座3上的裝料部4。在這裝料部4上、多片液晶用玻璃基板5層疊地保持著，由設(shè)置在上述座3上的圖中沒表示的輸出機(jī)構(gòu)、從下方將液晶用玻璃基板5依次一片片地輸出。
由第一交接機(jī)構(gòu)6把從上述裝料部4輸出的液晶用玻璃基板5送入到第二處理組件16里。上述第一交接機(jī)構(gòu)6設(shè)有垂直地直立設(shè)置的支柱7。在這支柱7上設(shè)有滾筒組件8，它能由圖中沒表示的驅(qū)動源上下自由地驅(qū)動。這個滾筒組件8設(shè)有構(gòu)架9，在這構(gòu)架9上架設(shè)著多個滾筒11，能使它們的軸線相互并行而且能自由地旋轉(zhuǎn)。在構(gòu)架9的一側(cè)設(shè)置著使上述滾筒11旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動源12。
使上述滾筒組件8的上表面下降到與上述裝料部4輸出的液晶用玻璃基板5相同的高度而處于待機(jī)狀態(tài)下，把從上述裝料部4輸出的液晶用玻璃基板5供到上述滾筒組件8上。使接受液晶用玻璃基板5的滾筒組件8上升，將液晶用玻璃基板5供到按規(guī)定高度設(shè)置在第二處理組件16內(nèi)的紫外線照射裝置15上。
上述紫外線照射裝置15在其一側(cè)形成了供給口16，使上述滾筒組件8上升、直到放置在其上表面上的液晶用玻璃基板5與上述供給孔16相同的高度上。接著由驅(qū)動源12使?jié)L筒11旋轉(zhuǎn)，由此將上述液晶用玻璃基板5供到上述紫外線照射裝置15內(nèi)。
雖然圖中沒有詳細(xì)地表示上述紫外線照射裝置15，但在其內(nèi)部設(shè)有用來輸送液晶用玻璃基板5的輸送滾筒和紫外線燈，后者把紫外線照射到由輸送滾筒輸送來的液晶用玻璃基板5上。通過用紫外線照射，就能將附著在液晶用玻璃基板5上的有機(jī)物分解而除去。
在上述第二處理組件16上配置著刷子洗凈組件20，它與上述紫外線照射裝置15鄰接而且處于相同的高度，在其內(nèi)部設(shè)置著圖中沒表示的輸送機(jī)構(gòu)，由其連續(xù)地輸送經(jīng)上述紫外線照射裝置15處理過的液晶用玻璃基板5。
上述刷子洗凈組件20依次并排地設(shè)置著中性室22、刷子洗凈室23和噴淋室24，上述的中性室22一側(cè)形成了供給上述液晶用玻璃基板5的供給口21，而且在另一側(cè)供給干燥空氣或惰性氣體，由此對從外部供入的液體或氣體加以控制；上述的刷子洗凈室23是把藥液等洗凈液噴涂到通過中性室22后的液晶用玻璃基板5上、與此同時進(jìn)行刷子洗凈；上述噴淋室24用純水噴淋經(jīng)上述刷子洗凈室23洗凈的液晶用玻璃基板5而加以洗凈的。在這噴淋室24上形成圖中沒表示的輸出口，將噴淋洗凈了的液晶用玻璃基板5輸出。
從上述噴淋室24的輸出口輸出的液晶用玻璃基板5經(jīng)交接用的滾筒組件30(固定式滾筒組件)、由與上述第一交接機(jī)構(gòu)6大致相同結(jié)構(gòu)的第二交接機(jī)構(gòu)31接收。上述第二交接機(jī)構(gòu)31設(shè)有支柱32。在這支柱32上設(shè)置著可動式滾筒組件33，它能由圖中沒表示的驅(qū)動源的作用而上下自由地驅(qū)動。這個可動式滾筒組件33設(shè)有上面開口的有底狀的第一排放盤34，在這第一排放盤34上能自由旋轉(zhuǎn)地架設(shè)著多個滾筒35，使它們的軸線相互平行。在上述第一排放盤34的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動源34a(如圖2所示)，由這驅(qū)動源34a就能使上述滾筒35旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
使上述可動式滾筒組件33的上表面上升到與上述噴淋室24輸出口輸送出的液晶用玻璃基板5的高度大致相同地處于待機(jī)位置。當(dāng)上述可動式滾筒組件33接受從上述噴淋室24輸出的液晶用玻璃基板5時，使可動式滾筒組件33下降。
放置在可動式滾筒組件33上的液晶用玻璃基板5由構(gòu)成輸入輸出機(jī)構(gòu)40(一個處理部)的機(jī)械手41取出(上述輸入輸出機(jī)構(gòu)40是機(jī)械手裝置)，供到與上述第四處理組件1d并排設(shè)置的第一旋轉(zhuǎn)處理裝置42和第二旋轉(zhuǎn)處理裝置43中的任何一方上。
由于被交接到上述第二交接機(jī)構(gòu)31的可動式滾筒組件33上的液晶用玻璃基板5、在被交接到上述輸入輸出機(jī)構(gòu)40的機(jī)械手41之前進(jìn)行干燥時會沾染被處理物，因此，為了防止產(chǎn)生這種因干燥沾染，把純水作為防止干燥的液體灑在上述玻璃基板5上。
即，如圖2所示，可動式滾筒組件33設(shè)有上述有底箱狀的第一排放盤34，在這第一排放盤34的上部兩側(cè)配置著管子狀的噴淋頭37?？蓮母鱾€噴淋頭37將純水噴到被保持在上述可動式滾筒組件33上的液晶和玻璃基板5上。
在上述第一排放盤34的底部連接著可動管38的上端，這個可動管38垂直地設(shè)置，能自由滑動地插在直徑比其大的固定管39里。這個固定管39是中間部分固定在第二交接機(jī)構(gòu)31的座31a上，下端部與圖中沒表示的廢液部相連通的。由此，噴射到被保持在可動式滾筒組件33上的液晶用玻璃基板5的純水就可從第一排放盤34通過可動管38和固定管39而排出。
可動管38與第一排放盤34相連接，由于將這可動管38插在固定管39里，因而即使?jié)L筒組件33上下移動，仍能可靠地從第一排放盤34排水。
即，在通常情況下，從可動部排水時，由于要使其與可動部的動作相對應(yīng)，因而采用撓性導(dǎo)管。這時，由于把撓性導(dǎo)管的長度設(shè)定成可動部能上升的高度，因而在可動部下降時撓性導(dǎo)管就彎曲而向側(cè)方突出。因此必須確保一定的空間，以便上述撓性導(dǎo)管向側(cè)方彎曲，由于可動部的上下移動使撓性導(dǎo)管重復(fù)地彎曲，因而它的彎曲部分有時會提前損傷。
但是在本發(fā)明中沒有撓性導(dǎo)管，將可動管38與第一排放盤34相連接，將這可動管38能自由滑動地插在固定管39里。這樣，由于第一排放盤34的上下移動引起可動管38在固定管39內(nèi)滑動，因而只要確保設(shè)置固定管39所必要的空間就夠，而且還不會發(fā)生如撓性導(dǎo)管那樣的因彎曲而引起的提前損傷。
如圖6所示，上述交接用滾筒組件30與上述可動式滾筒組件33同樣地設(shè)有第二排放盤131。在這第二排放盤131上，在向中心部、朝低處傾斜的底部中心部位設(shè)置著排液管132，在面對著的一對側(cè)壁間空開一定間隔、能自由旋轉(zhuǎn)地架設(shè)著多個滾筒133，使它們的軸線相互平行。這些滾筒133由圖中沒表示的驅(qū)動源的驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)。
這樣，由滾筒133的回轉(zhuǎn)驅(qū)動把從上述噴淋室24輸出到上述交接用滾筒組件30的滾筒133上的液晶用玻璃基板5交接到可動式滾筒組件33的滾筒35上。
與上述可動式滾筒組件33處于上升位置時相對應(yīng)地、在上述交接用滾筒組件30和可動式滾筒組件33的排放盤131、34的側(cè)壁上分別設(shè)置著第一防水罩134和第二防水罩135。
各個防水罩134、135設(shè)有垂直部134a、135a和傾斜部134b、135b，垂直部134a、135a的下端部借助隔板136而安裝在上述側(cè)壁的內(nèi)表面上。由此，各個防水罩134、135的傾斜部134b、135b從各個排放盤131、34的側(cè)壁向外突出，而且向各個排放盤131、34的內(nèi)側(cè)、朝低處傾斜。
而且，在可動式滾筒組件33上升的狀態(tài)下，設(shè)置在構(gòu)成液晶用玻璃基板5的輸送方向上游側(cè)的交接滾筒組件30上的第一防水罩134的傾斜部134b重合地位于設(shè)置在可動式滾筒組件33上的第二防水罩135的上方。
由此，在噴淋室24中被洗凈了的液晶用玻璃基板5從固定式滾筒組件30交接到可動式滾筒組件33時，從這玻璃基板5滴下的洗凈液滴到各個防水罩134、135的傾斜部134b、135b上，沿著各自的傾斜部流入到各自的排放盤131、34內(nèi)。因此能防止從液晶用玻璃基板5滴下的洗凈液散落到周圍。
又因為一對防水罩134、135的傾斜部134b、135b是重合著的，所以也沒有洗凈液從各自滾筒組件30、33的間隙滴落的問題。
此外，即使洗凈液臨時附著在防水罩134、135的下表面，從傾斜部134b、135b流向垂直部134a、135a，但由于垂直部134a、135a的下端是靠隔板136安裝在排放盤34、131的側(cè)壁內(nèi)表面上，因而仍沒有沿著防水罩134、135的下面流動的洗凈液滴到排放盤131、34外的問題。
上述機(jī)械手41設(shè)置成這樣，即，在多個旋轉(zhuǎn)處理裝置的側(cè)方、在本實施例中是在一對旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43的側(cè)方、在上述紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20的下方，即如圖5所示地能沿著配置在上述第四處理組件1d上的一對旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43并排設(shè)置方向、自由移動地設(shè)置在第二處理組件1b上。也就是說，如圖3所示，在上述旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43的側(cè)方設(shè)置著形成導(dǎo)引部的導(dǎo)軌44和作為驅(qū)動裝置的線性馬達(dá)45，線性馬達(dá)45與上述導(dǎo)軌44空開一定間隔而且相互平行地隔離。
在上述導(dǎo)軌44上能自由滑動地設(shè)有滑塊46，在這滑塊46的上面設(shè)置著第一水平構(gòu)件47。在這第一水平構(gòu)件47上垂直地設(shè)置著第一垂直構(gòu)件48。
上述線性馬達(dá)45由固定部45a和可動部45b構(gòu)成，可動部45b能沿著固定部45a驅(qū)動，在這可動部45b上安裝著第二水平構(gòu)件49。在這第二水平構(gòu)件49上垂直地設(shè)置著第二垂直構(gòu)件51。
在上述第一垂直構(gòu)件48和第二垂直構(gòu)件51的下端之間水平地架設(shè)著載放板52，在這載放板52上固定地設(shè)置著上述機(jī)械手41。這個機(jī)械手41設(shè)有柱狀的本體部41a，這個本體部41a的直徑做成比一對垂直構(gòu)件48、51的間隔還小。
上述導(dǎo)軌44和線性馬達(dá)45的固定部45a分別由罩子53a、53b覆蓋，它們是由耐腐蝕性高的金屬或合成樹脂等材料構(gòu)成。
各個罩子53a、53b做成這樣，即，上端固定在能沿著上述機(jī)械手41的行進(jìn)方向設(shè)置的構(gòu)架54上、中間部分向機(jī)械手41側(cè)朝低處傾斜、而且各自覆蓋上述導(dǎo)軌44和線性馬達(dá)45的固定部45a，下端部插在各個垂直構(gòu)件48、51和機(jī)械手41之間。
在上述一對罩子53a、53b的下端側(cè)、沿著上述機(jī)械手41的行進(jìn)范圍的整個長度設(shè)置著由耐腐蝕性高的材料構(gòu)成的第三排放盤55。如下所述，這個第三排放盤55能集積從上述機(jī)械手41滴到罩子53a、53b上的洗凈液。
上述機(jī)械手41是如圖4所示的雙臂式機(jī)械手，在其本體部41a內(nèi)設(shè)置著圖中沒表示的驅(qū)動源。在上述本體部41a的上面設(shè)置著第一臂56和第二臂57。第一臂56由第一連桿56a和第二連桿56b構(gòu)成；第二臂57由第三連桿57a和第四連桿57b構(gòu)成；第一連桿56a和第三連桿57a的一端與上述驅(qū)動源的驅(qū)動軸相連接。
在第一連桿56a的另一端上連接著第二連桿56b的一端，使其能與第一連桿的轉(zhuǎn)動而相互聯(lián)動地轉(zhuǎn)動。而且在第三連桿57a的另一端上連接著第四連桿57b的一端，使其能與第三連桿的轉(zhuǎn)動而相互聯(lián)動地轉(zhuǎn)動。在第二連桿56b和第四連桿57b的另一端上分別連接著第一定位調(diào)節(jié)件56c和第二定位調(diào)節(jié)件57c的一端，使它們能與第二連桿56b和第四連桿57b的轉(zhuǎn)動而相互聯(lián)動地進(jìn)行直線運動(伸縮運動)。
這樣，一對第一、第二臂56、57由第一連桿56a和第三連桿57a的轉(zhuǎn)動而分別使第二連桿56b和第四連桿57b、第一定位調(diào)節(jié)件56c和第二定位調(diào)節(jié)件57c聯(lián)動地進(jìn)行伸縮運動。而且使第一、第二臂56、57改變伸縮的方向、被上下地驅(qū)動。圖4表示使第一臂56縮短、使第二臂57伸長的狀態(tài)。
為了防止在使一對臂56、57縮短時，第一連桿56a和第三連桿57a以及第一定位調(diào)節(jié)件56c和第二定位調(diào)節(jié)件57c相互干涉，將它們的高度分別設(shè)置的不同。在本實施例中把第二臂57設(shè)置成比第一臂56低。
第一臂56是專用于輸送處于干燥狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5，第二臂57是專用于輸送處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5。
在各個臂56、57的第一定位調(diào)節(jié)件56c和第二定位調(diào)節(jié)件57c上設(shè)置著多個保持構(gòu)件61，用來對規(guī)定尺寸的液晶用玻璃基板5進(jìn)行定位并將其保持住。在第二臂57的第二定位調(diào)節(jié)件57c的基端部上面設(shè)置著一對噴嘴62。從各個噴嘴62噴射純水等液體，以防止被保持在第二定位調(diào)節(jié)件57c上的液晶用玻璃基板5的干燥。
也就是說，由刷子洗凈組件20洗凈后、交給第二交接機(jī)構(gòu)31的處于濕狀態(tài)的液晶用玻璃基板5由第二臂57的第二定位調(diào)節(jié)件57c接受。接著將這液晶用玻璃基板5供到第一或第二旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43。這時，由于各個旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43是成批處理的，因而在供給處于濕狀態(tài)的液晶用玻璃基板5時，必須按規(guī)定時間進(jìn)行待機(jī)。在待機(jī)過程中從上述噴嘴62向液晶用玻璃基板5噴射純水。由于采取這措施后能防止在濕狀態(tài)的液晶用玻璃基板5的干燥，因而能防止由干燥形成的沾染等。
一對旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43對液晶用玻璃基板5進(jìn)行同樣的處理。即，將液晶用玻璃基板5保持后使其高速旋轉(zhuǎn)，而且從藥液供給噴嘴65將施加了超聲波振動的藥液供到上述玻璃基板的上表面上，進(jìn)行藥液洗凈后，從純水供給噴嘴66供給純水進(jìn)行洗刷清洗。接著，停止供給藥液或純水，使其進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)的同時進(jìn)行干燥處理。
上述紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20是對液晶用玻璃基板5連續(xù)地進(jìn)行處理的。與此相對、由旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43進(jìn)行的液晶用玻璃基板5的處理則是成批的，因此液晶用玻璃基板5的流動是不連續(xù)的，使間歇時間加長。
但是，如上所述，將處理液晶用玻璃基板5的多個旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43并排地設(shè)置，將刷子洗凈組件20輸出的液晶用玻璃基板5交替地供給這些旋轉(zhuǎn)處理裝置。這樣，與用一個旋轉(zhuǎn)處理裝置依次處理一片液晶用玻璃基板5的場合相比，能使整個洗凈處理裝置1的間歇時間縮短。
由各個旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43干燥處理過的處于干燥狀態(tài)的液晶用玻璃基板5，由機(jī)械手41的第一臂56的第一定位調(diào)節(jié)件56c取出，并向第五處理組件1e輸送。
由上述機(jī)械手41作出的液晶用玻璃基板5相對于各個旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43的裝卸作業(yè)，如圖1和圖5所示，是借助將第二處理組件1b和第四處理組件1d連通的開口部63而進(jìn)行的。這個開口部63也可由圖中沒表示的電路開關(guān)加以開關(guān)控制。
上述機(jī)械手41是用第二臂57交接處于濕狀態(tài)的液晶用玻璃基板5；在洗凈處理完后用第一臂56交接處于干燥狀態(tài)的液晶用玻璃基板5。這樣，由于在第一臂56的第一定位調(diào)節(jié)件56c上處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5不會附著污染物，因而由上述第一定位調(diào)節(jié)件56c交換的處于清潔狀態(tài)的液晶用玻璃基板5不會受到由機(jī)械手41的交接而引起的污損。
又因為第一臂56位于第二臂57的上方，所以從被保持在第二臂57的第二定位調(diào)節(jié)件57c上的處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5滴下的洗凈液等不會污染第一臂56的第一定位調(diào)節(jié)件56c或被保持在這里的液晶用玻璃基板5。
在上述機(jī)械手41的第二臂57把處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5供給一對旋轉(zhuǎn)處理裝置42、43中的任意一方時，由線性馬達(dá)45驅(qū)動這個機(jī)械手41，使其沿導(dǎo)軌44行進(jìn)。這時洗凈液從處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5滴到一對罩子53a、53b的中間部上面。
由于上述罩子53a、53b的中間部是向機(jī)械手41而朝低處傾斜的，因而滴到罩子53a、53b的中間部上的洗凈液如圖3所示，從這中間部，經(jīng)下端部而集積到第三排放盤55上。
即，由此能防止如下所述的事故，也即，可防止從處于濕狀態(tài)下的液晶用玻璃基板5滴下的洗凈液滴到對機(jī)械手41的行進(jìn)加以導(dǎo)引的導(dǎo)軌44上，使這導(dǎo)軌44提前腐蝕，或者滴到線性馬達(dá)45上，使其受到損傷。
如圖1所示，上述第五處理組件1e設(shè)有輸出部71，它由多個滾筒構(gòu)成。在這輸出部71的一端能上下移動地設(shè)置著接受液晶用玻璃基板5的推進(jìn)裝置72，上述玻璃基板5是被保持在上述機(jī)械手41的第一臂56的第一定位調(diào)節(jié)件56c上的。
上述推進(jìn)裝置72一上升并從第一定位調(diào)節(jié)件56c接受液晶用玻璃基板5，就下降并將上述液晶用玻璃基板5交給上述輸出部71。在輸出部71的另一端配設(shè)著卸料部73，經(jīng)輸出部71輸送來的液晶用玻璃基板5被層疊地收容在這卸料部73里。在洗凈裝置1中的液晶用玻璃基板5的流動如圖1中由箭頭所示。
上述洗凈處理裝置1是設(shè)置在清洗室里的，而且如圖5所示，在各個處理組件1a～1e的上部外面都設(shè)有清洗組件75。這些清洗組件75是把清洗室內(nèi)的空氣凈化后導(dǎo)入到各個處理組件1a～1e的。
在上述第二處理組件1b中，在刷子洗凈組件20的下方配置著上述機(jī)械手41。因此，從第二處理組件1b的上部的清洗組件75供給的凈化空氣被刷子洗凈組件20遮擋，也就難維持上述的被保持在機(jī)械手41上的液晶用玻璃基板5的潔凈度。
為此在與上述第二處理組件1b并排設(shè)置的第四處理組件1d的上部設(shè)置了第一導(dǎo)引件76，用來把清洗組件75輸出的凈化空氣分流一部分。如圖5中的箭頭所示，由第一導(dǎo)引件76分流的凈化空氣被導(dǎo)引到通孔77，它是將上述第四處理組件1d和第二處理組件1b連通的。
在第二處理組件1b上設(shè)置著第二導(dǎo)引件78，把從上述通孔77流入的凈化空氣朝下方導(dǎo)引。由此使這凈化空氣流向機(jī)械手41，因而能維持被保持在上述機(jī)械手41上的液晶用玻璃基板5的潔凈度。
若采用具有上述結(jié)構(gòu)的洗凈處理裝置1，則把用于處理液晶用玻璃基板5的作為處理部的紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20配置在上段，在它們的下段配置同樣作為處理部的機(jī)械手41。
因此，與把機(jī)械手41相對于紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20沿橫向并列設(shè)置的場合相比，能把整個洗凈處理裝置1的寬度尺寸減小，從而減少了其在清洗室里所占的空間。
液晶用玻璃基板5的輸送方向在配置紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20的上段、與配置機(jī)械手41的下段交換成相反方向。因此，與不變換液晶用玻璃基板5的輸送方向的場合相比，能縮短裝置的全長，從而能由此縮小清洗室占有的空間。
由于把上述紫外線照射裝置15、刷子洗凈組件20和機(jī)械手41配置成上下二段，而且在上段的紫外線照射裝置15的入口側(cè)設(shè)置第一交接機(jī)構(gòu)6，在刷子洗凈組件20的出口側(cè)設(shè)置第二交接機(jī)構(gòu)31。因此，即使把多個處理部配置成上下二段，仍能確實地進(jìn)行從液晶用玻璃基板5的裝料部4向紫外線照射裝置15的交接或從刷子洗凈組件20向機(jī)械手41的交接。
由于把紫外線照射裝置15和刷子洗凈組件20配置在上段，將機(jī)械手41配置在下段，因而從第二處理組件1b的上部開始的向下氣流被上段處理部遮斷。
但是，由于與上述第二處理組件1b并排地設(shè)置第四處理組件1d，從第四處理組件1d的向下氣流被第一導(dǎo)引件76分流一部分，使其通過連通第二、第四處理組件1b、1d的通孔77而被第二導(dǎo)引件78導(dǎo)向機(jī)械手41。
因此，被保持在機(jī)械手41上的洗凈處理后的液晶用玻璃基板5能由與第二處理組件1b相鄰接的第四處理組件1d輸出的凈化空氣維持其潔凈度。也即，即使把多個處理部配置成上下二段，被配置在下段上的處理部的潔凈度仍能由清理組件75輸出的凈化空氣確實地保持住。工業(yè)上利用的可能性本發(fā)明并不局限于上述實施例，它可以有各種變型。雖然在上述實施例中把洗凈處理裝置作為處理裝置加以說明，但即使是進(jìn)行這以外的處理，只要是設(shè)有多個處理部的，都能利用本發(fā)明。
譬如，即使是設(shè)有這樣處理部的處理裝置仍能用本發(fā)明，即這些處理部是為了在作為被處理物的半導(dǎo)體晶片或液晶用玻璃基板上形成回路而進(jìn)行的顯像處理、磨邊處理、薄膜形成處理等，需要注意的是處理部的種類或組合、而且被處理物的種類等也沒有限定。
在上述這個實施例中，被收容在裝料部里的被處理物由第一交接機(jī)構(gòu)供給上段的處理部，由上段的最后處理部處理過的被處理物由第二交接機(jī)構(gòu)交給下段的處理部，但也可根據(jù)處理部的配置狀態(tài)，用第一交接機(jī)構(gòu)將裝料部的被處理物交給下段的處理部；用第二交接機(jī)構(gòu)把由下段的處理部處理過的被處理物交給上段的處理部。在這種場合下，如果裝料部與下段的處理部是相同的高度，則只要把第一交接機(jī)構(gòu)做成能自由地上下移動的結(jié)構(gòu)就可以。
雖然在上述實施例中是把多個旋轉(zhuǎn)處理裝置配置在1個處理組件里，但也可將它們分別配置在各個處理組件里，這可根據(jù)處理部的大小和處理組件的大小而變更設(shè)計。
雖然在上述實施例中是把紫外線照射裝置和刷子洗凈組件配置在上方，將機(jī)械手配置在上述組件的下方，旋轉(zhuǎn)處理裝置配置在上述機(jī)械手的側(cè)方，在上述紫外線照射裝置和刷子洗凈組件的斜下方，但也可把上述機(jī)械手和旋轉(zhuǎn)處理裝置配置在上述紫外線照射裝置和刷子洗凈組件的正下方。在這種場合下可把裝料部和卸料部沿上下方向配置。
權(quán)利要求
1．處理裝置，設(shè)有多個處理部，是將被處理物依次輸送到這些處理部而進(jìn)行處理的，其特征在于它將上述多個處理部配置成上下二段。
2．處理裝置，它是用于處理被處理物的，其特征在于設(shè)有下列構(gòu)件，即配置成上段和下段等上下二段的多個處理部；與位于上段或下段中的任意一方的一端上的處理部相對配置的、保持尚未處理的被處理物的裝料部；與位于上段或下段中的另一方的一端上的處理部相對配置的、收容被處理過的被處理物的卸料部；從上述裝料部將未處理的被處理物供給位于上段或下段中的任意一方的一端上的第一交接機(jī)構(gòu)；從位于上段或下段中的任意一方的另一端上的處理部接受被處理物、并將這被處理物供給位于上段或下段的另一方的另一端上的第二交接機(jī)構(gòu)。
3．如權(quán)利要求1或2所述的處理裝置，其特征在于在上段或下段的任意一方上設(shè)置多個處理部，它們對上述被處理物進(jìn)行處理；在這些處理部的附近設(shè)置輸入、輸出機(jī)構(gòu)，將被處理物輸入、輸出到各個處理部。
4．如權(quán)利要求3所述的處理裝置，其特征在于把上述輸入、輸出機(jī)構(gòu)配置在下段，在這輸入、輸出機(jī)構(gòu)的附近配置著別的處理部，在上述輸入、輸出機(jī)構(gòu)和別的處理部之間設(shè)置著分流機(jī)構(gòu)，將供給上述別的處理部的一部分凈化空氣分流給上述輸入、輸出機(jī)構(gòu)。
5．如權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于上述第二交接機(jī)構(gòu)由下列構(gòu)件組成，即，輸送被處理物的輸送機(jī)構(gòu)；將防止干燥用的液體供向被處理物的液體供給機(jī)構(gòu)，這被處理物由上述輸送機(jī)構(gòu)輸送；設(shè)置在上述輸送機(jī)構(gòu)的下側(cè)、集積由上述液體供給機(jī)構(gòu)供給的液體、而且與上述輸送機(jī)構(gòu)成一體地被上下驅(qū)動的排放盤，與這排放盤相連接、將集積在排放盤里的液體排出的可動管；能自由滑動地插入在這可動管里的固定管。
6．如權(quán)利要求2所述的處理裝置，其特征在于在規(guī)定的處理部的輸出側(cè)設(shè)置固定式滾筒組件，它是按規(guī)定的高度配置的，而且接受從上述處理部輸出的被處理物；上述第二交接機(jī)構(gòu)由可動式滾筒組件構(gòu)成，它是沿上下方向被驅(qū)動的，而且在上升位置是與上述固定式滾筒組件并排設(shè)置、接受被交接到這個固定式滾筒組件上的被處理物的；在上述可動式滾筒組件上升時，緊挨著的上述固定式滾筒組件和可動式滾筒組件的一側(cè)設(shè)置著第一防水罩和第二防水罩，它們有向各自的滾筒組件的內(nèi)方、朝低處傾斜的傾斜部，設(shè)置在上述可動式滾筒組件上的第二防水罩的傾斜部，處于在使這可動式滾筒組件上升時與上述固定式滾筒組件的防水罩的傾斜部的下方相重合位置。
7．如權(quán)利要求3所述的處理裝置，其特征在于上述輸入、輸出機(jī)構(gòu)由下列構(gòu)件組成，即，沿其移動方向設(shè)置的導(dǎo)引部；與這導(dǎo)引部平行而且借助規(guī)定的間隔設(shè)置的驅(qū)動裝置；配置在上述導(dǎo)引部和驅(qū)動裝置之間，而且由這些導(dǎo)引部和驅(qū)動裝置能自由行進(jìn)地支持、并由驅(qū)動裝置能沿其行進(jìn)方向驅(qū)動的機(jī)械手；沿這機(jī)械手的行進(jìn)方向兩側(cè)、覆蓋上述導(dǎo)引部和驅(qū)動裝置地設(shè)置的罩體。
8．被處理物的處理方法，它是輸送被處理物并用多個處理部依次處理的，其特征在于設(shè)有下列多個工序，即將沒處理過的被處理物按規(guī)定的高度進(jìn)行供給的供給工序；用配設(shè)在高度大致與這輸送高度相同位置上的處理部處理從上述供給工序供給的被處理物的第一處理工序；改變由這第一處理工序處理的被處理物的輸送高度的高度變更工序；用配設(shè)在由上述高度變更工序變更過高度的位置上的處理部對上述被處理物進(jìn)行處理的第二處理工序；存儲由上述第二處理工序處理過的被處理物的存儲工序。
9．如權(quán)利要求8所述的處理方法，其特征在于用上述高度變更工序?qū)⑸鲜霰惶幚砦锔叨茸兏?，將輸送方向變更成相反方向?br> 10．機(jī)械手裝置，它設(shè)有第一臂和第二臂，它們都是將多個連桿能自由轉(zhuǎn)動地連接，而且設(shè)有把被處理物保持在前端的定位調(diào)節(jié)件并進(jìn)行伸縮運動的，其特征在于上述第一臂的定位調(diào)節(jié)件位于第二臂的定位調(diào)節(jié)件的上方，而且在這第二臂的定位調(diào)節(jié)件上設(shè)置著噴嘴，它向被保持在該處的被處理物噴射液體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種處理裝置,它能用較小的空間設(shè)置多個處理部。它設(shè)有按上下二段配置的多個處理部,從位于上段或者下段的任意一方的一端上的處理部供給未處理過的被處理物。這個被處理物由上段或者下段中的任意一方的處理部加以處理,接著由另一方的處理部加以處理,由位于另一方的一端上的處理部進(jìn)行處理之后加以回收。
文檔編號B65G49/06GK1235697SQ97199200
公開日1999年11月17日 申請日期1997年10月23日 優(yōu)先權(quán)日1996年10月30日
發(fā)明者宮迫久顯 申請人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司