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一種多孔硅粉的制備方法與流程

文檔序號(hào):11092710閱讀:1716來(lái)源:國(guó)知局
一種多孔硅粉的制備方法與制造工藝

本發(fā)明涉及多孔納米功能材料制備領(lǐng)域,具體涉及一種多孔硅粉的制備方法。



背景技術(shù):

早在1956年時(shí),美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室Uhlir首次發(fā)現(xiàn)并報(bào)道了通過(guò)電化學(xué)腐蝕法可以形成多孔硅薄膜。自從多孔硅被發(fā)現(xiàn)以后,多孔硅被廣泛應(yīng)用于生物與化學(xué)傳感器、光催化、能源、超級(jí)電容器、生物成像、藥物遞送等領(lǐng)域。

目前,多孔硅的制備方法有國(guó)內(nèi)外出現(xiàn)的制備多孔硅的方法有多種,但總體可歸納為電化學(xué)方法、光化學(xué)腐蝕法、刻蝕法和水熱腐蝕法。當(dāng)前較成熟的多孔硅制備方法有陽(yáng)極電化學(xué)刻蝕法、鎂熱還原法、水熱法。但是陽(yáng)極電化學(xué)刻蝕法僅適用于硅片的多孔結(jié)構(gòu)制備,不僅硅片原料價(jià)格昂貴,而且能耗較高,此方法不適用于多孔硅粉的制備。

同濟(jì)大學(xué)包志豪等人公開(kāi)了一種用鎂熱還原法制備多孔硅的方法(公開(kāi)號(hào):CN 102259858A),該方法以硅的氧化物SiOx(x=0.5-2)為原料,通過(guò)鎂熱還原反應(yīng)生成硅和氧化鎂的混合物,再使用酸選擇性溶解掉氧化鎂,最終獲得自支撐的多孔硅材料。雖然該方法較電化學(xué)陽(yáng)極腐蝕方法工藝簡(jiǎn)單,避免使用價(jià)格昂貴的單晶硅片,但是它反應(yīng)能耗高、需惰性氣體保護(hù)導(dǎo)致成本較高。因此,限制了鎂熱還原法的大規(guī)模應(yīng)用。

陳乾旺等人提出了水熱法制備多孔硅的技術(shù)(公開(kāi)號(hào):CN 1212989A),將硅粉置于高壓釜內(nèi),含0.1~0.8mol/L氟離子的水溶液中,填充度為60%~80%,調(diào)節(jié)體系的氧化氣氛為2.0-10.0N/L,在100℃~250℃溫度下保持0.5~2小時(shí)。盡管這種方法較其他方法簡(jiǎn)便,但是加熱溫度較高,同時(shí)孔隙較小,孔隙結(jié)構(gòu)可控性較差。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于根據(jù)當(dāng)前多孔硅粉的制備中的缺點(diǎn),提供一種多孔硅粉的制備方法,以鋁硅合金粉為原料,在酸腐蝕體系中,直接腐蝕合金粉中的鋁后形成多孔硅粉,在硅粉內(nèi)部形成孔隙率、結(jié)構(gòu)可控的孔隙,所述方法

一種多孔硅粉的制備方法,包括以下步驟:

1)采用刻蝕液對(duì)鋁硅合金粉進(jìn)行刻蝕,經(jīng)過(guò)1-600min的刻蝕得到含有納米級(jí)孔道的多孔硅,孔徑在1-1000nm;

2)將含有納米級(jí)孔道的多孔硅置于酸性溶液中浸泡,之后經(jīng)清洗去除雜質(zhì),得到多孔硅粉。

所述的刻蝕液為由FeCl3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液或者由AgNO3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液。

本方法在刻蝕劑中加入金屬鹽溶液作為催化劑,金屬離子優(yōu)先置換合金粉中的鋁,使反應(yīng)中加入電化學(xué)反應(yīng),極大的提高了反應(yīng)速度。相較于單純的酸刻蝕,縮短了反應(yīng)時(shí)間,提高產(chǎn)量。

步驟1)中,所述的鋁硅合金粉的粒徑小于等于500μm。所述的鋁硅合金粉

所述的刻蝕液中,F(xiàn)eCl3或AgNO3的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為1%~10%,HCl的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為5%~15%,乙醇的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為0.5%~5%。

所述的刻蝕的溫度為30℃~90℃。進(jìn)一步優(yōu)選,所述的刻蝕的溫度為30℃~40℃。所述的刻蝕的溫度為30℃。

所述的刻蝕的過(guò)程采用機(jī)械攪拌或者磁力攪拌。

步驟2)中,所述的酸性溶液為HCl、HF、H2SO4、HNO3中的一種或兩種以上(包括兩種),酸性溶液可以是單一酸或者混合酸。所述的浸泡的時(shí)間為0.5-5小時(shí)。

所述的酸性溶液的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為1%~10%。

所述的清洗去除雜質(zhì)采用去離子水清洗。

最優(yōu)選的,一種多孔硅粉的制備方法,包括以下步驟:

1)采用刻蝕液對(duì)鋁硅合金粉進(jìn)行刻蝕,經(jīng)過(guò)30℃、60min的刻蝕,刻蝕的過(guò)程采用300r/min磁力攪拌,得到含有納米級(jí)孔道的多孔硅,孔徑在1-1000nm;

所述的鋁硅合金粉的粒徑小于等于200μm;

所述的刻蝕液為由FeCl3、HCl、乙醇和水組成的混合溶液,所述的刻蝕液中,F(xiàn)eCl3的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為5%,HCl的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為10%,乙醇的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為2%;

2)將含有納米級(jí)孔道的多孔硅置于質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為5%鹽酸溶液中浸泡1小時(shí),之后采用去離子水清洗去除雜質(zhì),干燥得到多孔硅粉。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):

本發(fā)明提供的刻蝕硅粉制備多孔硅,引入AgNO3或FeCl3、HCl、乙醇和水,通過(guò)控制腐蝕液濃度可控制多孔硅粉的形貌、孔徑、成孔速度等。本法相較于傳統(tǒng)的電化學(xué)陽(yáng)極刻蝕法、鎂熱還原等方法,避免了高溫導(dǎo)致的高能耗、昂貴的高溫設(shè)備及復(fù)雜操作。本方法在刻蝕劑中加入金屬鹽溶液作為催化劑,金屬離子優(yōu)先置換合金粉中的鋁,使反應(yīng)中加入電化學(xué)反應(yīng),極大的提高了反應(yīng)速度。相較于單純的酸刻蝕,縮短了反應(yīng)時(shí)間,提高產(chǎn)量。

本方法的優(yōu)勢(shì)在于利用簡(jiǎn)單反應(yīng)加電化學(xué)反應(yīng)常溫下制備多孔硅,避免了加熱設(shè)備。本方法具有設(shè)備簡(jiǎn)單、反應(yīng)時(shí)間短、操作方便、成本低、材料結(jié)構(gòu)可控、能適應(yīng)大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)等優(yōu)勢(shì)。

附圖說(shuō)明

圖1為實(shí)施例1制備的具有納米孔的多孔硅的SEM圖片圖像,其中放大倍數(shù)為×50K。

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)具體實(shí)例詳細(xì)介紹本發(fā)明的技術(shù)方案,但本發(fā)明不局限于實(shí)施例,以下實(shí)例僅限于解釋本發(fā)明,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)包括權(quán)利要求書中的所有內(nèi)容。

如無(wú)特別說(shuō)明,本發(fā)明實(shí)施例中出現(xiàn)的百分?jǐn)?shù)均為質(zhì)量百分?jǐn)?shù)。

實(shí)施例1

本實(shí)例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:鋁硅合金粉的粒徑小于等于200μm,在30℃下放入5%FeCl3、10%鹽酸、2%酒精和水的混合液中進(jìn)行刻蝕,同時(shí)進(jìn)行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過(guò)60min的刻蝕,得到多孔硅,孔徑在1-1000nm之間。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進(jìn)行浸泡1小時(shí)得到的多孔硅粉。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實(shí)施例2

本實(shí)例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%FeCl3、20%%鹽酸與2%混酒精合液中進(jìn)行刻蝕(攪拌速度為300r/min),同時(shí)進(jìn)行磁力攪拌,經(jīng)過(guò)60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進(jìn)行浸泡1小時(shí)。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實(shí)施例3

本實(shí)例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%AgNO3、10%鹽酸與2%混酒精合液中進(jìn)行刻蝕,同時(shí)進(jìn)行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過(guò)60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進(jìn)行浸泡1小時(shí)。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

實(shí)施例4

本實(shí)例所述多孔硅的制備方法,具體包括以下步驟:

(1)硅粉的刻蝕:在30℃下放入5%AgNO3、20%鹽酸與2%混酒精合液中進(jìn)行刻蝕,同時(shí)進(jìn)行磁力攪拌(攪拌速度為300r/min),經(jīng)過(guò)60min的刻蝕。

(2)將(1)中得到的多孔硅的放入5%的HCl中進(jìn)行浸泡1小時(shí)。

(3)將(2)中得到的多孔硅粉用去離子水清洗3次,然后干燥即可得到多孔硅粉。

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