一種制備hit太陽能電池的載板和加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制備領(lǐng)域，尤其涉及一種制備HIT太陽能電池的載板和加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]HIT太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，相對傳統(tǒng)單/多晶硅電池，有更高的發(fā)電效率，更好的穩(wěn)定性和更低的成本。其PN結(jié)制備工序是采用板式PECVD制成，在PECVD制程中用到一種工裝夾具-載板。如圖1A所示，常規(guī)的載板200A，是在一整塊金屬板或非金屬版200 (如:CFC板)上開槽201，如圖1B所示，當(dāng)硅片300放在槽201中時，硅片300下表面和槽201表面直接接觸，槽201表面會對硅片造成污染，嚴(yán)重影響電池的性能。
[0003]因此，設(shè)計一種特定的載板，對于提高HIT太陽能電池的質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率，降低生產(chǎn)成本有著重大意義和應(yīng)用前景。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種制備HIT太陽能電池的載板和加熱裝置，其提高HIT太陽能電池的生產(chǎn)質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下設(shè)計方案，
[0006]—種制備HIT太陽能電池的載板，其包括載板主體，所述載板主體上設(shè)有至少一個凹槽，所述凹槽用于承載硅片，所述凹槽內(nèi)還設(shè)有多個凸起，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起支撐。
[0007]優(yōu)選的，所述凹槽上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起和臺階形邊槽支撐。
[0008]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0009]—種制備HIT太陽能電池的加熱裝置，其包括載板、加熱板，所述載板放置在加熱板上，所述載板包括載板主體，所述載板主體上設(shè)有至少一個凹槽，所述凹槽用于承載硅片，所述凹槽內(nèi)還設(shè)有多個凸起，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起支撐。
[0010]優(yōu)選的，所述凹槽上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起和臺階形邊槽支撐。
[0011]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0012]本實用新型采用以上設(shè)計方案，通過在載板的凹槽內(nèi)設(shè)計多個凸起，硅片放置在凹槽內(nèi)，并由多個凸起支撐，最大限度的減小硅片和載板的接觸面積，減小對硅片造成污染，從而提高HIT太陽能電池的質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【附圖說明】
[0013]圖1A為傳統(tǒng)載板不意圖；
[0014]圖1B為傳統(tǒng)載板放置硅片后的剖視圖；
[0015]圖2A為本實用新型載板示意圖；
[0016]圖2B為本實用新型載板放置硅片后的剖視圖；
[0017]圖2C為本實用新型加熱裝置放置硅片后的剖視圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0019]如圖2A、圖2B所示，本實用新型公開了一種制備HIT太陽能電池的載板500A，其包括載板主體500，所述載板主體500上設(shè)有多個凹槽501，所述凹槽501用于承載硅片300，所述凹槽501內(nèi)還設(shè)有多個凸起502。凹槽501上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽503，所述硅片300放置凹槽501內(nèi)并由多個凸起502和臺階形邊槽503支撐。所述載板500A可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡LB ^ 10
[0020]如圖2C所示，本實用新型還公開了一種制備HIT太陽能電池的加熱裝置，其包括載板500A、加熱板400，載板放置在加熱板400上，所述載板500A包括載板主體500，所述載板主體500上設(shè)有多個凹槽501，所述凹槽501用于承載硅片300，所述凹槽501內(nèi)還設(shè)有多個凸起502。凹槽501上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽503，所述硅片300放置凹槽501內(nèi)并由多個凸起502和臺階形邊槽503支撐。
[0021]本實用新型通過在載板500A的凹槽501內(nèi)設(shè)計多個凸起502，硅片300放置在凹槽501內(nèi)，并由多個凸起502支撐，最大限度的減小硅片300和載板500A的接觸面積，減小對硅片造成污染，從而提高HIT太陽能電池的質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
[0022]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種制備HIT太陽能電池的載板，其特征在于:包括載板主體，所述載板主體上設(shè)有至少一個凹槽，所述凹槽用于承載硅片，所述凹槽內(nèi)還設(shè)有多個凸起，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起支撐。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備HIT太陽能電池的載板，其特征在于:所述凹槽上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起和臺階形邊槽支撐。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備HIT太陽能電池的載板，其特征在于:所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡LB ^ 104.一種制備HIT太陽能電池的加熱裝置，其特征在于:包括載板、加熱板，所述載板放置在加熱板上，所述載板包括載板主體，所述載板主體上設(shè)有至少一個凹槽，所述凹槽用于承載硅片，所述凹槽內(nèi)還設(shè)有多個凸起，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起支撐。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備HIT太陽能電池的加熱裝置，其特征在于:所述凹槽上方的四周側(cè)壁還設(shè)有臺階形邊槽，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起和臺階形邊槽支撐。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備HIT太陽能電池的加熱裝置，其特征在于:所述載板可由AXB的多個載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
【專利摘要】本實用新型公開了一種制備HIT太陽能電池的載板和加熱裝置，其中所述載板包括載板主體，所述載板主體上設(shè)有至少一個凹槽，所述凹槽用于承載硅片，所述凹槽內(nèi)還設(shè)有多個凸起，所述硅片放置凹槽內(nèi)并由多個凸起支撐，所述加熱裝置包括載板和加熱板。本實用新型通過在載板的凹槽內(nèi)設(shè)計多個凸起，硅片放置在凹槽內(nèi)，并由多個凸起支撐，最大限度的減小硅片和載板的接觸面積，減小對硅片造成污染，從而提高HIT太陽能電池的質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【IPC分類】H01L21/687, H01L21/67, H01L31/18
【公開號】CN204834574
【申請?zhí)枴緾N201520490997
【發(fā)明人】楊與勝, 王樹林, 倪鵬玉, 莊輝虎
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年7月9日