技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種太陽能電池鍍膜方法及太陽能電池。所述方法包括以下步驟：將放置有硅片的載板放置在傳輸裝置上；關(guān)閉第一隔離機構(gòu)，使預(yù)熱腔室與氧化腔室斷開，關(guān)閉第二隔離機構(gòu)，使氧化腔室與鍍膜腔室斷開；對氧化腔室和鍍膜腔室分別抽真空；將載板傳送至預(yù)熱腔室中，對預(yù)熱腔室抽真空，對硅片進行預(yù)熱；開啟第一隔離機構(gòu)，傳輸裝置將載板傳送至氧化腔室中，再次關(guān)閉第一隔離機構(gòu)，形成氧化硅薄膜；開啟第二隔離機構(gòu)，將載板傳送至鍍膜腔室，再次關(guān)閉第二隔離機構(gòu)，在鍍膜腔室中沉積氮化硅薄膜、非晶硅薄膜和/或氧化鋁薄膜。本發(fā)明能夠在真空環(huán)境下連續(xù)完成全部的鍍膜過程，降低了硅片的污染程度和破碎率。

技術(shù)研發(fā)人員：上官泉元;莊正軍;朱廣東;侯岳明;楊玉杰
受保護的技術(shù)使用者：常州比太科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.09
技術(shù)公布日：2017.09.29