專利名稱：薄膜疊層方法及疊層裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在基板上疊層薄膜狀組合物的方法及疊層裝置。
背景技術(shù)：
作為在印刷基板上疊層抗蝕膜的方法，歷來(lái)知道的有在加熱下、在基板和薄膜的厚度方向加壓貼合的方法。在這種方法中，期望通過(guò)加熱使薄膜的粘度降低、通過(guò)加壓使薄膜對(duì)基板的密合性提高，在覆蓋基板上的凹凸時(shí)不使氣泡混入基板-薄膜之間，從而提高對(duì)凹凸的覆蓋性能。
但是，上述方法中的加熱條件因?yàn)槭芑搴捅∧さ牟馁|(zhì)的限制，在不能加熱到僅使薄膜的粘度充分降低的場(chǎng)合，很難得到完全的疊層效果。特別是在薄膜含有反應(yīng)性物質(zhì)的場(chǎng)合，對(duì)于加熱溫度和加熱時(shí)間有嚴(yán)格的限制，很容易出現(xiàn)對(duì)基板的密合性和基板上的凹凸覆蓋性的不充分。另外，在實(shí)際的作業(yè)中，為得到上述的加熱效果，需要預(yù)先把基板和疊層裝置加熱到規(guī)定的溫度，由此，有時(shí)基板和薄膜會(huì)出現(xiàn)劣化。
因此，為解決上述問(wèn)題，人們正在研究不一定要進(jìn)行加熱的疊層方法和裝置。例如在特開(kāi)昭55-148486號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了沿基板和薄膜的疊層方向搖動(dòng)加壓裝置的薄膜疊層裝置。另外，特開(kāi)昭62-60645號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了通過(guò)電磁式振動(dòng)器等振動(dòng)疊層輥來(lái)除去在基板和薄膜間包圍的空氣的疊層裝置。
但是，上述現(xiàn)有的疊層裝置不一定容易能實(shí)現(xiàn)高水平的密合性和凹凸覆蓋性，多有薄膜不能進(jìn)入基板的凹凸部分而產(chǎn)生密合不良的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而提出來(lái)的，其目的是提供一種薄膜疊層方法以及疊層裝置，它可以在基板上疊層薄膜時(shí)，充分提高薄膜對(duì)于基板的密合性和凹凸覆蓋性，可以以高水平實(shí)現(xiàn)薄膜向基板的凹凸部分的埋入性。
也就是說(shuō)，本發(fā)明的薄膜疊層方法是在基板上疊層薄膜時(shí)，在基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波。
本發(fā)明人認(rèn)為，在本發(fā)明的薄膜疊層方法中，通過(guò)在基板上疊層薄膜時(shí)在基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波，通過(guò)聲音振動(dòng)能作用產(chǎn)生薄膜的彈性形變、塑性形變、基板-薄膜間的原子間結(jié)合、摩擦熱等，因此可以充分提高薄膜對(duì)基板的密合性和凹凸覆蓋性，可以以高水平實(shí)現(xiàn)薄膜向基板的凹凸部分的埋入性。
在本發(fā)明的薄膜疊層方法中，最好在基板上配置所述薄膜，在厚度方向加壓的同時(shí)，在基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波。通過(guò)同時(shí)進(jìn)行加壓和施加聲波，由于加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以進(jìn)一步提高薄膜對(duì)于基板的密合性和凹凸覆蓋性。
另外，本發(fā)明的薄膜疊層方法也可以具有下述工序在基板上配置薄膜并加壓的加壓工序，在加壓工序后的基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波施加工序。通過(guò)在加壓工序后執(zhí)行聲波施加工序，可以得到加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以進(jìn)一步提高薄膜對(duì)于基板的密合性和凹凸覆蓋性。
另外，本發(fā)明的薄膜疊層方法也可以具有下述工序在基板上疊層薄膜時(shí)在基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波施加工序，和在聲波施加工序后的基板和薄膜的厚度方向加壓的加壓工序。通過(guò)在聲波施加工序后執(zhí)行加壓工序，可以得到加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以進(jìn)一步提高薄膜對(duì)于基板的密合性和凹凸覆蓋性。
另外，本發(fā)明的薄膜疊層方法中的聲波頻率最好為16kHz或其以上。通過(guò)使用頻率為16kHz或其以上的聲波，可以進(jìn)一步提高對(duì)薄膜的密合性和凹凸覆蓋性。
根據(jù)本發(fā)明的薄膜疊層方法，即使是在基板裝備有導(dǎo)電性金屬層、薄膜是由感光性樹(shù)脂組合物或者熱硬化性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的場(chǎng)合，也可以實(shí)現(xiàn)充分高水平的埋入性。此外，歷來(lái)，在裝備有導(dǎo)電性金屬層的基板上疊層由感光性樹(shù)脂組合物形成的薄膜的場(chǎng)合，由于加熱條件的限制等，很容易成為密合性和凹凸覆蓋性不充分的情形。
本發(fā)明的薄膜疊層裝置，裝備有在基板或者在該基板上配置的薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波發(fā)生裝置。由此，本發(fā)明人認(rèn)為，可以高效而且可靠地產(chǎn)生通過(guò)聲音振動(dòng)能的作用引起的薄膜的彈性形變、塑性形變、基板-薄膜間的原子間結(jié)合、摩擦熱等，可以保持高水平的密合性和凹凸覆蓋性，在基板上疊層薄膜。
另外，本發(fā)明的薄膜疊層裝置，最好再具有在基板和薄膜的厚度方向加壓的加壓裝置。通過(guò)這樣的加壓裝置和聲波發(fā)生裝置，可以得到加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以更加提高薄膜對(duì)基板的密合性和凹凸覆蓋性。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖3是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖5是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。
圖7是在實(shí)施例4得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖8是在實(shí)施例5得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖9是在實(shí)施例6得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖10是在實(shí)施例7得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖11是在實(shí)施例8得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖12是在比較例4得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖13是在比較例5得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
圖14是在比較例6得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
具體實(shí)施例方式
下面參考

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。圖中，給相同或者相當(dāng)?shù)牟糠仲x予同一附圖標(biāo)記，省略重復(fù)的說(shuō)明。
本發(fā)明的薄膜疊層方法及裝置，對(duì)于基板或者薄膜施加聲波，通過(guò)該聲音振動(dòng)能作用提高薄膜對(duì)于基板的密合性以及凹凸覆蓋性，能夠達(dá)到即使不要加熱薄膜也能實(shí)現(xiàn)充分的疊層效果。因此，本發(fā)明所涉及的基板及薄膜，只要能通過(guò)上述聲音振動(dòng)能作用提高密合性以及凹凸覆蓋性即可，而沒(méi)有特別的限定。
例如，作為基板，可以使用裝備銅箔等的導(dǎo)電性金屬層、在該導(dǎo)電性金屬層上形成凹凸的印刷基板、甚或可以玻璃基板等。
作為薄膜，可以使用由感光性樹(shù)脂組合物或者熱塑性樹(shù)脂組合物形成的層的薄膜。特別的，即使在使用由配入了光聚合性化合物的感光性樹(shù)脂組合物形成的薄膜那樣具有加熱條件限制的材料的場(chǎng)合，也可以合適地進(jìn)行該薄膜向基板上的疊層。作為這樣的樹(shù)脂，可以舉出丙烯酸系樹(shù)脂、甲基丙烯酸系樹(shù)脂、苯乙烯系樹(shù)脂、環(huán)氧系樹(shù)脂、酰胺系樹(shù)脂、酰胺環(huán)氧系樹(shù)脂、醇酸系樹(shù)脂、苯酚系樹(shù)脂、聚酯系樹(shù)脂、氨基甲酸乙酯系樹(shù)脂等。另外，作為光聚合性化合物，例如可以舉出分子內(nèi)有至少一個(gè)可聚合的乙烯性不飽和鍵的化合物，更具體說(shuō)，是使α、β-不飽和羰酸與多元乙醇反應(yīng)得到的化合物、雙酚系(甲基)丙烯酸脂化合物、分子內(nèi)具有氨基甲酸乙酯鍵的(甲基)丙烯酸脂化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯等。
圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。圖1所示的薄膜疊層裝置在支持基板1以及薄膜2的支持臺(tái)5的上面?zhèn)妊b備有聲波發(fā)生裝置4。聲波發(fā)生裝置4包含發(fā)生具有規(guī)定頻率的聲波的振子41、以及把振子41發(fā)出的聲波向薄膜2集中的角部件42構(gòu)成，可沿支持臺(tái)5的上面在規(guī)定的方向上(例如圖中的箭頭方向)移動(dòng)。
使用具有上述結(jié)構(gòu)的薄膜疊層裝置在基板1上疊層薄膜2時(shí)，在支持臺(tái)5上把薄膜2疊層在基板1上那樣配置，一邊使聲波發(fā)生裝置4沿著支持臺(tái)5的上面移動(dòng)，一邊對(duì)薄膜2施加具有規(guī)定頻率的聲波。由此，由于聲音振動(dòng)能作用可以充分提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性。
這里，本發(fā)明使用的聲波的頻率，最好為16kHz或其以上，為20kHz或其以上更好。該頻率不到上述下限值的話，有降低密合性和凹凸覆蓋性的傾向。另外，聲波頻率最好為1GHz或其以下，為10MHz或其以下更好，為300kHz或其以下特別好。
圖2是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。在圖2所示的裝置中，在支持基板1以及薄膜2的支持臺(tái)5的上面?zhèn)扰渲醚b備有加壓部件31以及氣筒32的加壓裝置3。加壓部件31通過(guò)來(lái)自氣筒32的壓力可以在和支持臺(tái)5的上表面垂直的方向上移動(dòng)。由此，在基板1和薄膜2的厚度方向上加壓時(shí)，即使在基板1上形成有凹凸的場(chǎng)合，也可以沿其起伏一邊保持規(guī)定的壓力一邊加壓。
另外，在該裝置中，在加壓裝置3鄰近配置有聲波發(fā)生裝置4。振子41發(fā)生的聲波通過(guò)角部件42施加到加壓部件31。
在使用具有上述結(jié)構(gòu)的薄膜疊層裝置在基板1上疊層薄膜2時(shí)，在支持臺(tái)5上把薄膜2疊層在基板1上那樣配置，通過(guò)使用氣筒32向下壓加壓部件31，在基板1和薄膜2的厚度方向施加規(guī)定的壓力。然后，在這樣加壓時(shí)，通過(guò)把由聲波發(fā)生裝置4發(fā)生的具有規(guī)定頻率的聲波施加到加壓部件31，該聲波通過(guò)加壓部件31傳遞給薄膜2，通過(guò)加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以充分提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性。
另外，因?yàn)槁暡ń?jīng)由加壓部件31向薄膜2傳遞，該聲波高效而且確實(shí)地施加到加壓部件31抵接的基板1和薄膜2的疊層部位，因此可以實(shí)現(xiàn)非常高水平的疊層效果。
由加壓裝置3給薄膜2施加的壓力最好為0.1～1MPa。當(dāng)該壓力達(dá)不到上述下限值時(shí)，即使給薄膜2施加聲波，薄膜2對(duì)基板1的密合性和凹凸覆蓋性也有降低的傾向。另一方面，當(dāng)該壓力超過(guò)上述上限值時(shí)，在基板1上施加的負(fù)荷過(guò)度變大，有發(fā)生損傷基板1的問(wèn)題的危險(xiǎn)。
圖3是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。在圖3所示的裝置中，兩個(gè)聲波發(fā)生裝置4的角部件42向著加壓部件31和基板1之間的疊層部位配置，來(lái)自聲波發(fā)生裝置4的聲波直接施加到薄膜2。
在第三實(shí)施方式中，僅在來(lái)自聲波發(fā)生裝置4的聲波直接施加到薄膜2這一點(diǎn)上和圖2所示的裝置不同，通過(guò)加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，實(shí)現(xiàn)提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性的效果這一點(diǎn)和第二實(shí)施方式相同。另外，通過(guò)這樣的不經(jīng)由加壓部件31給薄膜2直接施加聲波，可以降低氣筒32的軸部等的損傷，可以實(shí)現(xiàn)裝置的長(zhǎng)壽命。
另外，聲波發(fā)生裝置4的數(shù)量，只要能夠?qū)?和薄膜2的疊層部位充分施加聲波即可，不特別限制。一個(gè)也可、3個(gè)或3個(gè)以上也可。
圖4是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。圖4所示的裝置，裝備相對(duì)的加壓輥33a、33b作為加壓部件，加壓輥33a、33b分別可以以轉(zhuǎn)動(dòng)軸34a、34b為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，在支持加壓輥33a(轉(zhuǎn)動(dòng)軸34a)的支架35上，傳遞有由振子41發(fā)生的、由角部件42匯集的聲波。再有，該裝置裝備多個(gè)移送輥6，可以在加壓輥33a、33b之間移送疊層的基板1和薄膜2。
在第四實(shí)施方式中，配置有薄膜2的基板1通過(guò)移送輥6在加壓輥33a、33b之間移送，通過(guò)氣筒32加壓輥33a下壓，在基板1和薄膜2的厚度方向加壓。此時(shí)，因?yàn)閬?lái)自聲波發(fā)生裝置4的聲波通過(guò)支架35、加壓輥33a傳遞到薄膜2，因此通過(guò)加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，可以提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性。
另外，通過(guò)這樣使用加壓輥33a、33b以及移送輥6，來(lái)自氣筒31的壓力以及聲波發(fā)生裝置4的聲波均勻地傳遞到與加壓輥之間的薄膜2的移送方向垂直的抵接部位。另外，因?yàn)槭沁B續(xù)執(zhí)行這樣的疊層工序，因此可以更加提高疊層效率。
圖5是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。圖5所示的裝置在支持基板1及薄膜2的支持臺(tái)5的上面?zhèn)妊b備加壓裝置3以及聲波發(fā)生裝置4。加壓裝置3裝備相對(duì)支持臺(tái)5的上面配置的加壓輥33，通過(guò)用支架35支持加壓輥33的轉(zhuǎn)動(dòng)軸34，加壓輥33可以轉(zhuǎn)動(dòng)。聲波發(fā)生裝置4和上述實(shí)施方式相同，包含振子41及角部件42構(gòu)成。加壓裝置3以及聲波發(fā)生裝置4可以沿支持臺(tái)5的上面在規(guī)定的方向(例如圖中箭頭的方向)移動(dòng)。
在第五實(shí)施方式中，在把薄膜2配置到基板1上后，通過(guò)加壓裝置3在基板1和薄膜2的厚度方向加壓，進(jìn)而通過(guò)聲波發(fā)生裝置4施加聲波。這樣，即使在加壓工序后執(zhí)行施加聲波工序的場(chǎng)合，也可以通過(guò)加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性。
圖6是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的薄膜疊層裝置的概要結(jié)構(gòu)圖。圖6所示的裝置，只有在加壓裝置3以及聲波發(fā)生裝置4的配置相對(duì)于其移動(dòng)方向相反這一點(diǎn)上不同，其余與圖5所示裝置具有同樣的結(jié)構(gòu)。
在第六實(shí)施方式中，在把薄膜2配置到基板1上后，通過(guò)聲波發(fā)生裝置4施加聲波，進(jìn)而通過(guò)加壓裝置3在基板1和薄膜2的厚度方向加壓。這樣，即使在施加聲波工序后執(zhí)行加壓工序的場(chǎng)合，也可以通過(guò)加壓和聲音振動(dòng)能作用的疊加效果，提高基板1和薄膜2的密合性和凹凸覆蓋性。
此外，本發(fā)明不限定在上述實(shí)施方式。例如，圖1～6中所示裝置中的任何一個(gè)都是把聲波施加到薄膜2上執(zhí)行和基板1的疊層的，但是也可以把聲波施加到基板1上，另外，也可以給基板1、薄膜2雙方施加聲波。再有，在對(duì)基板1施加聲波的場(chǎng)合，在支持臺(tái)5上可以分開(kāi)設(shè)置施加聲波的聲波發(fā)生裝置，通過(guò)支持臺(tái)5給基板1施加聲波。
另外，在上述任一實(shí)施方式中，可以使用移送輥6代替支持臺(tái)5、或者使用支持臺(tái)5代替移送輥6。
下面通過(guò)實(shí)施例和比較例進(jìn)一步具體說(shuō)明本發(fā)明，但是本發(fā)明不限定于下面的實(shí)施例。
(實(shí)施例1)
使用具有圖2所示結(jié)構(gòu)的裝置，在銅箔上具有深度5～9μm的裂痕(キズ)的敷銅箔疊層板(商品名MCL-E-679，日立化成工業(yè)(株)社制)上，疊層感光性薄膜(商品名フォテックRY-3025，日立化成工業(yè)(株)社制)。亦即在23℃下，把敷銅箔疊層板和感光性薄膜的感光性樹(shù)脂組合物層粘合，在厚度方向一邊施加0.4MPa，一邊施加頻率為28kHz的聲波，得到疊層體。
對(duì)所得到的疊層體上的敷銅箔疊層板的裂痕的薄膜的埋入性根據(jù)下面的標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)A薄膜全部充分地埋入5～9μm的裂痕B薄膜埋入至5～7μm的裂痕C薄膜埋入至5μm的裂痕，或者不全部埋入表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
(實(shí)施例2)除聲波頻率取40kHz以外，和實(shí)施例1同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜，進(jìn)行埋入性的評(píng)價(jià)。表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
(實(shí)施例3)除聲波頻率取10kHz以外，和實(shí)施例1同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜，進(jìn)行埋入性的評(píng)價(jià)。表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
(比較例1)使用高溫常壓疊層裝置，和實(shí)施例1同樣粘合敷銅箔疊層板和感光性薄膜，在把薄膜加熱到110℃的同時(shí)在厚度方向加壓0.4MPa，得到疊層體。
對(duì)于得到的疊層體，和實(shí)施例1同樣執(zhí)行埋入性評(píng)價(jià)。表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
(比較例2)使用振動(dòng)疊層器(大成ラミネ-タ-(株)社制)，和實(shí)施例1同樣粘合敷銅箔疊層板和感光性薄膜，在厚度方向加壓0.4MPa的同時(shí)，施加25,000c/min的振動(dòng)，得到疊層體。這樣的疊層工序在23℃進(jìn)行。
對(duì)于得到的疊層體，和實(shí)施例1同樣執(zhí)行埋入性評(píng)價(jià)。表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
(比較例3)除把薄膜加熱到110℃以外和比較例2同樣進(jìn)行敷銅箔疊層板和感光性薄膜的疊層。
對(duì)于得到的疊層體，和實(shí)施例1同樣執(zhí)行埋入性評(píng)價(jià)。表1示出了得到的評(píng)價(jià)結(jié)果。
表1

(實(shí)施例4)使用具有圖2所示結(jié)構(gòu)的裝置，在厚度18μm的銅箔上具有深7μm、寬100μm的裂痕的敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜(商品名H-W425，日立化成工業(yè)(株)社制，流動(dòng)性140μm)。亦即在23℃下把敷銅箔疊層板和感光性薄膜的感光性樹(shù)脂組合物層粘合，在厚度方向加壓0.4MPa，同時(shí)施加頻率為28kHz的聲波，得到疊層體。此時(shí)的疊層溫度取80℃，疊層速度取1.5m/min。另外，在疊層敷銅箔疊層板和感光性薄膜時(shí)，不進(jìn)行基板的預(yù)熱。圖7表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片(倍率1,500,000倍，以下相同)。
(實(shí)施例5)除使銅箔上具有的裂痕的寬度為200μm以外，其余和實(shí)施例4同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖8表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(實(shí)施例6)
除使銅箔上具有的裂痕寬度為400μm以外，其余和實(shí)施例4同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖9表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(實(shí)施例7)除使銅箔上具有的裂痕寬度為300μm、同時(shí)使用FR-5025(日立化成工業(yè)(株)社制)作為感光性薄膜之外，其余和實(shí)施例4同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖10表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(實(shí)施例8)除銅箔厚度取35μm、裂痕的寬度取400μm之外，其余和實(shí)施例7同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖11表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(比較例4)除不施加聲波外，其余和實(shí)施例4同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖12表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(比較例5)除不施加聲波外，其余和實(shí)施例5同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖13表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
(比較例6)除不施加聲波外，其余和實(shí)施例6同樣在敷銅箔疊層板上疊層感光性薄膜。圖14表示所得到的疊層體的電子顯微鏡照片。
如圖7～11所示，可以確認(rèn)實(shí)施例4～8中薄膜對(duì)于裂痕的埋入性良好。另一方面，如圖12～14所示，在比較例4～6的場(chǎng)合，或者在敷銅箔疊層板和薄膜之間產(chǎn)生空隙，或者在薄膜的埋入部分產(chǎn)生深淺不勻，不能得到充分的埋入性。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的薄膜疊層方法及裝置，在基板上疊層薄膜時(shí)，通過(guò)在基板或者薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波，通過(guò)聲音振動(dòng)能作用，可以充分提高薄膜對(duì)基板的密合性和凹凸覆蓋性，實(shí)現(xiàn)高水平的埋入性。
權(quán)利要求
1.薄膜疊層方法，其在向基板上疊層薄膜時(shí)，在所述基板或薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜疊層方法，在所述基板上配置所述薄膜并在厚度方向加壓的同時(shí)，對(duì)所述基板或者所述薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波。
3.如權(quán)利要求1所述的薄膜疊層方法，其具有在所述基板上配置所述薄膜并加壓的加壓工序，和在所述加壓工序后向所述基板或所述薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波施加工序。
4.如權(quán)利要求1所述的薄膜疊層方法，其具有在所述基板上配置所述薄膜并給所述基板或者所述薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波施加工序，和在所述聲波施加工序后在所述基板和所述薄膜的厚度方向加壓的加壓工序。
5.如權(quán)利要求1所述的薄膜疊層方法，所述聲波的頻率為16kHz或其以上。
6.如權(quán)利要求1所述的薄膜疊層方法，所述基板備有導(dǎo)電性金屬層，所述薄膜備有由感光性樹(shù)脂組合物或熱硬化性樹(shù)脂組合物形成的層。
7.薄膜疊層裝置，它備有向基板或者在該基板上配置的薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波的聲波發(fā)生裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的薄膜疊層裝置，進(jìn)一步備有在厚度方向上對(duì)配置在所述基板上的所述薄膜加壓的加壓裝置。
全文摘要
本發(fā)明的薄膜疊層方法，在疊層基板和薄膜時(shí)，對(duì)所述基板或者所述薄膜的至少一方施加具有規(guī)定頻率的聲波。由此，因?yàn)橥ㄟ^(guò)聲音振動(dòng)能作用產(chǎn)生薄膜的彈性形變、塑性形變、基板一薄膜間的原子間結(jié)合、摩擦熱等，因此可以充分提高薄膜對(duì)基板的密合性和凹凸覆蓋性，可以以高水平實(shí)現(xiàn)薄膜向基板的凹凸部分的埋入性。
文檔編號(hào)B29C65/08GK1612800SQ0282696
公開(kāi)日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2002年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月10日
發(fā)明者土屋勝則, 小澤恭子 申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社