一種超高純硝酸的制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種超高純硝酸的制備方法，包括以下步驟：(1)將電子級(jí)硝酸電加熱精餾，溫度控制在110℃±10℃；(2)將步驟(1)所得餾分通過(guò)吹白反應(yīng)釜用氮?dú)馊コs分中的二氧化氮，使其透明無(wú)色；(3)將步驟(2)所得產(chǎn)物放入混配罐，加適量超純水，攪拌30分鐘；(4)將步驟(3)所得產(chǎn)物通過(guò)0.2μm的過(guò)濾器過(guò)濾，以除去混合物中粒徑大于0.2μm的有害粒子，即得此硝酸。該制備方法在原有生產(chǎn)工藝條件下，通過(guò)進(jìn)一步的精餾提純、精密混配，去除產(chǎn)品中的雜質(zhì)，使其純度達(dá)到了PPt級(jí)，能滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝。
【專利說(shuō)明】一種超高純硝酸的制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硝酸的制備方法，尤其涉及一種超高純硝酸的制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]近幾年，中國(guó)集成電路行業(yè)隨著產(chǎn)品由低端向高端延伸發(fā)展的新階段，產(chǎn)業(yè)規(guī)模大幅提高，目前，在全世界太陽(yáng)能綠色能源產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)下，我國(guó)的太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，中國(guó)已經(jīng)成為全球第一大光伏產(chǎn)品生產(chǎn)國(guó)，在《可再生能源中長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃》發(fā)布后，未來(lái)將進(jìn)入全速發(fā)展期。以上種種形勢(shì)表明我國(guó)在太陽(yáng)能、IC、TFT-1XD等行業(yè)的發(fā)展迎來(lái)新一輪的發(fā)展，與之相配套的超高純濕法電子化學(xué)品——超凈高純?cè)噭?、光刻膠及其配套試劑也迎來(lái)了新的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。目前的極大規(guī)模集成電路用超高純硝酸有較多雜質(zhì)，純度不夠。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種超高純硝酸的制備方法，其特征在于包括以下步驟:
[0004](I)將電子級(jí)硝酸電加熱精餾，溫度控制在110°C ±10°C ；
[0005](2)將步驟(1)所得產(chǎn)物通過(guò)吹白反應(yīng)釜用氮?dú)馊コs分中的二氧化氮，使其透明無(wú)色；
[0006](3)將步驟(2)所得產(chǎn)物放入混配罐，加適量超純水，攪拌30分鐘；
[0007](4)將步驟(3)所得產(chǎn)物通過(guò)0.2μπι的過(guò)濾器過(guò)濾，以除去混合物中粒徑大于
0.2 μ m的有害粒子，即得此超高純硝酸；
[0008]上述一種超高純硝酸的制備方法，其中:所述步驟(1)中硝酸相對(duì)密度為1.40~
1.42。
[0009]所述步驟(3)中硝酸濃度控制在65±0.5%。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供一種超高純硝酸的制備方法，采用上述方式制得的超高純硝酸雜質(zhì)少，純度高的硝酸，能達(dá)到PPT等級(jí)，完全滿足極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝。

【具體實(shí)施方式】
[0011 ] 下面通過(guò)實(shí)施例描述本發(fā)明，但不限于所舉實(shí)施例。
[0012](I)將電子級(jí)硝酸電加熱精餾，溫度控制在110°C ±10°C ；
[0013](2)將步驟(1)所得產(chǎn)物通過(guò)吹白反應(yīng)釜用氮?dú)馊コs分中的二氧化氮，使其透明無(wú)色；
[0014](3)將步驟(2)所得產(chǎn)物放入混配罐，加適量超純水，攪拌30分鐘；
[0015](4)將步驟(3)所得產(chǎn)物通過(guò)0.2μπι的過(guò)濾器過(guò)濾，以除去混合物中粒徑大于
0.2 μ m的有害粒子，即得此超高純硝酸；
[0016]上述一種超高純硝酸的制備方法，其中:所述步驟(1)中硝酸相對(duì)密度為1.40~
1.42。
[0017]所述步驟(3)中硝酸濃度控制在65±0.5%。
[0018] 本發(fā)明提供一種超高純硝酸的制備方法，采用上述方式制得的超高純硝酸雜質(zhì)少，純度高的硝酸，能達(dá)到PPT等級(jí)，完全滿足極大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝。
【權(quán)利要求】
1.一種超高純硝酸的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: (1)將電子級(jí)硝酸電加熱精餾，溫度控制在110°C±10°C ； (2)將步驟(1)所得產(chǎn)物通過(guò)吹白反應(yīng)釜用氮?dú)馊コs分中的二氧化氮，使其透明無(wú)色； (3)將步驟(2)所得產(chǎn)物放入混配罐，加適量超純水，攪拌30分鐘； (4)將步驟(3)所得產(chǎn)物通過(guò)0.2 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾，以除去混合物中粒徑大于0.2 μ m的有害粒子，即得此超高純硝酸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高純硝酸的制備方法，其特征在于:所述步驟(1)中硝酸相對(duì)密度為1.40~1.42。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高純硝酸的制備方法，其特征在于:所述步驟(3)中硝酸濃度控制在65 ± 0.5 %。
【文檔編號(hào)】C01B21/46GK104163405SQ201310180561
【公開(kāi)日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2013年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月16日
【發(fā)明者】殷福華, 朱龍, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司