本技術(shù)涉及線電極放電加工領(lǐng)域，尤其涉及一種電火花多線切割輔助裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體的發(fā)展，現(xiàn)有產(chǎn)品中半導(dǎo)體使用的場景越來越多，在半導(dǎo)體中尤其以硅的應(yīng)用最為廣泛。硅在應(yīng)用時(shí)一般是以硅片的形式，硅片通常是由硅棒切割加工而來。具體地，現(xiàn)有技術(shù)中較多使用線鋸進(jìn)行切割。線鋸切割的過程中，線鋸與待切割硅棒之間會(huì)產(chǎn)生較大的應(yīng)力而導(dǎo)致工件表面產(chǎn)生較大的應(yīng)力損傷，不利于硅片的大尺寸、超薄化加工需求的滿足。因此，現(xiàn)有技術(shù)中還存在使用電火花加工工藝對(duì)硅棒進(jìn)行加工的方法。

2、電火花加工是利用脈沖放電產(chǎn)生電蝕現(xiàn)象去除材料的一種加工方法，加工過程中不存在宏觀切削力，對(duì)硬脆的半導(dǎo)體材料加工效果好，并且能夠滿足大尺寸、超薄等加工需求。但傳統(tǒng)的電火花線切割機(jī)床都僅有一根電極絲，單次加工只能切割出一個(gè)硅片，加工效率較低?，F(xiàn)有技術(shù)中還存在多線切割的電火花機(jī)床（即機(jī)床）。如公開日為2009年8月19日、公開號(hào)為cn101508042a的發(fā)明專利申請(qǐng)公布說明書中公開了一種高阻半導(dǎo)體材料的隨動(dòng)進(jìn)電電火花加工方法及裝置，其中，該裝置包括儲(chǔ)絲筒，固定在上線架、下線架（上線架和下線架構(gòu)成線架）以及立柱上的導(dǎo)輪，電極絲在導(dǎo)輪上纏繞多圈，且多圈電極絲相互間隔布置，以使得電極絲在相鄰兩個(gè)導(dǎo)輪之間平行間隔排布，方便對(duì)同一個(gè)半導(dǎo)體材料在不同位置同步進(jìn)行切割，加工一次可以成型多片半導(dǎo)體片，提高了加工效率。

3、然而，上述技術(shù)方案中需要對(duì)機(jī)床重新設(shè)計(jì)，工程量較大，會(huì)提高機(jī)床的生產(chǎn)加工成本，且對(duì)于已經(jīng)成型售賣的電火花線切割機(jī)床無法適用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種電火花多線切割輔助裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中電火花多線切割需要重新設(shè)計(jì)機(jī)床，改動(dòng)量大且不能兼容舊機(jī)床的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型中的電火花多線切割輔助裝置采用如下技術(shù)方案：

3、一種電火花多線切割輔助裝置，包括安裝架，安裝架上設(shè)置有用于安裝固定在機(jī)床的線架或者立柱上的固定結(jié)構(gòu)，安裝架上同一平面內(nèi)設(shè)置有至少三個(gè)導(dǎo)輪，每個(gè)導(dǎo)輪均設(shè)置有至少兩個(gè)間隔布置的用于容納電極絲的導(dǎo)槽，電火花多線切割輔助裝置還包括用于保持電極絲和所安裝的線架之間或者電極絲和所安裝的立柱之間絕緣的絕緣件。

4、進(jìn)一步地，固定結(jié)構(gòu)為連接在安裝架上的固定架，固定架包括用于夾設(shè)在線架或者立柱上的至少一組兩兩相對(duì)布置的夾板，每個(gè)夾板在使用時(shí)超出線架或者立柱的兩個(gè)端部上均設(shè)置有安裝孔，固定架還包括通過安裝孔將每組內(nèi)的兩個(gè)夾板固定連接的連接桿。

5、進(jìn)一步地，安裝架上設(shè)置有至少兩個(gè)供連接桿穿過的連接桿穿孔。

6、進(jìn)一步地，安裝架包括平行間隔布置的安裝板和支撐板，安裝板上設(shè)置有所述固定結(jié)構(gòu)，安裝板和支撐板上分別設(shè)置有所述導(dǎo)輪，安裝架還包括固定連接在安裝板和支撐板之間的支撐件。

7、進(jìn)一步地，所述支撐件為支撐桿，支撐桿設(shè)置有至少兩個(gè)，支撐桿的端部分別設(shè)置有與安裝板穿裝配合的安裝螺紋段和用于與支撐板穿裝配合的支撐螺紋段，安裝螺紋段上且位于安裝板的兩側(cè)分別設(shè)置有安裝螺母，支撐螺紋段的位于支撐板的兩側(cè)分別設(shè)置有支撐螺母。

8、進(jìn)一步地，安裝架上固定設(shè)置有用于安裝導(dǎo)輪的軸承座，所述安裝板上和支撐板上均設(shè)置有用于對(duì)軸承座限位的限位凹槽。

9、進(jìn)一步地，導(dǎo)輪為絕緣導(dǎo)輪，絕緣導(dǎo)輪構(gòu)成所述絕緣件，安裝架上還設(shè)置有絕緣座，絕緣座上設(shè)置有用于與導(dǎo)輪的導(dǎo)槽內(nèi)的多根電極絲接觸以使多根間隔布置的電極絲電連接的導(dǎo)電件。

10、進(jìn)一步地，導(dǎo)電件為導(dǎo)電棒，導(dǎo)電棒的外周面上形成有用于頂壓張緊電極絲的頂壓張緊部。

11、進(jìn)一步地，安裝架包括平行間隔布置的安裝板和支撐板，安裝板上設(shè)置有所述連接桿穿孔，安裝板的至少一側(cè)還設(shè)置有用于避讓夾板以使夾板緊貼線架或者立柱的避讓槽。

12、進(jìn)一步地，電火花多線切割輔助裝置還包括用于固定設(shè)置在線架或者立柱上的噴液底座，噴液底座上設(shè)置有萬向噴液管，萬向噴液管上設(shè)置有用于連通機(jī)床上的工作液管的工作液接口。

13、本實(shí)用新型中電火花多線切割輔助裝置的有益效果在于：本實(shí)用新型開拓性地提出一種電火花多線切割輔助裝置，其中通過設(shè)置安裝架便于將該裝置固定設(shè)置在機(jī)床上，便于對(duì)機(jī)床進(jìn)行額外的安裝操作，同時(shí)也方便導(dǎo)輪的安裝；通過設(shè)置至少三個(gè)導(dǎo)輪，且每個(gè)導(dǎo)輪上設(shè)置至少兩個(gè)間隔布置的導(dǎo)槽，便于對(duì)電極絲進(jìn)行引導(dǎo)，便于將電極絲排布成多條間隔布置的形式，通過絕緣件的設(shè)置避免電極絲和線架或者電極絲與立柱之間的電連接，也就是說此時(shí)不必對(duì)機(jī)床進(jìn)行改造，只需要將該裝置額外安裝到機(jī)床上即可，便于機(jī)床的升級(jí)改造，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中電火花多線切割需要重新設(shè)計(jì)機(jī)床，改動(dòng)量大且不能兼容舊機(jī)床的問題。

技術(shù)特征：

1.一種電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：包括安裝架，安裝架上設(shè)置有用于安裝固定在機(jī)床的線架或者立柱上的固定結(jié)構(gòu)，安裝架上同一平面內(nèi)設(shè)置有至少三個(gè)導(dǎo)輪，每個(gè)導(dǎo)輪均設(shè)置有至少兩個(gè)間隔布置的用于容納電極絲的導(dǎo)槽，電火花多線切割輔助裝置還包括用于保持電極絲和所安裝的線架之間或者電極絲和所安裝的立柱之間絕緣的絕緣件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：固定結(jié)構(gòu)為連接在安裝架上的固定架，固定架包括用于夾設(shè)在線架或者立柱上的至少一組兩兩相對(duì)布置的夾板，每個(gè)夾板在使用時(shí)超出線架或者立柱的兩個(gè)端部上均設(shè)置有安裝孔，固定架還包括通過安裝孔將每組內(nèi)的兩個(gè)夾板固定連接的連接桿。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：安裝架上設(shè)置有至少兩個(gè)供連接桿穿過的連接桿穿孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：安裝架包括平行間隔布置的安裝板和支撐板，安裝板上設(shè)置有所述固定結(jié)構(gòu)，安裝板和支撐板上分別設(shè)置有所述導(dǎo)輪，安裝架還包括固定連接在安裝板和支撐板之間的支撐件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：所述支撐件為支撐桿，支撐桿設(shè)置有至少兩個(gè)，支撐桿的端部分別設(shè)置有與安裝板穿裝配合的安裝螺紋段和用于與支撐板穿裝配合的支撐螺紋段，安裝螺紋段上且位于安裝板的兩側(cè)分別設(shè)置有安裝螺母，支撐螺紋段的位于支撐板的兩側(cè)分別設(shè)置有支撐螺母。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：安裝架上固定設(shè)置有用于安裝導(dǎo)輪的軸承座，所述安裝板上和支撐板上均設(shè)置有用于對(duì)軸承座限位的限位凹槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：導(dǎo)輪為絕緣導(dǎo)輪，絕緣導(dǎo)輪構(gòu)成所述絕緣件，安裝架上還設(shè)置有絕緣座，絕緣座上設(shè)置有用于與導(dǎo)輪的導(dǎo)槽內(nèi)的多根電極絲接觸以使多根間隔布置的電極絲電連接的導(dǎo)電件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：導(dǎo)電件為導(dǎo)電棒，導(dǎo)電棒的外周面上形成有用于頂壓張緊電極絲的頂壓張緊部。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：安裝架包括平行間隔布置的安裝板和支撐板，安裝板上設(shè)置有所述連接桿穿孔，安裝板的至少一側(cè)還設(shè)置有用于避讓夾板以使夾板緊貼線架或者立柱的避讓槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的電火花多線切割輔助裝置，其特征在于：電火花多線切割輔助裝置還包括用于固定設(shè)置在線架或者立柱上的噴液底座，噴液底座上設(shè)置有萬向噴液管，萬向噴液管上設(shè)置有用于連通機(jī)床上的工作液管的工作液接口。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及線電極放電加工領(lǐng)域，尤其涉及一種電火花多線切割輔助裝置。一種電火花多線切割輔助裝置，包括安裝架，安裝架上設(shè)置有用于安裝固定在機(jī)床的線架或者立柱上的固定結(jié)構(gòu)，安裝架上同一平面內(nèi)設(shè)置有至少三個(gè)導(dǎo)輪，每個(gè)導(dǎo)輪均設(shè)置有至少兩個(gè)間隔布置的用于容納電極絲的導(dǎo)槽。其中通過設(shè)置安裝架便于將該裝置固定設(shè)置在機(jī)床上，便于對(duì)機(jī)床進(jìn)行額外的安裝操作，此時(shí)不必對(duì)機(jī)床進(jìn)行改造，只需要將該裝置額外安裝到機(jī)床上即可，便于機(jī)床的升級(jí)改造，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中電火花多線切割需要重新設(shè)計(jì)機(jī)床，改動(dòng)量大且不能兼容舊機(jī)床的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：常皓,李中盼,郭家樂,張夢(mèng)洋,王昕妍,王前行,楊墨杰,何祿亮,薛克明,王世杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鄭州職業(yè)技術(shù)學(xué)院
技術(shù)研發(fā)日：20240517
技術(shù)公布日：2025/1/2