技術(shù)編號(hào):40575425
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及線電極放電加工領(lǐng)域,尤其涉及一種電火花多線切割輔助裝置。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體的發(fā)展,現(xiàn)有產(chǎn)品中半導(dǎo)體使用的場(chǎng)景越來(lái)越多,在半導(dǎo)體中尤其以硅的應(yīng)用最為廣泛。硅在應(yīng)用時(shí)一般是以硅片的形式,硅片通常是由硅棒切割加工而來(lái)。具體地,現(xiàn)有技術(shù)中較多使用線鋸進(jìn)行切割。線鋸切割的過(guò)程中,線鋸與待切割硅棒之間會(huì)產(chǎn)生較大的應(yīng)力而導(dǎo)致工件表面產(chǎn)生較大的應(yīng)力損傷,不利于硅片的大尺寸、超薄化加工需求的滿足。因此,現(xiàn)有技術(shù)中還存在使用電火花加工工藝對(duì)硅棒進(jìn)行加工的方法。、電火花加工是利用脈沖放電產(chǎn)生電蝕現(xiàn)象去...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。