一種單面腐蝕制絨設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片制絨領(lǐng)域，具體而言，涉及一種單面腐蝕制絨設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的制絨工藝和設(shè)備都是將硅片完全浸沒在藥液里面，達(dá)到去除硅片損傷層及制絨的效果，但是在后續(xù)擴(kuò)散工藝中是單面擴(kuò)散，只對擴(kuò)散面的絨面形態(tài)有要求，因此，只需要對擴(kuò)散面的進(jìn)行制絨就可以滿足硅片的使用，并且雙面腐蝕制絨工藝降低了硅片的厚度、浪費(fèi)了化學(xué)品藥液，這種雙面腐蝕制絨的設(shè)備具有效率低，能耗高的缺點(diǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種單面腐蝕制絨設(shè)備，以改善上述問題。
[0004]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種單面腐蝕制絨設(shè)備，包括制絨槽和傳送裝置，所述傳送裝置包括若干水平布置于所述制絨槽內(nèi)的帶液滾筒和驅(qū)動(dòng)帶液滾筒轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，所述帶液滾筒垂直于制絨槽的前側(cè)壁和后側(cè)壁，所述制絨槽包括進(jìn)料口和出料口，所述進(jìn)料口和出料口處均設(shè)有液位調(diào)節(jié)裝置。
[0006]在制絨過程中，帶液滾筒將硅片從進(jìn)料口運(yùn)送到出料口，在此過程中，硅片浸泡在制絨液中，為避免硅片上表面與制絨液接觸，在進(jìn)料口和出料口均設(shè)置液位調(diào)節(jié)裝置，通過液位調(diào)節(jié)裝置來控制制絨槽內(nèi)制絨液的液位高度，使液位始終保持在剛好完全浸泡硅片下表面處，這樣就既保證了硅片只有下表面與制絨液接觸，又減小了制絨液對硅片在從進(jìn)料口到出料口的運(yùn)動(dòng)過程的阻力，從而更好的達(dá)到了單面制絨的效果。這種單面腐蝕制絨設(shè)備提高了對硅片的制絨效率，節(jié)約了制絨液中的化學(xué)藥液。
[0007]進(jìn)一步地，所述液位調(diào)節(jié)裝置包括高度可調(diào)的擋液板，所述制絨槽包括左側(cè)壁和右側(cè)壁，所述左側(cè)壁和右側(cè)壁上均設(shè)有所述擋液板。
[0008]左側(cè)壁和右側(cè)壁上均設(shè)有高度可調(diào)的擋液板，通過改變擋液板與制絨槽的左側(cè)壁和右側(cè)壁的相對位置，從而達(dá)到調(diào)整擋液板高度的效果。由于制絨槽中的制絨液是一直處于循環(huán)狀態(tài)，所以擋液板的高度就決定了制絨槽內(nèi)制絨液的液位高度，這樣就實(shí)現(xiàn)了通過調(diào)整擋液板的高度來控制制絨液的液位高度。
[0009]進(jìn)一步地，所述擋液板上開有若干條形通孔，所述條形通孔的長度方向與制絨槽的高度方向一致，所述左側(cè)壁和右側(cè)壁均開有若干螺紋孔，螺釘穿過條形通孔與制絨槽上的螺紋孔配合將擋液板固定于制絨槽上。
[0010]調(diào)節(jié)擋液板高度時(shí)，擰松螺釘后，將擋液板調(diào)節(jié)到與硅片下表面等高的位置，擰緊螺釘，從而將擋液板固定于制絨槽上。這種調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)易加工，調(diào)節(jié)方式簡單、方便。
[0011]進(jìn)一步地，所述左側(cè)壁和所述右側(cè)壁等高，所述左側(cè)壁和所述右側(cè)壁的頂端均低于所述帶液滾筒上緣。
[0012]制絨槽的左側(cè)壁和右側(cè)壁等高設(shè)置，方便了制絨槽加工制造。制絨槽的左側(cè)壁和右側(cè)壁的頂端低于帶液滾筒上緣，可實(shí)現(xiàn)通過調(diào)節(jié)擋液板的高度將制絨液的液位控制于硅片下表面處。
[0013]進(jìn)一步地，所述擋液板頂部為斜面，所述斜面較高一側(cè)靠近所述帶液滾筒，所述斜面與水平面夾角為30-60度。
[0014]擋液板頂端調(diào)節(jié)到與硅片下表面平齊后，制絨槽內(nèi)的制絨液的液位始終與擋液板的頂端平齊，由于制絨槽內(nèi)的液體一直處于循環(huán)狀態(tài)，因此，制絨槽內(nèi)多余的制絨液將會(huì)沿?fù)跻喊屙敳苛鞒?，為避免在制絨液經(jīng)擋液板頂部流出制絨槽的過程中制絨液發(fā)生濺射現(xiàn)象，將擋液板頂部設(shè)置為斜面。制絨槽中溢出的制絨液從擋液板頂部斜面的較高處流向較低處，從而起到導(dǎo)流的作用。
[0015]進(jìn)一步地，所述斜面與水平面夾角為45度。
[0016]擋液板頂部的斜面與水平面所成的夾角不同，斜面的導(dǎo)流效果也會(huì)有所不同，經(jīng)過發(fā)明人的反復(fù)實(shí)驗(yàn)證明，當(dāng)擋液板頂部的斜面與水平面的夾角為45度時(shí)，斜面的導(dǎo)流效果最佳。
[0017]進(jìn)一步地，所述帶液滾筒上設(shè)有螺旋結(jié)構(gòu)，所述傳送裝置中的兩個(gè)相鄰的帶液滾筒的螺旋結(jié)構(gòu)旋向相反。
[0018]在對硅片制絨的過程中，通過驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)帶液滾筒轉(zhuǎn)動(dòng)，從而將硅片從進(jìn)料口運(yùn)送到出料口，在硅片運(yùn)動(dòng)過程中，硅片下表面與制絨液接觸，從而達(dá)到制絨的效果。為使硅片下表面能夠與制絨液更好接觸，在帶液滾筒上設(shè)置螺旋結(jié)構(gòu)。帶液滾筒轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶液滾筒中的螺旋結(jié)構(gòu)帶動(dòng)更多的制絨液對硅片表面進(jìn)行腐蝕，同時(shí)，帶液滾筒能夠充分帶走硅片與制絨液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生的熱量，保證了絨面的均勻性和穩(wěn)定性。帶液滾筒上設(shè)置螺旋結(jié)構(gòu)后，硅片在帶液滾筒的作用下從進(jìn)料口到出料口運(yùn)動(dòng)的過程中，硅片會(huì)受到沿帶液滾筒軸線方向上的螺旋推力，在螺旋推力的作用下，硅片會(huì)沿帶液滾筒軸線方向移動(dòng)，偏離預(yù)定軌跡。因此，將傳送裝置中的兩個(gè)相鄰的帶液滾筒的螺旋結(jié)構(gòu)的旋向設(shè)為相反。
[0019]進(jìn)一步地，還包括噴淋裝置，所述噴淋裝置設(shè)于所述帶液滾筒上方靠近所述制絨槽的出料口處。
[0020]硅片在制造加工過程中，硅片表面會(huì)殘留有機(jī)物和金屬雜質(zhì)，在制絨過程中，由于只有硅片下表面與制絨液接觸，因此硅片下表面的有機(jī)物和金屬雜質(zhì)可被去除掉，而硅片上表面中的有機(jī)物和金屬雜質(zhì)并沒有去除。因此，在帶液滾筒上方靠近出料口處設(shè)置噴淋裝置，通過噴淋裝置噴出的制絨液噴淋于硅片上表面上，從而達(dá)到去除有機(jī)物和金屬雜質(zhì)的效果。由于噴淋裝置設(shè)于靠近出料口處，因此，硅片上表面與噴淋裝置噴出的制絨液接觸時(shí)間較短，并不會(huì)降低硅片的厚度。
[0021]進(jìn)一步地，還包括供液裝置，所述供液裝置包括設(shè)于制絨槽下方的副槽、設(shè)于制絨槽外部的回流槽和循環(huán)栗。所述循環(huán)栗包括輸入口和輸出口，所述輸入口通過管道與副槽連通，所述輸出口通過第一管道與制絨槽連通，所述回流槽與副槽通過第二管道連通。
[0022]在對硅片制絨的過程中，為保證制絨液中的化學(xué)藥液的均勻性，制絨槽內(nèi)的制絨液處于一直循環(huán)的狀態(tài)。因此，在制絨槽下方設(shè)置副槽，在制絨槽外部設(shè)置回流槽，制絨槽溢出的制絨液流入回流槽中，回流槽中的制絨液再通過第二管道流入到副槽中，最后再通過循環(huán)栗將副槽中的制絨液提升到制絨槽中，這樣就實(shí)現(xiàn)了制絨液的循環(huán)。
[0023]進(jìn)一步地，所述第一管道上設(shè)有流量閥，所述第一管道與副槽通過第三管道連通，所述第三管道上設(shè)有回流閥。
[0024]第一管道上設(shè)置流量閥的好處在于，流量閥可控制通過第一管道進(jìn)入制絨槽內(nèi)的制絨液流量的大小。第三管道上設(shè)置回流閥的好處在于，當(dāng)?shù)谌艿乐械膲毫Τ^回流閥的設(shè)定值時(shí)，回流閥會(huì)自動(dòng)釋放壓力，從而達(dá)到安全保護(hù)的目的。
[0025]本實(shí)用新型的有益效果是:通過設(shè)于制絨槽左側(cè)壁和右側(cè)壁上的擋液板來控制制絨槽內(nèi)制絨液的液位高度，使液位始終保持在剛好完全浸泡硅片下表面處，這樣就既保證了硅片只有下表面與制絨液接觸，又減小了制絨液對硅片在從進(jìn)料口到出料口的運(yùn)動(dòng)過程的阻力，從而達(dá)到了單面制絨的效果，這種單面腐蝕制絨設(shè)備具有節(jié)約制絨液、制絨效率高的特點(diǎn)。
【附圖說明】
[0026]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。
[0027]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單面腐蝕制絨設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖中附圖標(biāo)記為:
[0029]制絨槽101 ;帶液滾筒102 ;擋液板103 ;娃片104 ;噴淋裝置105 ;副槽106 ;回流槽107 ;第一管道108 ;第二管道109 ;第三管道110 ;循環(huán)栗111 ;回流閥112。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計(jì)。
[0031]因此，以下對在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0032]應(yīng)注意到:相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。
[0033]在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分