專利名稱:用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域:
本實用新型涉及一種半導體技術(shù)領域中的制絨設備,具體地說,涉及的是一種用
于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng)。
背景技術(shù):
制絨是對硅片表面進行各向同性腐蝕,形成微溝,降低硅片表面的反射率,促使太 陽在硅片表面進行多級反射,提升光的利用率。在太陽能晶硅電池的制備工藝中,制絨工藝 是關(guān)系到太陽能電池表面的光吸收的重要部分,也是提高太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。 在太陽能電池迅速發(fā)展應用的今天,對于目前占主要市場的晶體硅太陽能電池, 未經(jīng)表面處理的發(fā)射率一般超過30%,經(jīng)過堿液等各向異性化學腐蝕形成表面微米級隨機 金字塔結(jié)構(gòu)絨面后單晶硅電池表面發(fā)射率可以降到10%,多晶硅電池由于表面晶粒的晶向 差異,目前普遍采用的各向行化學腐蝕只能將發(fā)射率降低到20%。 現(xiàn)有技術(shù)中,制絨設備的補液系統(tǒng)存在藥液不穩(wěn)定,從而會導致產(chǎn)品的不一致性, 降低了效率。
實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是,提供了一種用于多晶槽式制絨設備的補液系 統(tǒng),該系統(tǒng)可以大大提高效率,確保藥液的穩(wěn)定性,達到在無人為干擾的情況下制絨效果的
一致性。 為實現(xiàn)以上目的,本實用新型提供了一種用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),該 系統(tǒng)包括原液箱、管路系統(tǒng)、稱量槽、混液槽、隔膜泵、流量計、氣控閥。原液箱與分別稱量 槽、混液槽連接,稱量槽、混液槽相連,其中原液箱與稱量槽之間依次設有隔膜泵、管路系 統(tǒng),原液箱與混液槽之間設置氣控閥;稱量槽、混液槽相連,兩者之間設有流量計。 本實用新型中,原液箱作為儲液系統(tǒng),出口經(jīng)過泵、流量計、氣控閥進入混液槽內(nèi), 通過流量計及氣控閥來控制加液的精確性,從而確保混液槽內(nèi)部的藥液濃度的穩(wěn)定性,完 成初補液操作。初補主要針對第一次補液對藥液的需求量大而定制的,進而縮短補液時間, 使設備在開啟后可以迅速進入生產(chǎn)狀態(tài)、提高效率。 本實用新型中,稱量槽在制絨設備內(nèi)部,后排風的旁邊,出口經(jīng)過氣控閥、流量計 進入反應槽內(nèi),通過流量計、氣控閥確保每次補液的一致性(保證偏差在1%左右),完成精 補液操作。精補液操作主要是針對每次反應消耗藥液的補充作用,這些消耗很少,間隔時間 充足,精確度高,確保補液的精確性。
圖1為本實用新型一個實施例結(jié)構(gòu)示意圖; 圖中1、原液箱;2、管路系統(tǒng);3、稱量槽;4、混液槽;5、隔膜泵;6、流量計;7、液位感應器;8、氣控閥。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明,以下的描述僅用于理解本實 用新型技術(shù)方案之用,不用于限定本實用新型的范圍。 本實用新型提供一種用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),如圖1所示,在該系統(tǒng) 的一個實施例中,包括原液箱1、管路系統(tǒng)2、稱量槽3、混液槽4、隔膜泵5、流量計6、氣控閥 8。原液箱1與分別稱量槽3、混液槽4連接,其中原液箱1與稱量槽3之間依次通過隔膜泵 5和管路系統(tǒng)2連接,原液箱1與混液槽4之間通過氣控閥8連接,稱量槽3、混液槽4之間 通過流量計6連接。 進一步的,所述原液箱1設有液位感應器7 ;所述稱量槽3也設有液位感應器,液 位感應器測量液體的位置并將信息反饋給控制系統(tǒng)進行報警提示。 較佳的,所述液位感應器7可以采用光電液位感應器。 本實施例的系統(tǒng)工作時,分為一下兩個操作 (1)初補液操作在控制系統(tǒng)的操作界面上設定好所需的數(shù)據(jù)(單位升)按確認 藥液通過隔膜泵5從原液箱1經(jīng)流量計6、氣控閥8后到稱量槽3和混液槽4,配液時混液 槽4和稱量槽3只有一個流量計6,補液時只能執(zhí)行一組,補完后再執(zhí)行另一組。但不分先 后次序補液。 (2)精 補液操作在控制系統(tǒng)的操作界面上設定好所需的精補液數(shù)據(jù)(單位升) 按確認藥液通過自身重力從稱量槽3經(jīng)氣控閥8后到混液槽4,自動補液時系統(tǒng)收到補液信 號自動補充藥液,但稱量槽4也會自動根據(jù)消耗的藥液自動補充藥液。原液箱1和稱量槽 3都設有光電液位感應器7,欠液時返潰給控制系統(tǒng)報警提示。 本實用新型通過流量計控制隔膜泵、閥門定量補充藥液,可以定量控制藥液加入 量,保證工藝濃度要求,將藥液濃度始終保證在工藝曲線范圍內(nèi),從而保證了產(chǎn)品的一致 性。本實用新型可以大大提高效率,確保藥液的穩(wěn)定性,達到在無人為干擾的情況下制絨效 果的一致性。
權(quán)利要求一種用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),其特征在于,包括原液箱、管路系統(tǒng)、稱量槽、混液槽、隔膜泵、流量計、氣控閥;原液箱與分別稱量槽、混液槽連接,稱量槽、混液槽相連,其中原液箱與稱量槽之間依次設有隔膜泵、管路系統(tǒng),原液箱與混液槽之間設置氣控閥;稱量槽、混液槽相連,兩者之間設有流量計。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),其特征在于所述原液 箱設有液位感應器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),其特征在于所述稱量 槽設有液位感應器。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),其特征在于所述 液位感應器采用光電液位感應器。
專利摘要本實用新型公開一種用于多晶槽式制絨設備的補液系統(tǒng),包括原液箱、管路系統(tǒng)、稱量槽、混液槽、隔膜泵、流量計、氣控閥;原液箱與分別稱量槽、混液槽連接,稱量槽、混液槽相連,其中原液箱與稱量槽之間依次設有隔膜泵、管路系統(tǒng),原液箱與混液槽之間設置氣控閥;稱量槽、混液槽相連,兩者之間設有流量計。本實用新型可以大大提高效率,確保藥液的穩(wěn)定性,達到在無人為干擾的情況下制絨效果的一致性。
文檔編號H01L21/00GK201478278SQ200920208699
公開日2010年5月19日 申請日期2009年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日
發(fā)明者周柏林, 大石滿, 袁佩君 申請人:北京中聯(lián)科偉達技術(shù)股份有限公司