專(zhuān)利名稱(chēng)：一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶制絨技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能電池片槽式制絨設(shè)備中，多采用機(jī)械臂來(lái)傳送硅片花籃，常用花籃容量為 200片/盒。該類(lèi)設(shè)備由于采用槽式結(jié)構(gòu)，硅片花籃需要在槽體內(nèi)靜置一段時(shí)間后才會(huì)傳送到下一個(gè)槽體。當(dāng)某個(gè)槽體內(nèi)已經(jīng)存在花籃，若此時(shí)機(jī)械臂仍將下一花籃傳送至該槽時(shí)，會(huì)導(dǎo)致花籃重疊，即壓籃。若發(fā)生壓籃現(xiàn)象，輕則兩個(gè)花籃內(nèi)的硅片報(bào)廢，重則導(dǎo)致機(jī)械臂機(jī)構(gòu)出現(xiàn)故障，影響生產(chǎn)。目前該類(lèi)設(shè)備大多采用在槽體內(nèi)安裝檢測(cè)傳感器的方案來(lái)防止壓籃現(xiàn)象的發(fā)生，這種方案需要在槽體內(nèi)安裝較多的檢測(cè)傳感器，從而使成本上升。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，能檢測(cè)并預(yù)防壓籃，并有效降低發(fā)生壓籃時(shí)的影響。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是提供一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，包括兩根機(jī)械臂和工藝槽體，所述的兩根機(jī)械臂懸置在所述的工藝槽體的上方， 所述的兩根機(jī)械臂中的一根機(jī)械臂上設(shè)有花籃檢測(cè)傳感器。所述的兩根機(jī)械臂中未裝有花籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械臂上設(shè)有壓籃檢測(cè)傳感器；所述的壓籃檢測(cè)傳感器下方設(shè)有導(dǎo)桿；所述的導(dǎo)桿能沿著設(shè)有所述的壓籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械
臂滑動(dòng)。所述的導(dǎo)桿上部設(shè)有擋板。有益效果由于采用了上述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果本實(shí)用新型采用雙重檢測(cè)方案，可以有效避免事故發(fā)生；本實(shí)用新型由于將傳感器安裝在機(jī)械臂上，傳感器的數(shù)量遠(yuǎn)低于槽內(nèi)安裝傳感器的方案，所需成本也大大降低。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中A的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍。[0012]本實(shí)用新型的實(shí)施方式涉及一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，如圖1所示，包括兩根機(jī)械臂1和工藝槽體2，所述的兩根機(jī)械臂1懸置在所述的工藝槽體2的上方，所述的兩根機(jī)械臂1中的一根上設(shè)有花籃檢測(cè)傳感器3，在圖1中，花籃檢測(cè)傳感器3安裝在右側(cè)的機(jī)械臂上。所述的兩根機(jī)械臂1中未安裝花籃檢測(cè)傳感器3的一根機(jī)械臂上設(shè)有壓籃檢測(cè)傳感器4，即在左側(cè)的機(jī)械臂上安裝壓籃檢測(cè)傳感器4。所述的壓籃檢測(cè)傳感器4下方設(shè)有導(dǎo)桿5 (見(jiàn)圖幻，所述的導(dǎo)桿5能沿著裝有壓籃檢測(cè)傳感器4的機(jī)械臂1滑動(dòng)。所述的導(dǎo)桿5上部設(shè)有擋板。其中，機(jī)械臂1用于提取并搬送花籃6 ；花籃檢測(cè)傳感器2用于檢測(cè)工藝槽體內(nèi)有2無(wú)花籃；工藝槽體2用于工藝所需化學(xué)藥液的盛放；花籃6用于裝載硅片； 壓籃檢測(cè)傳感器4用于判斷是否發(fā)生壓籃現(xiàn)象；導(dǎo)桿5用于轉(zhuǎn)換壓籃信號(hào)，當(dāng)發(fā)生壓籃現(xiàn)象時(shí)，導(dǎo)桿5會(huì)被花籃6上頂，導(dǎo)桿5上部的擋板會(huì)觸發(fā)壓籃檢測(cè)傳感器4，從而可判斷發(fā)生了壓籃現(xiàn)象。工作原理機(jī)械臂提取花籃橫向運(yùn)動(dòng)到槽體上方時(shí)，花籃檢測(cè)傳感器將檢測(cè)工藝槽體內(nèi)有無(wú)花籃，當(dāng)檢測(cè)發(fā)現(xiàn)有花籃時(shí)，機(jī)械臂不會(huì)下降；當(dāng)檢測(cè)發(fā)現(xiàn)無(wú)花籃時(shí)，機(jī)械臂下降并將花籃放置在工藝槽體內(nèi)。當(dāng)花籃傳感器工作異?；驔](méi)有設(shè)置時(shí)，則采用壓籃檢測(cè)傳感器來(lái)判斷并控制機(jī)械臂工作。當(dāng)工藝槽體內(nèi)已經(jīng)有花籃，而此時(shí)機(jī)械臂搬送的花籃將放置在該花籃之上，機(jī)械臂由于行程未到，仍將繼續(xù)下行，導(dǎo)桿會(huì)被花籃上頂，導(dǎo)桿上部擋板觸發(fā)壓籃檢測(cè)傳感器，系統(tǒng)檢測(cè)到壓籃檢測(cè)傳感器的信號(hào)時(shí)將強(qiáng)制停止機(jī)械臂的下行運(yùn)動(dòng)，從而可避免壓籃現(xiàn)象可導(dǎo)致的硅片破裂，甚至機(jī)械臂損壞的事故。
權(quán)利要求1.一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，包括兩根機(jī)械臂(1)和工藝槽體O)，所述的兩根機(jī)械臂(1)懸置在所述的工藝槽體( 的上方，其特征在于，所述的兩根機(jī)械臂(1)中的一根機(jī)械臂上設(shè)有花籃檢測(cè)傳感器(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，其特征在于，所述的兩根機(jī)械臂(1)中未裝有花籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械臂上設(shè)有壓籃檢測(cè)傳感器(4)；所述的壓籃檢測(cè)傳感器(4)下方設(shè)有導(dǎo)桿(5)；所述的導(dǎo)桿( 能沿著設(shè)有所述的壓籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械臂⑴滑動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，其特征在于，所述的導(dǎo)桿(5) 上部設(shè)有擋板。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種多晶制絨設(shè)備中的防壓籃裝置，包括兩根機(jī)械臂和工藝槽體，所述的兩根機(jī)械臂懸置在所述的工藝槽體的上方，所述的兩根機(jī)械臂中的一根機(jī)械臂上設(shè)有花籃檢測(cè)傳感器。所述的兩根機(jī)械臂中未裝有花籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械臂上設(shè)有壓籃檢測(cè)傳感器；所述的壓籃檢測(cè)傳感器下方設(shè)有導(dǎo)桿；所述的導(dǎo)桿能沿著設(shè)有所述的壓籃檢測(cè)傳感器的機(jī)械臂滑動(dòng)。本實(shí)用新型采用雙重檢測(cè)方案，可以有效避免事故發(fā)生。
文檔編號(hào)C30B33/08GK202124673SQ20112015986
公開(kāi)日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月18日
發(fā)明者嚴(yán)俊, 李敏 申請(qǐng)人:上海正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司, 上海正帆科技有限公司