專利名稱：半導(dǎo)體測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別一種用于測(cè)試半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的自動(dòng)化、快速化以及人性化，使得半導(dǎo)體設(shè)計(jì)的考量條件越來(lái)越多，因此也需要各種不同的測(cè)試裝置。
習(xí)知的一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置1，如圖1所示，其包含一主機(jī)11、一機(jī)械手臂12、一傳動(dòng)變向單元13、一手動(dòng)致動(dòng)單元14、一傳動(dòng)單元15、及一測(cè)試頭16。
該主機(jī)11用以收集、處理測(cè)試資料；該機(jī)械手臂12的一端部樞設(shè)于該主機(jī)11，其另一端部的前端設(shè)有一連結(jié)板121，且其另一端部的下方設(shè)有一承載元件122，該承載元件122的一端垂直延設(shè)有一固定元件123。
該傳動(dòng)變向單元13設(shè)置于該承載元件122上，且該傳動(dòng)變向單元13設(shè)有不同方向的一第一傳動(dòng)軸及一第二傳動(dòng)軸(未示于圖中)。
該手動(dòng)致動(dòng)單元14設(shè)置于該固定元件123上，且與該傳動(dòng)變向單元13的第一傳動(dòng)軸相互連接，并用以致動(dòng)該第一傳動(dòng)軸。
該傳動(dòng)單元15設(shè)有一第一旋轉(zhuǎn)元件151、一第二旋轉(zhuǎn)元件152、及一連動(dòng)元件153，該第一旋轉(zhuǎn)元件151軸設(shè)于該連結(jié)板121上，該第二旋轉(zhuǎn)元件152連結(jié)于該傳動(dòng)變向單元13的第二傳動(dòng)軸，該連動(dòng)元件153用以連結(jié)該第一旋轉(zhuǎn)元件151及該第二旋轉(zhuǎn)元件152。
該測(cè)試頭16電性連接至該主機(jī)11，其設(shè)置于該機(jī)械手臂12的前端的連結(jié)板121，且能隨第一旋轉(zhuǎn)元件轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)使用者轉(zhuǎn)動(dòng)該手動(dòng)致動(dòng)單元14的手動(dòng)桿141時(shí)，該手動(dòng)致動(dòng)單元14的動(dòng)力則經(jīng)由該傳動(dòng)變向單元13的第一傳動(dòng)軸傳至該第二傳動(dòng)軸，而位于該第二傳動(dòng)軸上的第二旋轉(zhuǎn)元件152隨之而旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)由該連動(dòng)元件153的作動(dòng)而使該第一旋轉(zhuǎn)元件151旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該測(cè)試頭16轉(zhuǎn)動(dòng)。
然而，由于一般測(cè)試頭具有一定的重量，通常約350～800KG，利用人力的方式轉(zhuǎn)動(dòng)該手動(dòng)致動(dòng)單元14，來(lái)將調(diào)整測(cè)試頭16從測(cè)試位置轉(zhuǎn)至裝卸位置，所需花費(fèi)的時(shí)間約2分鐘，且相當(dāng)費(fèi)力。而且半導(dǎo)體測(cè)試裝置為了滿足彈性生化的要求，測(cè)試頭被更換、轉(zhuǎn)向的頻率極高，因此對(duì)于操作半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試人員來(lái)說(shuō)，是一重大的負(fù)荷。再者，測(cè)試人員在轉(zhuǎn)動(dòng)手動(dòng)桿141時(shí)，常會(huì)因測(cè)試頭16轉(zhuǎn)向關(guān)系而卡到測(cè)試頭16，甚至因此導(dǎo)致職業(yè)傷害。另外，由于半導(dǎo)體測(cè)試裝置以人力的方式輸入，實(shí)在不符合目前產(chǎn)業(yè)自動(dòng)化及快速化的變遷。
因此如何使半導(dǎo)體測(cè)試裝置符合自動(dòng)化，并使其測(cè)試頭到達(dá)所需的測(cè)試位置及裝卸位置更快速、精準(zhǔn)，進(jìn)而使其符合人性化與彈性化的要求，實(shí)為目前半導(dǎo)體測(cè)試裝置的一大課題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種可省時(shí)、省力的半導(dǎo)體測(cè)試裝置。而，本發(fā)明的特征是利用一驅(qū)動(dòng)單元來(lái)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)變向單元及傳動(dòng)單元，而使測(cè)試頭轉(zhuǎn)向。另通過(guò)一控制單元來(lái)控制驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)速度與驅(qū)動(dòng)方向，以控制測(cè)試頭的轉(zhuǎn)動(dòng)速度以及轉(zhuǎn)動(dòng)方向。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明的一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，包含一主機(jī)，用以收集、處理測(cè)試資料；一機(jī)械手臂，其一端部樞設(shè)于該主機(jī)，其另一端部的前端設(shè)有一連結(jié)板，且該另一端部的下方設(shè)有一承載元件，該承載元件的一端垂直延設(shè)有一固定元件；一傳動(dòng)變向單元，設(shè)置于該承載元件上，且該傳動(dòng)變向單元具有不同方向的一第一傳動(dòng)軸及一第二傳動(dòng)軸；一驅(qū)動(dòng)單元，設(shè)置于該固定元件上，且與該傳動(dòng)變向單元的第一傳動(dòng)軸相互連接，用以驅(qū)動(dòng)該第一傳動(dòng)軸；一傳動(dòng)單元，設(shè)有一第一旋轉(zhuǎn)元件、一第二旋轉(zhuǎn)元件、及一連動(dòng)元件，該第一旋轉(zhuǎn)元件軸設(shè)于該連結(jié)板上，該第二旋轉(zhuǎn)元件連結(jié)于該傳動(dòng)變向單元的第二傳動(dòng)軸，該連動(dòng)元件用以連結(jié)該第一旋轉(zhuǎn)元件及該第二旋轉(zhuǎn)元件；一控制單元，與該驅(qū)動(dòng)單元電連接，用以控制該驅(qū)動(dòng)單元的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與轉(zhuǎn)動(dòng)速度，其設(shè)置于該固定元件上；以及一測(cè)試頭，電性連接至該主機(jī)，設(shè)置于該機(jī)械手臂的前端的連結(jié)板，且隨第一旋轉(zhuǎn)元件轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)該驅(qū)動(dòng)單元被啟動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力經(jīng)由該傳動(dòng)變向單元的第一傳動(dòng)軸傳至該第二傳動(dòng)軸，該第二傳動(dòng)軸上的第二旋轉(zhuǎn)元件乃因而旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)由該連動(dòng)元件的作動(dòng)而使該第一旋轉(zhuǎn)元件旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該測(cè)試頭轉(zhuǎn)動(dòng)。
承上所述，由于依本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置通過(guò)一控制單元來(lái)控制驅(qū)動(dòng)單元，再將其動(dòng)力傳入傳動(dòng)變向單元及傳動(dòng)單元，進(jìn)而得以使測(cè)試頭作動(dòng)，并使測(cè)試頭轉(zhuǎn)向，因此可以符合自動(dòng)化及省時(shí)的要求，并且也達(dá)到節(jié)省操作人力的目的；同時(shí)，測(cè)試人員也可因此避免職業(yè)傷害。


圖1為習(xí)知半導(dǎo)體測(cè)試裝置的要部示意圖；圖2為本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的要部示意圖；圖3為本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的要部作動(dòng)示意圖；圖4為本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的部分要部放大示意圖；圖5為本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的另一部分要部放大示意圖；圖6為本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的另一部分要部放大示意圖，圖中，半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試頭呈轉(zhuǎn)動(dòng)狀態(tài)。
具體實(shí)施例方式
以下將參照?qǐng)D2～圖6來(lái)說(shuō)明依本發(fā)明較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試裝置。
如圖2及圖3所示，本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置2包含一主機(jī)21、一機(jī)械手臂22、一傳動(dòng)變向單元23、一驅(qū)動(dòng)單元24、一傳動(dòng)單元25、一控制單元26、及一測(cè)試頭27。
該機(jī)械手臂22的一端部樞設(shè)于該主機(jī)21上，其另一端部的前端設(shè)有一連結(jié)板221，且其另一端部的下方設(shè)有一承載元件222，該承載元件222的一端垂直延設(shè)有一固定元件223。于本實(shí)施例中，該機(jī)械手臂22為一雙臂多軸的機(jī)械手臂，如圖3所示該機(jī)械手臂22可進(jìn)行水平方向移動(dòng)。
該傳動(dòng)變向單元23設(shè)置于該承載元件222上，如圖4所示，該傳動(dòng)變向單元23設(shè)有不同方向的一第一傳動(dòng)軸231及一第二傳動(dòng)軸232。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D4所示，該驅(qū)動(dòng)單元24設(shè)置于固定元件223上，與該傳動(dòng)變向單元23的第一傳動(dòng)軸相231互連接，用以驅(qū)動(dòng)該第一傳動(dòng)軸231。于本實(shí)施例中，該驅(qū)動(dòng)單元24為一馬達(dá)。
如圖4及圖5所示，該傳動(dòng)單元25設(shè)有一第一旋轉(zhuǎn)元件251、一第二旋轉(zhuǎn)元件252、及一連動(dòng)元件253。該第一旋轉(zhuǎn)元件251軸設(shè)于該連結(jié)板221上；該第二旋轉(zhuǎn)元件252連結(jié)于該傳動(dòng)變向單元23的第二傳動(dòng)軸232。連動(dòng)元件253用以連結(jié)第一旋轉(zhuǎn)元件251及第二旋轉(zhuǎn)元件252，在本實(shí)施例中，第一旋轉(zhuǎn)元件251及第二旋轉(zhuǎn)元件252分別為為一直徑大小不同的齒輪，而該連動(dòng)元件253為一具有齒紋的皮帶。當(dāng)然，配合該第一旋轉(zhuǎn)元件251及第二旋轉(zhuǎn)元件252的型態(tài)，該連動(dòng)元件253亦可有不同的態(tài)樣。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D4所示，該控制單元26與該驅(qū)動(dòng)單元24電連接(圖中未示)，其設(shè)有一電源開(kāi)關(guān)261、一正反轉(zhuǎn)控制器262、及一轉(zhuǎn)速控制器263。該電源開(kāi)關(guān)261用以控制該驅(qū)動(dòng)單元24的啟動(dòng)、關(guān)閉，該正反轉(zhuǎn)控制器262及轉(zhuǎn)速控制器263分別用以控制該驅(qū)動(dòng)單元24的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與轉(zhuǎn)動(dòng)速度。如圖4所示，該控制單元26設(shè)置于該固定元件223上。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2及圖3所示，該測(cè)試頭27電性連接至主機(jī)21，其設(shè)置于該機(jī)械手臂22的前端的連結(jié)板221上，且其能隨該第一旋轉(zhuǎn)元件251轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)該驅(qū)動(dòng)單元24被啟動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元24的動(dòng)力則經(jīng)由該傳動(dòng)變向單元23第一傳動(dòng)軸231傳至第二傳動(dòng)軸232，此時(shí)，該第二傳動(dòng)軸232上的第二旋轉(zhuǎn)元件252乃因而旋轉(zhuǎn)。然后，再經(jīng)由該連動(dòng)元件253的作動(dòng)而使該第一旋轉(zhuǎn)元件251旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該測(cè)試頭27轉(zhuǎn)動(dòng)。
此外，上述半導(dǎo)體測(cè)試裝置更包含一電源單元(未示于圖中)，該電源單元電連接于該控制單元26，該控制單元26的電源開(kāi)關(guān)261用以控制該電源單元，使該驅(qū)動(dòng)單元作動(dòng)。
承上所述，由于依本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置通過(guò)一控制單元26來(lái)控制驅(qū)動(dòng)單元24，再將其動(dòng)力傳入傳動(dòng)變向單元23及傳動(dòng)單元25，進(jìn)而得以使測(cè)試頭27作動(dòng)，并使測(cè)試頭27轉(zhuǎn)向，因此可以符合自動(dòng)化及省時(shí)的要求，并且也達(dá)到節(jié)省操作人力的目的；同時(shí)，測(cè)試人員也可因此避免職業(yè)傷害。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此項(xiàng)技藝者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明之保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書(shū)范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是包含一主機(jī)，用以收集、處理測(cè)試資料；一機(jī)械手臂，其一端部樞設(shè)于該主機(jī)，其另一端部的前端設(shè)有一連結(jié)板，且該另一端部的下方設(shè)有一承載元件，該承載元件的一端垂直延設(shè)有一固定元件；一傳動(dòng)變向單元，設(shè)置于該承載元件上，且該傳動(dòng)變向單元具有不同方向的一第一傳動(dòng)軸及一第二傳動(dòng)軸；一驅(qū)動(dòng)單元，設(shè)置于該固定元件上，且與該傳動(dòng)變向單元的第一傳動(dòng)軸相互連接，用以驅(qū)動(dòng)該第一傳動(dòng)軸；一傳動(dòng)單元，設(shè)有一第一旋轉(zhuǎn)元件、一第二旋轉(zhuǎn)元件、及一連動(dòng)元件，該第一旋轉(zhuǎn)元件軸設(shè)于該連結(jié)板上，該第二旋轉(zhuǎn)元件連結(jié)于該傳動(dòng)變向單元的第二傳動(dòng)軸，該連動(dòng)元件用以連結(jié)該第一旋轉(zhuǎn)元件及該第二旋轉(zhuǎn)元件；一控制單元，與該驅(qū)動(dòng)單元電連接，用以控制該驅(qū)動(dòng)單元的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與轉(zhuǎn)動(dòng)速度，其設(shè)置于該固定元件上；以及一測(cè)試頭，電性連接至該主機(jī)，設(shè)置于該機(jī)械手臂的前端的連結(jié)板，且隨第一旋轉(zhuǎn)元件轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)；當(dāng)該驅(qū)動(dòng)單元被啟動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力經(jīng)由該傳動(dòng)變向單元的第一傳動(dòng)軸傳至該第二傳動(dòng)軸，該第二傳動(dòng)軸上的第二旋轉(zhuǎn)元件乃因而旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)由該連動(dòng)元件的作動(dòng)而使該第一旋轉(zhuǎn)元件旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該測(cè)試頭轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該半導(dǎo)體測(cè)試裝置更包含一電源單元，該電源單元電連接于該控制單元。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該傳動(dòng)單元的第一旋轉(zhuǎn)元件及第一旋轉(zhuǎn)元件為齒輪。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該傳動(dòng)單元的連動(dòng)元件為皮帶。
5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該傳動(dòng)單元的連動(dòng)元件為齒紋皮帶。
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該驅(qū)動(dòng)單元為馬達(dá)。
7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征是該控制單元包含一電源開(kāi)關(guān)、一正反轉(zhuǎn)控制器、及一轉(zhuǎn)速控制器，其中，該電源開(kāi)關(guān)用以控制該驅(qū)動(dòng)單元的啟動(dòng)、關(guān)閉，該正反轉(zhuǎn)控制器及轉(zhuǎn)速控制器分別用以控制該驅(qū)動(dòng)單元的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與轉(zhuǎn)動(dòng)速度。
全文摘要
一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，包含一主機(jī)；一機(jī)械手臂；一傳動(dòng)變向單元，具有不同方向的一第一傳動(dòng)軸及一第二傳動(dòng)軸；一驅(qū)動(dòng)單元，與第一傳動(dòng)軸相互連接；一傳動(dòng)單元，設(shè)有一第一旋轉(zhuǎn)元件、一第二旋轉(zhuǎn)元件及一連動(dòng)元件，該第一旋轉(zhuǎn)元件軸設(shè)于該連結(jié)板上，該第二旋轉(zhuǎn)元件連結(jié)于第二傳動(dòng)軸，該連動(dòng)元件用以連結(jié)該第一旋轉(zhuǎn)元件及該第二旋轉(zhuǎn)元件；一控制單元，用以控制該驅(qū)動(dòng)單元的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與轉(zhuǎn)動(dòng)速度；以及一測(cè)試頭，電性連接至該主機(jī)；當(dāng)該驅(qū)動(dòng)單元被啟動(dòng)時(shí)，該驅(qū)動(dòng)單元的動(dòng)力經(jīng)由第一傳動(dòng)軸傳至該第二傳動(dòng)軸，該第二傳動(dòng)軸上的第二旋轉(zhuǎn)元件乃因而旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)由該連動(dòng)元件的作動(dòng)而使該第一旋轉(zhuǎn)元件旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使該測(cè)試頭轉(zhuǎn)動(dòng)；本發(fā)明通過(guò)一控制單元來(lái)控制驅(qū)動(dòng)單元使測(cè)試頭作動(dòng)，并使測(cè)試頭轉(zhuǎn)向，符合自動(dòng)化及省時(shí)的要求，并且使測(cè)試人員避免職業(yè)傷害。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1499598SQ0214923
公開(kāi)日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2002年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月6日
發(fā)明者余正吉, 蔡壽南, 張卿裕 申請(qǐng)人:矽統(tǒng)科技股份有限公司