專利名稱：半導(dǎo)體測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置。本申請(qǐng)案是關(guān)連于下述的日本專利申請(qǐng)。對(duì)于認(rèn)定可由參照文獻(xiàn)加以編入而有所認(rèn)定的國家，藉由參照下述專利申請(qǐng)案所述的內(nèi)容加以編入于本申請(qǐng)案作為本申請(qǐng)案的一部分。
1.日本專利申請(qǐng)?zhí)?003-322095申請(qǐng)日期2003年09月12日背景技末半導(dǎo)體測(cè)試裝置是將測(cè)試圖案(test pattern)給與被測(cè)試的半導(dǎo)體元件(semiconductor device)，依據(jù)該測(cè)試圖案接受半導(dǎo)體元件所輸出的輸出信號(hào)，藉由所接受的輸出信號(hào)與期待值加以比較，以判定半導(dǎo)體元件的良否。產(chǎn)生測(cè)試圖案及期待值的半導(dǎo)體測(cè)試裝置的測(cè)試裝置主體，是接受被測(cè)試半導(dǎo)體元件的輸出信號(hào)，與期待值加以比較。被測(cè)試的半導(dǎo)體元件，是載置于測(cè)試頭(test head)上，測(cè)試裝置主體與測(cè)試頭，是藉由接連電纜加以接連。
在測(cè)試頭內(nèi)部是具有對(duì)應(yīng)于被測(cè)試半導(dǎo)體元件的端子配置的性能測(cè)試板(performance board)，及接連性能測(cè)試板與接連電纜的插栓(pin)電子基板。在變更被測(cè)試的半導(dǎo)體元件種類的場(chǎng)合，為交換測(cè)試頭內(nèi)的性能測(cè)試板及插栓電子基板，需要使測(cè)試頭的方向加以變化，然而，在性能測(cè)試板及插栓電子基板交換后，使測(cè)試頭的方向返回于原方向，以使新被測(cè)試的半導(dǎo)體元件載置于測(cè)試頭上。
在現(xiàn)階段尚未發(fā)現(xiàn)有先前技術(shù)文獻(xiàn)的存在，關(guān)于先前技術(shù)文獻(xiàn)的記述加以從略。

發(fā)明內(nèi)容
要使測(cè)試頭的方向加以變化的場(chǎng)合，藉由相對(duì)于測(cè)試裝置本體使測(cè)試頭的方向加以變化時(shí)，在測(cè)試頭與測(cè)試裝置主體所接連的接連電纜，有產(chǎn)生松弛的情形，在此場(chǎng)合，松弛的電纜重迭，由于屈曲(buckling)，會(huì)使電纜嚴(yán)生斷線。
于是本發(fā)明，提供可解決上述課題的一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置為目的。此目的是可由在申請(qǐng)專利范圍的獨(dú)立項(xiàng)所述特征的組合加以達(dá)成。又依附項(xiàng)是加以規(guī)定本發(fā)明的更有利的具體例子。
依照本發(fā)明的第一實(shí)施例時(shí)，半導(dǎo)體測(cè)試裝置是包括測(cè)試裝置主體、測(cè)試頭、電纜及可動(dòng)支持部。其中，測(cè)試裝置主體，是產(chǎn)生給與半導(dǎo)體元件的測(cè)試圖案。測(cè)試頭，是接觸半導(dǎo)體元件，將測(cè)試裝置主體所產(chǎn)生的測(cè)試圖案給與半導(dǎo)體元件。電纜，是從測(cè)試裝置主體向測(cè)試頭傳送測(cè)試圖案。可動(dòng)支持部，是保持電纜的同時(shí)，在電纜產(chǎn)生張力的場(chǎng)合向解除張力的方向加以移動(dòng)。
可動(dòng)支持部是也可從下方支持電纜，在電纜產(chǎn)生張力的場(chǎng)合藉由移動(dòng)至下方以解除該張力。
可動(dòng)支持部是以包括圓筒形構(gòu)件與附加能量部為宜。其中，圓筒形構(gòu)件是橫掛電纜。附加能量部是以可回轉(zhuǎn)的狀態(tài)加以支持此圓筒形構(gòu)件，且使圓筒形構(gòu)件附加向上的能量。
電纜是以多個(gè)傳送線以平排的方式形成之一扁平電纜(flat cable)為佳。
在傳送線為光纖的場(chǎng)合，本發(fā)明的測(cè)試裝置是特別有可防止光纖的切斷的效果。
尚且，上述的發(fā)明概要并非列舉本發(fā)明的必要特征的全部，此等特征群的副組合(subcombination)也可成為一種發(fā)明。
依照本發(fā)明，半導(dǎo)體測(cè)試裝置在測(cè)試裝置主體與測(cè)試頭所接連的接連電纜產(chǎn)生松弛的場(chǎng)合，可適當(dāng)?shù)丶右耘渲枚菇舆B電纜不斷線，。
為讓本發(fā)明的上述原理和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。


圖1是表示關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試裝置10的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示為了交換插栓電子基板，測(cè)試頭100在回轉(zhuǎn)中途狀態(tài)的圖。
圖3是表示可動(dòng)支持部200的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一例圖。
圖4是表示可動(dòng)支持部200的結(jié)構(gòu)的其他例圖。
10半導(dǎo)體測(cè)試裝置 100測(cè)試頭102固定臺(tái) 104開口部106半導(dǎo)體元件 200可動(dòng)支持部210圓筒形構(gòu)件 220空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置222低摩擦空氣汽缸 224調(diào)整器230滑車 240鋼絲繩250重錘 300測(cè)試裝置主體400接連電纜
具體實(shí)施例方式
以下，雖以發(fā)明的實(shí)施例加以說明本發(fā)明，以下的實(shí)施例并非限定本發(fā)明，又在實(shí)施例中所說明的特征組合的全部并非限定為發(fā)明的解決手段所必須。
圖1是表示關(guān)于本發(fā)明的一實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試裝置10的結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體測(cè)試裝置10是包括測(cè)試裝置主體300、測(cè)試頭100、可動(dòng)支持部200及接連電纜400。本發(fā)明的半導(dǎo)體測(cè)試裝置10，是可防止光纖等的接連電纜400的斷線。測(cè)試裝置主體300是產(chǎn)生給與半導(dǎo)體元件106的測(cè)試圖案。又，測(cè)試裝置主體300是接受半導(dǎo)體元件106所輸出的輸出信號(hào)，該輸出信號(hào)對(duì)應(yīng)于測(cè)試圖案。藉由與期待值比較，加以判定半導(dǎo)體元件106的良否。連接電纜400是接連于測(cè)試頭100及測(cè)試裝置主體300，從測(cè)試裝置主體300向測(cè)試頭100傳送測(cè)試圖案。又，接連電纜400是將半導(dǎo)體元件106對(duì)應(yīng)于測(cè)試圖案所輸出的輸出信號(hào)從測(cè)試頭100向測(cè)試裝置主體300加以傳送。
測(cè)試頭100，是由固定臺(tái)102加以保持為可回轉(zhuǎn)的狀態(tài)，在測(cè)試半導(dǎo)體元件106的場(chǎng)合，半導(dǎo)體元件106是載置于測(cè)試頭100上。然而，測(cè)試頭100是接觸于半導(dǎo)體元件106，將測(cè)試裝置主體300所產(chǎn)生的測(cè)試圖案給與半導(dǎo)體元件106。在測(cè)試頭100的內(nèi)部，是裝設(shè)對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體元件106的端子配置的插栓電子基板。插栓電子基板是包括對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體元件106的端子構(gòu)成的圖案配線，驅(qū)動(dòng)器(driver)及比較器(comparator)等。測(cè)試頭100在與載置半導(dǎo)體元件106側(cè)對(duì)向的一側(cè)具有開口部104。插栓電子基板，是從開口部104向測(cè)試頭100的內(nèi)部加以裝設(shè)。
可動(dòng)支持部200，保持接連電纜400的同時(shí)，在接連電纜400產(chǎn)生張力的場(chǎng)合向解除張力的方向移動(dòng)。較佳者，可動(dòng)支持部200是從下方支持接連電纜400，在接連電纜400產(chǎn)生張力的場(chǎng)合藉由向下方移動(dòng)以解除張力。在接連電纜400中，接連于測(cè)試頭100及測(cè)試裝置主體300的部分，由于接連電纜400的重量而附加了張力。又，接連電纜400是固定于測(cè)試頭100及測(cè)試裝置本體300的關(guān)系，在接連電纜400的固定部分有應(yīng)力集中的現(xiàn)象。因此，接連電纜400是在接連于測(cè)試頭100及測(cè)試裝置主體300的部分，容易斷線。但，可動(dòng)支持部200由下方支持接連電纜400的關(guān)系，可使接連于測(cè)試頭100及測(cè)試裝置主體300的接連電纜400的部分應(yīng)力變小。因此，可防止接連電纜400的斷線。
可動(dòng)支持部200包括圓筒形構(gòu)件210與空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置220。其中，圓筒形構(gòu)件210是橫掛接連電纜的圓筒形狀的構(gòu)件。空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置220是使圓筒形構(gòu)件210保持于可回轉(zhuǎn)狀態(tài)的同時(shí)使圓筒形構(gòu)件210附加向上的能量。圓筒形構(gòu)件210為圓筒形狀的關(guān)系，接連電纜400的彎曲半徑比圓筒形構(gòu)件210的圓筒斷面的半徑較大。因此，可防止接連電纜400的斷線。又，圓筒形構(gòu)件210是以可回轉(zhuǎn)狀態(tài)加以保持的關(guān)系，接連電纜400是隨伴圓筒形構(gòu)件210的回轉(zhuǎn)而以滑動(dòng)加以移動(dòng)。因此，可防止接連電纜400的劣化。
接連電纜400是例如光纖等的多個(gè)傳送線以平排的方式形成之扁平電纜者為更好。因?yàn)楸馄诫娎|厚度較小的關(guān)系，雖在彎曲的場(chǎng)合，彎曲部分的半徑方向的厚度，比將單蕊的多數(shù)電纜成束的場(chǎng)合較小。因此，扁平電纜是比將單蕊電纜加以成束的場(chǎng)合，在彎曲部分的外側(cè)向圓周方向的拉張力為小。因此，扁平電纜是在彎曲的場(chǎng)合，比成束的單蕊電纜較不容易斷線。
在此，在變更被測(cè)試的半導(dǎo)體元件106的種類的場(chǎng)合，加以交換裝設(shè)于測(cè)試頭100的內(nèi)部的插栓電子基板。此種場(chǎng)合，測(cè)試頭100藉由對(duì)于固定臺(tái)102大略回轉(zhuǎn)180度，以使開口部朝向上方。然而，在交換插栓電子基板后，使測(cè)試頭100大略向逆方向回轉(zhuǎn)180度，使開口部104再朝向下方。然而，在測(cè)試頭100上載置半導(dǎo)體元件106，進(jìn)行測(cè)試。
圖2是表示為了交換插栓電子基板，而使測(cè)試頭100回轉(zhuǎn)的中途狀態(tài)?；剞D(zhuǎn)測(cè)試頭100時(shí)，接連電纜400產(chǎn)生松弛。在接連電纜產(chǎn)生松弛時(shí)，接連電纜400的一部分重迭，因?yàn)榍袛嗑€的可能。但在本例，圓筒形構(gòu)件210將接連電纜400附加向上方的能量的關(guān)系，在接連電纜400產(chǎn)生松弛的場(chǎng)合，藉由圓筒形構(gòu)件210向上方的變位，可去除接連電纜400的松弛。藉此，可防止接連電纜400的屈曲。因此，可防止接連電纜400的斷線。
在交換插栓電子基板后，測(cè)試頭100是藉由向逆方向回轉(zhuǎn)，返回到使開口部104朝向下向的原方向。此種場(chǎng)合，接連電纜400是伴隨于測(cè)試頭100的回轉(zhuǎn)，拉張于測(cè)試頭100。藉此，在接連電纜400產(chǎn)生張力?？蓜?dòng)支持部200的圓筒形構(gòu)件210是向解除接連電纜400所產(chǎn)生的張力的方向，即藉由向下方變位，以解除接連電纜400所產(chǎn)生的張力。因此，由加上過大的張力，可防止接連電纜400，特別在測(cè)試頭100及測(cè)試裝置本體300的接連處，產(chǎn)生斷線。
尚且，在實(shí)施例，雖是對(duì)測(cè)試頭100以回轉(zhuǎn)的場(chǎng)合加以敘述，在測(cè)試頭100從測(cè)試裝置主體300離開方向加以移動(dòng)的場(chǎng)合，藉由圓筒形構(gòu)件210的下降，可解除在接連電纜400所產(chǎn)生的張力。又，測(cè)試頭100向測(cè)試裝置主體300接近方向加以移動(dòng)的場(chǎng)合，藉由圓筒形構(gòu)件210的上升，可防止接連電纜400所產(chǎn)生的松弛。更且，測(cè)試頭100對(duì)于測(cè)試裝置本體300上升的場(chǎng)合，藉由圓筒形構(gòu)件210的上升，可防止接連電纜400所產(chǎn)生的松弛，在測(cè)試頭100對(duì)于測(cè)試裝置主體300下降的場(chǎng)合，藉由圓筒形構(gòu)件210的下降，可解除接連電纜400所產(chǎn)生的張力。
圖3表示可動(dòng)支持部200的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的一例圖?？諝鈮候?qū)動(dòng)裝置220是包括低摩擦空氣汽缸(cylinder)222及精密調(diào)整器(regulator)224。低摩擦空氣汽缸222是藉由所注入的氣體壓力加以驅(qū)動(dòng)活塞(piston)。在本例，注入于低摩擦汽缸的氣體，是例如為干燥空氣。
精密調(diào)整器224是將氣體注入低摩擦空氣汽缸222內(nèi)，使低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力保持于一定。低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力是，例如，以接連電纜400最松弛，在低摩擦空氣汽缸222的活塞的可動(dòng)范圍中，活塞最上升的場(chǎng)合，藉由加在圓筒形構(gòu)件210的負(fù)載比活塞給與低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力較小的方式加以設(shè)定，接連電纜400的松弛最少。低摩擦空氣汽缸222的活塞在可動(dòng)范圍中為最下降的場(chǎng)合，則藉由加在圓筒形構(gòu)件210的負(fù)載比活塞給與低摩擦汽缸222內(nèi)的氣體壓力較大的方式加以設(shè)定。最好是，在活塞最上升的場(chǎng)合使活塞給與低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力與，在活塞最下降的場(chǎng)合活塞給與低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力的平均值以大略相等的方式加以設(shè)定低摩擦汽缸222內(nèi)的氣體壓力。
精密調(diào)整器224加以保持低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力為一定的關(guān)系，空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置220是不關(guān)于圓筒構(gòu)件210的變位，可以一定的附加能量給與接連電纜400。又，藉由調(diào)節(jié)低摩擦空氣汽缸222內(nèi)的氣體壓力，可對(duì)應(yīng)于種種重量的接連電纜400。
尚且，對(duì)于其他例，空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置220是也可由注入的油壓驅(qū)動(dòng)活塞的油壓驅(qū)動(dòng)裝置。對(duì)于其他例子，空氣壓驅(qū)動(dòng)裝置220，是也可利用彈簧，或封入于汽缸內(nèi)的氣壓斥力以得彈簧效果的氣體彈簧。
圖4是表示可動(dòng)支持部200的結(jié)構(gòu)的其他例圖?？蓜?dòng)支持部200是包括圓筒形構(gòu)件210，滑車230、鋼絲繩240及重錘250。鋼絲繩240是橫掛在滑車230，在其一端以可回轉(zhuǎn)的狀態(tài)加以保持圓筒形構(gòu)件210。在鋼絲繩240的他端是附設(shè)重錘250。圓筒形構(gòu)件210是從下方加以支持接連電纜400，由重錘250將接連電纜400附加向上的能量。
對(duì)于本例，也在接連電纜400產(chǎn)生松弛的場(chǎng)合，由重錘250的重量使圓筒形構(gòu)件210變位，可去除接連電纜400的松弛。藉此，可防止接連電纜400的屈曲，并能防止接連電纜400的斷線。尚且，可動(dòng)支持部200是也可替代重錘250，將加在圓筒形構(gòu)件210的接連電纜400的重量，藉由使用由彈簧力減輕的彈簧平衡器(spring balancer)使接連電纜400附加向上的能量。
從上述說明可明了，依照本實(shí)施例的半導(dǎo)體測(cè)試裝置10時(shí)，在接連電纜400產(chǎn)生松弛的場(chǎng)合，可適當(dāng)?shù)丶右耘渲枚菇舆B電纜400不斷線。
以上，雖使用實(shí)施例加以說明本發(fā)明，本發(fā)明的技術(shù)范圍并非限定于上述實(shí)施例所述的范圍。熟習(xí)此技藝者當(dāng)然明了在上述實(shí)施例可能加上多樣的變更或改良。此種加上變更或改良的實(shí)施例也得包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍乙節(jié)，可從申請(qǐng)專利范圍的敘述加以明了。
如以上所示，依照本發(fā)明時(shí)，在接連測(cè)試裝置主體與測(cè)試頭的接連電纜產(chǎn)生松弛的場(chǎng)合，可適當(dāng)?shù)丶右耘渲枚皇菇舆B電纜斷線的一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其包括一測(cè)試裝置主體，是產(chǎn)生給與一半導(dǎo)體元件的一測(cè)試圖案；一測(cè)試頭，是接觸于該半導(dǎo)體元件，將該測(cè)試裝置主體所產(chǎn)生的該測(cè)試圖案給與該半導(dǎo)體元件；一電纜，是從該測(cè)試裝置主體向該測(cè)試頭傳送該測(cè)試圖案；以及一可動(dòng)支持部，是加以保持該電纜的同時(shí)，在該電纜產(chǎn)生一張力的場(chǎng)合，向解除該張力的方向移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的可動(dòng)支持部是從下方支持該電纜，在該電纜產(chǎn)生一張力的場(chǎng)合藉由向下方移動(dòng)以解除該張力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的可動(dòng)支持部是包括一圓筒形構(gòu)件，是橫掛該電纜；以及一附加能量部，是使該圓筒形構(gòu)件附加向上方的能量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的附加能量部是將該圓筒形構(gòu)件加以保持于可回轉(zhuǎn)的狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的電纜是多個(gè)傳送線以平排的方式形成之一扁平電纜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測(cè)試裝置，其特征在于其中所述的傳送線是為一光纖。
全文摘要
一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置包括測(cè)試裝置主體、測(cè)試頭、電纜及可動(dòng)支持部。其中，測(cè)試裝置主體是產(chǎn)生測(cè)試圖案(信號(hào))給與半導(dǎo)體元件。測(cè)試頭，是與半導(dǎo)體元件接觸，將測(cè)試主體所產(chǎn)生的測(cè)試圖案(信號(hào))給與半導(dǎo)體元件。電纜是從測(cè)試裝置主體向測(cè)試頭傳送測(cè)試圖案。可動(dòng)支持部是保持電纜的同時(shí)，在電纜產(chǎn)生張力的場(chǎng)合向解除該張力的方向加以移動(dòng)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1833173SQ20048002278
公開日2006年9月13日 申請(qǐng)日期2004年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月12日
發(fā)明者內(nèi)藤隆 申請(qǐng)人:愛德萬測(cè)試株式會(huì)社