1.一種除雜裝置,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除雜裝置,其特征在于,還包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的除雜裝置,其特征在于,所述定位配合部為設(shè)于所述吸附組件的上表面的定位槽,所述定位機(jī)構(gòu)具有伸縮式的定位桿,所述定位桿用于伸入所述定位槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的除雜裝置,其特征在于,還包括:
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的除雜裝置,其特征在于,所述第一避讓孔為圓心位于所述吸附組件的旋轉(zhuǎn)軸線的圓弧形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的除雜裝置,其特征在于,所述除雜裝置還包括:支撐結(jié)構(gòu),所述吸附驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述支撐結(jié)構(gòu);
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的除雜裝置,其特征在于,所述支撐結(jié)構(gòu)包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的除雜裝置,其特征在于,還包括:
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的除雜裝置,其特征在于,還包括:
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的除雜裝置,其特征在于,所述蓋體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端包括:連桿,所述避讓口為圓心位于所述蓋體的旋轉(zhuǎn)軸線的圓弧形,所述連桿與所述蓋體鉸接。
11.一種除雜系統(tǒng),其特征在于,包括:
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述清洗裝置包括:
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述隔離件為薄膜,所述清潔機(jī)構(gòu)包括:
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述清洗裝置還包括:
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述清洗裝置還包括:
16.根據(jù)權(quán)利要求13-15任一項(xiàng)所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述刮洗機(jī)構(gòu)還包括:
17.根據(jù)權(quán)利要求13-16任一項(xiàng)所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述清潔機(jī)構(gòu)還包括:
18.根據(jù)權(quán)利要求12-17中任一項(xiàng)所述的除雜系統(tǒng),其特征在于,所述清洗裝置還包括:
19.一種使用如權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的除雜裝置的清潔方法,其特征在于,包括:
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的清潔方法,其特征在于,還包括:
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的清潔方法,其特征在于,在所述除雜裝置的吸附組件脫離所述除雜腔之前,所述方法還包括:所述除雜裝置的蓋體驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述除雜裝置的蓋體轉(zhuǎn)動(dòng)至所述蓋體與所述除雜腔解鎖;