一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于一種氣體循環(huán)凈化裝置，具體涉及一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置。
【背景技術】
[0002]惰性氣體作為一種保護氣體，經(jīng)常會被用到工業(yè)生產(chǎn)中。但是隨著生產(chǎn)過程的進行，保護氣體的純度會逐漸降低，影響生產(chǎn)的進程和產(chǎn)品的質(zhì)量，現(xiàn)有技術無法避免氣體純度的降低。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型是為了克服現(xiàn)有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置。
[0004]本實用新型的技術方案是:
[0005]一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置，包括通過循環(huán)管路依次連通的蠕動泵、鈦泵和負壓工作系統(tǒng)，
[0006]所述蠕動泵包括支撐架、電機、聯(lián)軸器、軸支撐架、絲杠、滑塊、活動板、波紋管、限位開關和滑動軸；支撐架是由兩塊側(cè)板和一塊底板組成的“U”型結(jié)構(gòu)；支撐架靠近電機一側(cè)的側(cè)板形成缺口，電機的驅(qū)動桿與聯(lián)軸器連接；兩個軸支撐架分別安裝于支撐架的底板上，且靠近側(cè)板內(nèi)壁設置；絲杠兩端分別安裝于兩個軸支撐架上，其中一端與聯(lián)軸器連接；滑塊安裝于絲杠上；活動板是由豎板與固定于滑塊上的橫板組成的“丄”型結(jié)構(gòu)，活動板的豎板與支撐架的側(cè)板平行，且豎板邊角處形成與側(cè)板通孔相對應的滑動軸孔；波紋管兩端分別與兩側(cè)板固定，且中間被豎板分隔成左波紋管和右波紋管兩部分；兩側(cè)板和豎板對應左波紋管和右波紋管端面中心的位置形成透氣孔，左波紋管和右波紋管內(nèi)部對應透氣孔的位置安裝有擋片；兩個限位開關分別安裝于底板上，且靠近軸支撐架設置；滑動軸分別穿過兩側(cè)板和豎板，安裝于支撐架上；
[0007]所述鈦泵包括圓筒形鈦泵外殼、刀口密封電極法蘭、金屬密封墊圈、內(nèi)膽、鎧裝加熱絲、電極針和海綿鈦；鈦泵外殼上端形成刀口密封法蘭，鈦泵外殼的筒體兩側(cè)分別設置進氣口和出氣口；電極法蘭安裝于鈦泵外殼上端，且鈦泵外殼和電極法蘭安裝有金屬密封墊圈；內(nèi)膽置于鈦泵外殼空腔中，且通過多個連接板與電極法蘭的下端面固定連接，內(nèi)膽呈圓筒狀，其筒壁及筒底形成均布的圓孔，內(nèi)膽內(nèi)部裝有海綿鈦；鎧裝加熱絲置于內(nèi)膽內(nèi)；多個電極針焊接在電極法蘭上，且一端深入內(nèi)膽內(nèi)部，其中一對電極針深入內(nèi)膽的一端與鎧裝加熱絲連接。
[0008]所述鈦泵的進氣口與蠕動泵出氣口連通，出氣口與負壓工作系統(tǒng)進氣口連通。
[0009]所述擋片呈圓形，且直徑大于透氣孔的直徑。
[0010]所述刀口密封法蘭的尺寸與刀口密封電極法蘭的尺寸相匹配。
[0011]所述進氣口的位置低于出氣口。
[0012]所述鈦泵外殼的內(nèi)壁形成有鈦膜。
[0013]本實用新型的有益效果是:
[0014]本實用新型是針對在負壓環(huán)境下使用保護氣體進行的長時間工作，可以在不破壞系統(tǒng)負壓環(huán)境的情況下，對系統(tǒng)內(nèi)部的惰性氣體進行凈化提純，既提高了工作效率，又降低了工作成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本實用新型中蠕動泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3是本實用新型中鈦泵的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4是圖3中A部分的放大圖；
[0019]圖5是圖3中B部分的放大圖。
[0020]其中:
[0021]I蠕動泵2鈦泵
[0022]3負壓工作系統(tǒng)4循環(huán)管道
[0023]5支撐架 6電機
[0024]7聯(lián)軸器8軸支撐架
[0025]9絲杠10滑塊
[0026]11活動板12波紋管
[0027]13擋片14限位開關
[0028]15滑動軸16鈦泵外殼
[0029]17刀口密封電極法蘭18金屬密封墊圈
[0030]19內(nèi)膽20鎧裝加熱絲
[0031]21電極針22海綿鈦
[0032]23驅(qū)動桿24側(cè)板
[0033]25底板26豎板
[0034]27左波紋管28右波紋管
[0035]29透氣孔30刀口密封法蘭
[0036]31連接板32進氣口
[0037]33 出氣口34橫板。
【具體實施方式】
[0038]下面結(jié)合說明書附圖及實施例對本實用新型一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置進行詳細說明:
[0039]如圖1所示，一種負壓環(huán)境下的氣體循環(huán)凈化裝置，包括通過循環(huán)管路4依次連通的蠕動泵1、鈦泵2和負壓工作系統(tǒng)3，負壓工作系統(tǒng)3包括真空腔體、真空泵及真空計，負壓工作系統(tǒng)3內(nèi)部氣體運動方向如圖1中箭頭所示；鈦泵2進出氣口由圖3中箭頭所示；循環(huán)管道4盡可能縮短長度并減少拐角。
[0040]如圖2、4、5所述，蠕動泵I包括支撐架5、電機6、聯(lián)軸器7、軸支撐架8、絲杠9、滑塊10、活動板11、波紋管12、限位開關14和滑動軸15 ；
[0041]支撐架5是由兩塊兩塊側(cè)板24和一塊底板25組成的“U”型結(jié)構(gòu)，支撐架5靠近電機6 —側(cè)的側(cè)板24形成缺口，；
[0042]電機6的驅(qū)動桿23與聯(lián)軸器7連接；
[0043]兩個軸支撐架8分別安裝于支撐架5的底板25上，且靠近側(cè)板24內(nèi)壁設置；
[0044]絲杠9兩端分別安裝于兩個軸支撐架8上，其中一端與聯(lián)軸器7連接；
[0045]滑塊10安裝于絲杠9上；
[0046]活動板11是由豎板26與固定于滑塊20上的橫板34組成的“丄”型結(jié)構(gòu)，活動板11的豎板26與支撐架5的側(cè)板24平行，且豎板26邊角處形成與側(cè)板24通孔相對應的滑動軸孔；
[0047]波紋管12兩端分別與兩側(cè)板24固定，且中間被豎板26分隔成左波紋管27和右波紋管28兩部分；兩側(cè)板24和豎板26對應左波紋管27和右波紋管28端面中心的位置形成透氣孔29，左波紋管27和右波紋管28內(nèi)部對應透氣孔29的位置安裝有擋片13 ；
[0048]所述擋片13呈圓形，且直徑大于透氣孔29的直徑。
[0049]兩個限位開關14分別安裝于底板25上，且靠近軸支撐架8設置；
[0050]滑動軸15分別穿過兩側(cè)板24和豎板26，安裝于支撐架5上；
[0051]支撐架5、活動板11、擋片13、滑動軸15的材料均為304不銹鋼，波紋管12的材料為350不銹鋼。
[0052]蠕動泵循環(huán)工作過程如下:
[0053]電機6、軸支撐架10、波紋管12和限位開關14均固定在支撐架5上，電機的轉(zhuǎn)動由聯(lián)軸器7傳遞給架在軸支撐架8上的絲杠9，滑塊10可隨著絲杠的正反轉(zhuǎn)做往復移動，固定在滑塊10上端的活動板11隨著滑塊10做往復運動使左波紋管27和右波紋管28交替做壓縮、拉伸的動作，左波紋管27壓縮時其內(nèi)部的擋片13處于閉合狀態(tài)(如圖4所示)；同時右波紋管28做拉伸動作，且其內(nèi)部擋片13處于開合狀態(tài)(如圖5所示)，如此往復，兩段波紋管內(nèi)部氣體便可向一個方向運動，形成循環(huán)。活動板11下端連接滑塊10，豎板26由滑動軸15支撐，保證波紋管12只沿軸向