一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體真空加熱設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè)，高溫擴(kuò)散爐與其內(nèi)的石英管相配合使用主要用于對單晶硅片、多晶硅片進(jìn)行摻雜，形成PN結(jié)。目前常規(guī)的擴(kuò)散爐用石英管設(shè)置在擴(kuò)散爐的腔體內(nèi)，通過加熱擴(kuò)散爐來升溫，并在石英管上設(shè)有進(jìn)氣口和排氣口。在擴(kuò)散工藝過程中，待擴(kuò)散的硅片置于石英管中央，擴(kuò)散爐開始升溫，雜質(zhì)源氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入管內(nèi)，雜質(zhì)源氣體在高溫下反應(yīng)并擴(kuò)散進(jìn)入硅片內(nèi)，由于目前常規(guī)的石英管固定方式十分簡單，僅僅在石英管與擴(kuò)散爐壁間放置石英墊圈并在空隙處填入石英棉，這種固定方式使得石英管在使用過程中很容易發(fā)生位置移動甚至與擴(kuò)散爐碰撞而損壞。
[0003]另一方面，在對硅片進(jìn)行摻雜時，石英管內(nèi)的壓強(qiáng)很低，溫度很高，而現(xiàn)有的石英管尾部大部分為平面，無法承受石英管壁內(nèi)外的壓力差，很容易損壞，而且由于擴(kuò)散在高溫下進(jìn)行，石英管管口沒有隔熱裝置，易導(dǎo)致爐口石英管壁溫度過高，爐口密封圈因溫度過高密封效果下降，而擴(kuò)散工藝對環(huán)境潔凈度要求嚴(yán)格，密封不好將造成石英管和硅片的污染，對硅片性能有很大的影響。
[0004]因此，設(shè)計出一種位置固定、耐高壓且密封良好的負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管是業(yè)界亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型為了解決石英管在使用過程中容易發(fā)生位置移動的問題，提供一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體、下端的石英管口部、石英管尾部設(shè)有進(jìn)氣管和出氣管，其特征在于，石英管尾部和口部均固定在負(fù)壓擴(kuò)散爐上。
[0006]具體來說，石英管尾部設(shè)有一圈環(huán)狀結(jié)構(gòu)，圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)和擴(kuò)散爐內(nèi)壁可通過法蘭連接在一起，從而將石英管固定；石英管口部四周設(shè)有法蘭與爐壁法蘭連接用于固定石英管。
[0007]石英管口部四周設(shè)有一圈環(huán)狀空心腔體用于隔熱，環(huán)狀空心腔體內(nèi)可填充石英纖維棉、含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料之中的一種或多種。
[0008]石英管尾部設(shè)有至少一個進(jìn)氣口和一個排氣口且石英管尾部為外凸的曲面結(jié)構(gòu)。
[0009]本實用新型石英管尾和石英管口都有固定裝置與擴(kuò)散爐固定在一起，有效地避免了石英管在使用過程中發(fā)生位移，減少了石英管位置調(diào)整的次數(shù)。石英管口設(shè)有環(huán)狀腔體用于隔熱，使石英管口密封性能大幅提高，此外在石英管尾部使用外凸的曲面結(jié)構(gòu)，耐壓能力較平面結(jié)構(gòu)有所改進(jìn)。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型一實施例剖面的主視圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本實用新型進(jìn)一步進(jìn)行說明。
[0012]如圖1所示，是本實用新型在石英管尾左側(cè)設(shè)有一個進(jìn)氣管，右側(cè)設(shè)有一個出氣管，且中間設(shè)有一預(yù)留進(jìn)氣管的實施例，包括:位于石英管上端外凸曲面結(jié)構(gòu)的石英管尾部1、位于石英管尾部左側(cè)的噴淋進(jìn)氣管13、右側(cè)的出氣管14、中間預(yù)留的非噴淋方式進(jìn)氣管15、石英管中間帶有空腔的圓柱形管體2和石英管下端圓形的石英管口部3，石英管尾部1通過外凸曲面上豎直方向上的圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)4上的法蘭5與擴(kuò)散爐壁上的法蘭6固定在一起。石英管尾圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)上的法蘭5與擴(kuò)散爐上的法蘭6中間裝有密封圈7。石英管口 3外側(cè)設(shè)有一圈圓環(huán)腔體8，圓環(huán)腔體內(nèi)部填充石英纖維棉9，填充石英纖維棉的圓環(huán)腔體可以有效地進(jìn)行隔熱，避免石英管口溫度過高造成的密封不良。石英管口上的法蘭10與擴(kuò)散爐壁上的法蘭11固定在一起，法蘭10與法蘭11之間裝有密封圈12。石英管尾以及石英管口通過法蘭與擴(kuò)散爐固定之后，可以避免石英管在使用過程中發(fā)生位置移動，減少了設(shè)備位置的調(diào)試次數(shù)。
[0013]除了在圓環(huán)狀空心腔體內(nèi)填充石英纖維棉外，還可以填充含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料。
[0014]以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構(gòu)思，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體、下端的石英管口部、進(jìn)氣管和出氣管，其特征在于，石英管尾部和口部均固定在負(fù)壓擴(kuò)散爐上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部設(shè)有與負(fù)壓擴(kuò)散爐內(nèi)壁連接的一圈環(huán)狀結(jié)構(gòu)，所述石英管口部四周設(shè)有與負(fù)壓擴(kuò)散爐內(nèi)壁連接的法蘭。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述石英管口部四周設(shè)有一圈用于隔熱的圓環(huán)狀空心腔體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述石英管口部的圓環(huán)狀空心腔體內(nèi)填充隔熱材料。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述隔熱材料是石英纖維棉、含鋯纖維、高鋁纖維以及納米二氧化硅微孔隔熱材料之中的一種。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部設(shè)有至少一個進(jìn)氣口和一個排氣口。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，其特征在于，所述石英管尾部為外凸的曲面結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種負(fù)壓擴(kuò)散爐用石英管，包括上端的石英管尾部、中間帶有空腔的管體和下端的石英管口部，石英管尾部設(shè)有進(jìn)氣管和出氣管，石英管尾部和口部均通過法蘭固定在擴(kuò)散爐的主體機(jī)架上從而避免了石英管在設(shè)備使用過程中發(fā)生位移的問題。此外，本實用新型石英管口設(shè)有環(huán)狀空腔用于隔熱，采用外凸的曲面結(jié)構(gòu)增強(qiáng)耐壓能力。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，密封性良好、耐高壓并且因與擴(kuò)散爐固定良好，使用壽命大大提高。
【IPC分類】C30B31/10
【公開號】CN205035499
【申請?zhí)枴緾N201520730986
【發(fā)明人】楊寶立, 常紅旺, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2015年9月21日