1.移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:包括混合氣體回收系統(tǒng)、混合氣體分離系統(tǒng)、制冷機組(16)、六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)、四氟化碳專用壓充系統(tǒng)和抽真空系統(tǒng),混合氣體回收系統(tǒng)的出氣口與混合氣體分離系統(tǒng)的進氣口連接,混合氣體分離系統(tǒng)的出氣口與四氟化碳專用壓充系統(tǒng)的進氣口連接,混合氣體分離系統(tǒng)的出液口與六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)的進液口連接,抽真空系統(tǒng)的抽氣口分別與混合氣體回收系統(tǒng)、六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)和四氟化碳專用壓充系統(tǒng)連接,制冷機組(16)的制冷輸出口分別與混合氣體回收系統(tǒng)、混合氣體分離系統(tǒng)和四氟化碳專用壓充系統(tǒng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:混合氣體回收系統(tǒng)包括第一高壓管(1),第一高壓管(1)的進氣口設有混合進氣自封快速接頭(2),第一高壓管(1)上沿混合氣體氣流方向依次設有第一電磁閥(V1)、第一手動常開閥(C1)、第一分子篩(3)、第一分子篩(4)、無油壓縮機(5)、第一單向閥(6)、第一冷熱交換器(7)和混合出氣自封快速接頭(8);第一電磁閥(V1)的進口和出口之間的第一高壓管(1)上連接有增壓高壓管(9),增壓高壓管(9)上沿混合氣體氣流方向依次設有第二電磁閥(V2)、真空壓縮機(10)和第二單向閥(11);制冷機組(16)的制冷輸出口與第一冷熱交換器(7)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:混合氣體分離系統(tǒng)包括混合分離高壓管(12)和氣體分離罐(13),混合分離高壓管(12)的進氣口連接在第一冷熱交換器(7)和混合出氣自封快速接頭(8)之間的第一高壓管(1)上,混合分離高壓管(12)的出氣口與氣體分離罐(13)的進氣口連接,混合分離高壓管(12)上設有第三電磁閥(V3),氣體分離罐(13)底部設有液位計(14),氣體分離罐(13)頂部設有六氟化硫純度儀(15);制冷機組(16)的制冷輸出口與氣體分離罐(13)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:四氟化碳專用壓充系統(tǒng)包括第二高壓管(20),第二高壓管(20)的進氣口與氣體分離罐(13)頂部連接,第二高壓管(20)的出氣口設有四氟化碳出氣自封快速接頭(21),第二高壓管(20)上沿進氣口到出氣口方向依次設有第四電磁閥(V4)、高壓壓縮機(22)和第二冷熱交換器(23);制冷機組(16)的制冷輸出口與第二冷熱交換器(23)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:六氟化硫?qū)S脡撼湎到y(tǒng)包括第三高壓管(17),第三高壓管(17)的進液口與氣體分離罐(13)底部連接,第三高壓管(17)的出氣口設有六氟化硫出氣自封快速接頭(18),第三高壓管(17)上沿進液口到出氣口方向依次設有第五電磁閥(V5)、液態(tài)灌裝機(19)和第六電磁閥(V6)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的移動式六氟化硫和四氟化碳混合氣體快速回收裝置,其特征在于:抽真空系統(tǒng)包括抽真空主管(33),抽真空主管(33)的兩端分別與真空泵(32)和外界抽真空自封快速接頭(34)連接,抽真空主管(33)上設有第八電磁閥(V8);抽真空主管(33)與增壓高壓管(9)之間通過第一抽真空管(35)連接,第一抽真空管(35)上設有第九電磁閥(V9);抽真空主管(33)與第三高壓管(17)之間通過第三抽真空管(37)連接,第三抽真空管(37)上設有第十電磁閥(V10);第二高壓管(20)與第三高壓管(17)之間通過第四抽真空管(38)連接,第四抽真空管(38)上設有第十一電磁閥(V11)。