專利名稱：齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示技術(shù)及顯示器件在信息技術(shù)的發(fā)展過程中占據(jù)了越來越重要的地位，電視、電腦以及各類儀器儀表上的顯示器為人類的生活和工作提供著大量的信息。而顯示器件領(lǐng)域也正在加速推進(jìn)其平板化的進(jìn)程。利用碳納米管作為陰極而制作的場致發(fā)射顯示器則是一種新型的平板器件，它是利用碳納米管陰極的場致發(fā)射原理來制作研究的，具有高亮度、高清晰度、高分辨率以及功耗低等特點(diǎn)，已經(jīng)成為了國際平板顯示領(lǐng)域的發(fā)展方向，被公認(rèn)為是下一代平板顯示器件的代表。
柵極結(jié)構(gòu)是三極場致發(fā)射平板顯示器件中的關(guān)鍵控制元件之一，它直接決定著碳納米管陰極能否進(jìn)行電子發(fā)射。目前在大多數(shù)的平板顯示器件當(dāng)中都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的結(jié)構(gòu)形式，這種結(jié)構(gòu)形式的制作工藝簡單，柵極的控制作用比較顯著，但所形成的柵極電流比較大，且柵極電壓居高不下，這是其不利之處。在確保柵極結(jié)構(gòu)良好控制作用的同時(shí)，還需要進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，這符合低壓平板器件的質(zhì)量體系要求。很顯然，盡可能的縮短?hào)艠O結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極之間的距離是降低柵極工作電壓的最直接辦法。除此之外，還可以對(duì)碳納米管陰極的表面形狀加以改進(jìn)，使其在比較低的電壓下就能夠產(chǎn)生足夠強(qiáng)的電場強(qiáng)度，發(fā)射出大量的電子，這也達(dá)到了間接降低柵極工作電壓的目的。此外，還需要柵極電壓能夠均勻的施加到碳納米管陰極頂端，從而確保整體器件的發(fā)光均勻性。而對(duì)于這些所存在的問題，在目前的實(shí)際器件制作過程中，還沒有一個(gè)很完美的解決方法。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及齒型高柵控結(jié)構(gòu)。
所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層呈現(xiàn)三角發(fā)射型形狀，即中心為一個(gè)圓環(huán)型，圓環(huán)的中心位置與陰極基底層的中心位置相重合，圓環(huán)的外直徑大，內(nèi)直徑小，在圓環(huán)的周圍排列著八個(gè)三角形，呈現(xiàn)發(fā)射型分布在周圍八個(gè)方向上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極升高層；柵極升高層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層和空域的阻滯層部分；柵極升高層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；柵極升高層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層和陰極導(dǎo)電層；柵極升高層中圓型孔在柵極升高層上表面處的截面為圓型面；柵極升高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從柵極升高層的上表面開始，逐漸向柵極升高層的內(nèi)部凹陷傾斜，直至到達(dá)柵極升高層的下表面位置為止，靠近柵極升高層上表面處的圓型孔的直徑大，靠近柵極升高層下表面處的圓型孔的直徑??；柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷的絕緣漿料層形成柵極附加層；柵極附加層為三個(gè)三角形，形成齒型形狀，從柵極升高層上表面開始依次向下排列分布；靠近柵極升高層上表面的三角形柵極附加層的表面與柵極升高層上表面平齊；柵極附加層的三個(gè)三角形形狀的尖端都指向圓型孔的中心位置；柵極附加層中三個(gè)三角形形狀的尖端高度依次縮進(jìn)，即最上邊的三角形尖角高度最大，最下邊的三角形尖角高度最小，中間的三角形尖角高度居中；柵極附加層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層要覆蓋在整個(gè)柵極附加層的上表面；柵極升高層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住全部的柵極引線層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極基底層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)柵極升高層的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；柵極升高層中存在圓型孔；7)柵極附加層的制作在柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極附加層；8)柵極管制層的制作在柵極附加層上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；11)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
12)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)中，制作了齒型柵極控制結(jié)構(gòu)。當(dāng)在柵極上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子。柵極引線層是將外界電壓傳遞到柵極管制層上面，同時(shí)起到像素點(diǎn)矩陣尋址的功能，而柵極管制層則是來控制碳納米管陰極的電子發(fā)射。三角尖型形狀環(huán)繞在圓型孔的周圍，構(gòu)成了尖環(huán)型，有利于均勻的將柵極電壓施加到碳納米管陰極頂端，同時(shí)也使得柵極電壓更集中的施加到碳納米管陰極頂端；三個(gè)高度依次降低的三角型形狀，能夠確保進(jìn)一步增強(qiáng)碳納米管陰極表面頂端的電場強(qiáng)度，迫使其發(fā)射出更多的電子，同時(shí)其高度依次降低，也能夠降低柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極電子束截留的幾率。
其次，在所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在呈現(xiàn)三角發(fā)射型形狀的陰極導(dǎo)電層上面。這樣，可以充分利用碳納米管陰極電子發(fā)射中邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的現(xiàn)象，進(jìn)一步提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積和電子發(fā)射數(shù)量，有助于提高整體器件的顯示亮度。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了齒型高柵控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了齒型高柵控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了齒型高柵控結(jié)構(gòu)中陰極導(dǎo)電層的俯視示意圖；圖4給出了帶有齒型高柵控結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[5]、碳納米管[11]以及齒型高柵控結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑[17]附屬元件。
所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、陰極基底層[4]、陰極導(dǎo)電層[5]、柵極升高層[6]、柵極附加層[7]、柵極管制層[8]、柵極引線層[9]、柵極覆蓋層[10]和碳納米管[11]部分。
所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層呈現(xiàn)三角發(fā)射型形狀，即中心為一個(gè)圓環(huán)型，圓環(huán)的中心位置與陰極基底層的中心位置相重合，圓環(huán)的外直徑大，內(nèi)直徑小，在圓環(huán)的周圍排列著八個(gè)三角形，呈現(xiàn)發(fā)射型分布在周圍八個(gè)方向上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極升高層；柵極升高層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層和空域的阻滯層部分；柵極升高層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；柵極升高層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層和陰極導(dǎo)電層；柵極升高層中圓型孔在柵極升高層上表面處的截面為圓型面；柵極升高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從柵極升高層的上表面開始，逐漸向柵極升高層的內(nèi)部凹陷傾斜，直至到達(dá)柵極升高層的下表面位置為止，靠近柵極升高層上表面處的圓型孔的直徑大，靠近柵極升高層下表面處的圓型孔的直徑??；柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷的絕緣漿料層形成柵極附加層；柵極附加層為三個(gè)三角形，形成齒型形狀，從柵極升高層上表面開始依次向下排列分布；靠近柵極升高層上表面的三角形柵極附加層的表面與柵極升高層上表面平齊；柵極附加層的三個(gè)三角形形狀的尖端都指向圓型孔的中心位置；柵極附加層中三個(gè)三角形形狀的尖端高度依次縮進(jìn)，即最上邊的三角形尖角高度最大，最下邊的三角形尖角高度最小，中間的三角形尖角高度居中；柵極附加層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層要覆蓋在整個(gè)柵極附加層的上表面；柵極升高層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住全部的柵極引線層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極基底層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
一種帶有齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；
4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)柵極升高層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；柵極升高層中存在圓型孔；7)柵極附加層[7]的制作在柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極附加層；8)柵極管制層[8]的制作在柵極附加層上面制備出一個(gè)金屬鉬，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層[9]的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層[10]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；11)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟19具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[16]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑附屬元件[17]，其特征在于在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[5]、碳納米管[11]以及齒型高柵控結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)圓面型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層呈現(xiàn)三角發(fā)射型形狀，即中心為一個(gè)圓環(huán)型，圓環(huán)的中心位置與陰極基底層的中心位置相重合，圓環(huán)的外直徑大，內(nèi)直徑小，在圓環(huán)的周圍排列著八個(gè)三角形，呈現(xiàn)發(fā)射型分布在周圍八個(gè)方向上；阻滯層上面的印刷的絕緣漿料形成柵極升高層；柵極升高層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層和空域的阻滯層部分；柵極升高層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；柵極升高層中存在圓型孔，暴露出底部的陰極基底層和陰極導(dǎo)電層；柵極升高層中圓型孔在柵極升高層上表面處的截面為圓型面；柵極升高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是傾斜的，即從柵極升高層的上表面開始，逐漸向柵極升高層的內(nèi)部凹陷傾斜，直至到達(dá)柵極升高層的下表面位置為止，靠近柵極升高層上表面處的圓型孔的直徑大，靠近柵極升高層下表面處的圓型孔的直徑??；柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷的絕緣漿料層形成柵極附加層；柵極附加層為三個(gè)三角形，形成齒型形狀，從柵極升高層上表面開始依次向下排列分布；靠近柵極升高層上表面的三角形柵極附加層的表面與柵極升高層上表面平齊；柵極附加層的三個(gè)三角形形狀的尖端都指向圓型孔的中心位置；柵極附加層中三個(gè)三角形形狀的尖端高度依次縮進(jìn)，即最上邊的三角形尖角高度最大，最下邊的三角形尖角高度最小，中間的三角形尖角高度居中；柵極附加層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層要覆蓋在整個(gè)柵極附加層的上表面；柵極升高層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要完全覆蓋住全部的柵極引線層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極基底層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻。
4.一種齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極基底層；5)陰極導(dǎo)電層[5]的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；6)柵極升高層[6]的制作在阻滯層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；柵極升高層中存在圓型孔；7)柵極附加層[7]的制作在柵極升高層中圓型孔內(nèi)側(cè)壁上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極附加層；8)柵極管制層[8]的制作在柵極附加層上面制備出金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層[9]的制作在柵極升高層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層[10]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；11)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)齒型高柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[16]裝配到一起，并將消氣劑[17]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；18)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種齒型高柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及齒型高柵控結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠進(jìn)一步增強(qiáng)柵極結(jié)構(gòu)的控制功能，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率和電子發(fā)射數(shù)量，有助于提高整體器件的顯示亮度，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J1/46GK101071734SQ20071005461
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院