專利名稱：柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
場致發(fā)射平板顯示器兼顧具有陰極射線管顯示器以及液晶顯示器二者的優(yōu)點，業(yè)已成為了新一代性能良好的顯示器件，將在壁掛電視、高清晰度電腦、可視電話等方面獲得廣泛應(yīng)用。相對于陰極射線管顯示器而言，場致發(fā)射顯示器具有它的高清晰圖像質(zhì)量、響應(yīng)速度快等優(yōu)點，同時克服了X射線輻射和磁場干擾等缺點，是陰極射線管顯示器完全平板化的重大進展。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場致發(fā)射顯示器是一種新興的平面型顯示設(shè)備，具有高清晰度、高分辨率、視角大、功耗低以及完全平板化等特點，已經(jīng)成為了國際平板顯示領(lǐng)域的熱門話題，也是下一代平板顯示器件的代表。
在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，柵極結(jié)構(gòu)是一種控制型元件，用來決定碳納米管陰極是否進行電子發(fā)射。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。而進一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，這是研究制作人員努力的方向之一，也是符合低壓平板顯示器件的質(zhì)量體系要求的。目前的三極結(jié)構(gòu)場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓普遍偏高，造成整體器件的生產(chǎn)成本居高不下。一方面需要盡可能的縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，從而降低柵極工作電壓，另一方面也可以從其它方面進行改進，例如，改變碳納米管陰極的表面形狀，使得其能夠在較低的電壓下就發(fā)射電子，這也是間接的降低了柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。等等。那么，在實際器件的制作過程中，需要采取多方面的措施，進行高質(zhì)量的器件制作，當(dāng)然這也是值得研究人員考慮的現(xiàn)實問題之一。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件。
所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)細長圓柱條型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在倒置凸面尖型孔，在倒置凸面尖型孔的中心位置暴露出底部的陰極基底層；間隔層中倒置凸面尖型孔在間隔層上表面所形成的截面為中空的圓形面，此處的直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，其直徑也越來越小，直至到達位于倒置凸面尖型孔中心位置的陰極基底層側(cè)面位置為止；倒置凸面尖型孔的內(nèi)側(cè)壁是一個向上凸起的凸型面；陰極基底層的高度要高于倒置凸面尖型孔的最底部高度；間隔層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁下半部分表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長線層；陰極延長線層布滿倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，其高度與陰極基底層的高度相同；陰極延長線層的下部末端與陰極基底層相互連通，陰極延長線層呈現(xiàn)一個凸起的傘型面環(huán)繞在陰極基底層的周圍；陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要覆蓋住全部的陰極基底層上表面以及陰極延長線層的上表面；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層環(huán)繞在倒置凸面尖型孔的周圍，其前端部分要向倒置凸面尖型孔中心位置延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；懸空部分的柵極管制層呈現(xiàn)一個銳角型折線形狀，即在柵極管制層平面延伸的最前端向后上方折回，形成一個銳角角度；間隔層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層以及部分柵極管制層的上表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極延長線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、錢；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；5)間隔層[5]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；6)陰極延長線層[6]的制作在倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極延長線層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層的表面上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極管制層[8]的制作在間隔層上表面倒置凸面尖型孔周圍制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層[9]的制作在間隔層上表面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層[10]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；
11)柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果
首先，在所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了陰極導(dǎo)電層的上面，而陰極導(dǎo)電層分為兩部分，一部分位于倒置凸面尖型孔的內(nèi)側(cè)壁上，形成一個傘型面形狀，另一部分位于呈現(xiàn)細長圓柱面型的陰極基底層上面。這樣，一方面充分利用了碳納米管陰極的邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，另一方面能夠極大的增加碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有利于進一步提高整體器件的顯示亮度。
其次，在所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)中，分別制作了柵極引線層和柵極管制層部分結(jié)構(gòu)，共同來形成對碳納米管陰極電子發(fā)射起決定性作用的控制柵極結(jié)構(gòu)。其中柵極引線層則是能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部，而柵極管制層則能夠在碳納米管陰極表面頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子。能夠進一步縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，同時折線型的柵極管制層還附帶具有電子束聚焦功能。
此外，在所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進行大面積的器件制作，有利于進行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[7]、碳納米管[11]以及柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑[18]附屬元件。
所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、陰極引線層[3]、陰極基底層[4]、間隔層[5]、陰極延長線層[6]、陰極導(dǎo)電層[7]、柵極管制層[8]、柵極引線層[9]、柵極覆蓋層[10]和碳納米管[11]部分。
所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)細長圓柱條型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在倒置凸面尖型孔，在倒置凸面尖型孔的中心位置暴露出底部的陰極基底層；間隔層中倒置凸面尖型孔在間隔層上表面所形成的截面為中空的圓形面，此處的直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，其直徑也越來越小，直至到達位于倒置凸面尖型孔中心位置的陰極基底層側(cè)面位置為止；倒置凸面尖型孔的內(nèi)側(cè)壁是一個向上凸起的凸型面；陰極基底層的高度要高于倒置凸面尖型孔的最底部高度；間隔層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁下半部分表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長線層；陰極延長線層布滿倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，其高度與陰極基底層的高度相同；陰極延長線層的下部末端與陰極基底層相互連通，陰極延長線層呈現(xiàn)一個凸起的傘型面環(huán)繞在陰極基底層的周圍；陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要覆蓋住全部的陰極基底層上表面以及陰極延長線層的上表面；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層環(huán)繞在倒置凸面尖型孔的周圍，其前端部分要向倒置凸面尖型孔中心位置延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；懸空部分的柵極管制層呈現(xiàn)一個銳角型折線形狀，即在柵極管制層平面延伸的最前端向后上方折回，形成一個銳角角度；間隔層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層以及部分柵極管制層的上表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極延長線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、錢；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
一種帶有柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；5)間隔層[5]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；6)陰極延長線層[6]的制作在倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極延長線層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層的表面上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極管制層[8]的制作在間隔層上表面倒置凸面尖型孔周圍制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層[9]的制作在間隔層上表面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層[10]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；11)柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對碳納米管進行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；
15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑附屬元件[18]，其特征在于在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層[7]、碳納米管[11]以及柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的印刷的銀漿層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)細長圓柱條型形狀，其下表面和陰極引線層緊密接觸；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面為平面，要覆蓋住陰極引線層以及空余的阻滯層部分；間隔層中存在倒置凸面尖型孔，在倒置凸面尖型孔的中心位置暴露出底部的陰極基底層；間隔層中倒置凸面尖型孔在間隔層上表面所形成的截面為中空的圓形面，此處的直徑最大，從間隔層的上表面開始，逐漸向間隔層內(nèi)部凹陷，其直徑也越來越小，直至到達位于倒置凸面尖型孔中心位置的陰極基底層側(cè)面位置為止；倒置凸面尖型孔的內(nèi)側(cè)壁是一個向上凸起的凸型面；陰極基底層的高度要高于倒置凸面尖型孔的最底部高度；間隔層的上表面為平面，和柵極引線層相互接觸；倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁下半部分表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極延長線層；陰極延長線層布滿倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁的下半部分，其高度與陰極基底層的高度相同；陰極延長線層的下部末端與陰極基底層相互連通，陰極延長線層呈現(xiàn)一個凸起的傘型面環(huán)繞在陰極基底層的周圍；陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層要覆蓋住全部的陰極基底層上表面以及陰極延長線層的上表面；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層環(huán)繞在倒置凸面尖型孔的周圍，其前端部分要向倒置凸面尖型孔中心位置延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；懸空部分的柵極管制層呈現(xiàn)一個銳角型折線形狀，即在柵極管制層平面延伸的最前端向后上方折回，形成一個銳角角度；間隔層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層和柵極管制層是相互連通的；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住全部的柵極引線層以及部分柵極管制層的上表面；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極延長線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫、錢；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極管制層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁。
4.一種柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)陰極引線層[3]的制作在阻滯層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；4)陰極基底層[4]的制作在陰極引線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；5)間隔層[5]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；6)陰極延長線層[6]的制作在倒置凸面尖型孔內(nèi)側(cè)壁上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極延長線層；7)陰極導(dǎo)電層[7]的制作在陰極基底層的上表面上以及陰極延長線層的表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；8)柵極管制層[8]的制作在間隔層上表面倒置凸面尖型孔周圍制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；9)柵極引線層[9]的制作在間隔層上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；10)柵極覆蓋層[10]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極覆蓋層；11)柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板玻璃進行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為對已經(jīng)裝配好的器件進行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在陰極玻璃面板上有陰極導(dǎo)電層、碳納米管以及柵控凸面陰極結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠增大碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，降低柵極的工作電壓，有助于提高器件的顯示亮度，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/04GK101071729SQ20071005461
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院