專利名稱：斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管的頂端曲率半徑比較小，發(fā)射電子的工作時間長，是一種性能優(yōu)異的冷陰極發(fā)射材料。利用碳納米管作為陰極而研制的場致發(fā)射平板顯示器是一種新型的平面顯示設(shè)備，具有高亮度、高清晰度、高顯示分辨率等特點，早已引起了眾多科研人員的高度關(guān)注。這種顯示器具有傳統(tǒng)陰極射線管顯示器的高清晰圖像，同時結(jié)合了液晶顯示器的超薄型，具有功耗低、響應(yīng)速度快、適用溫區(qū)廣等特點，業(yè)已成為了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
在目前所報道的大多數(shù)碳納米管陰極顯示器件中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，由柵極結(jié)構(gòu)來直接決定著碳納米管陰極的電子發(fā)射。但柵極工作電壓居高不下是一個目前還難以解決的課題。由于碳納米管陰極的電子束要穿過柵極結(jié)構(gòu)后才能夠到達(dá)陽極，受到柵極正電壓的影響，部分電子被截留形成柵極電流，從而導(dǎo)致器件顯示亮度有所降低。受到柵極結(jié)構(gòu)的限制，碳納米管陰極的有效電子發(fā)射面積無法增加，這也限制了進(jìn)一步提高亮度的途徑。很顯然，更多的碳納米管陰極參與電子發(fā)射，同時碳納米管陰極具有更高的電子發(fā)射效率，器件的顯示亮度必然會有所提高，一方面提高了發(fā)射電流，同時也提高了所制備的碳納米管陰極的發(fā)射穩(wěn)定性。此外，器件制作工藝簡化，提高器件性能也是一個不可阻擋的發(fā)展趨勢。針對這些問題，都需要認(rèn)真地思考和解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有陰極引線層、碳納米管以及斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的底部呈現(xiàn)圓盤面型形狀，其直徑最大，坐落于柵極引線層的上面，提升層的側(cè)面形成一個傾斜面型，從提升層的下底面開始，逐漸向內(nèi)收縮，直至到達(dá)提升層的上頂面位置為止；提升層的上頂面形成一個中空的圓環(huán)面型形狀，提升層的內(nèi)部是中空的，形成一個圓筒型形狀，其側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，從提升層的下表面開始，到提升層的上表面結(jié)束；提升層內(nèi)部的底面要暴露出柵極引線層；整體提升層形成中空的圓臺面型形狀；提升層的表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，包括側(cè)面、上頂面以及內(nèi)側(cè)壁部分在內(nèi)；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面要覆蓋住柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；位于提升層外部側(cè)面上的間隔層上表面也是形成與提升層外部側(cè)面相對應(yīng)的斜面，位于提升層上表面上的間隔層上表面形成與提升層上表面相互平行的圓環(huán)面，位于提升層內(nèi)部的提升層上表面則是形成一個倒置圓頭柱體型形狀，即下部分為一個半球型形狀，上部分為圓柱體型形狀，側(cè)面與提升層內(nèi)部側(cè)面是相互平行的；間隔層的上表面上的對應(yīng)于提升層部分的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層的上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；
3)柵極引線層的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層的制作在提升層的表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層的制作在間隔層上對應(yīng)于提升層部分的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；
17)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。
19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在了碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的底部。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，由柵極引線層將外界電壓傳遞到柵極管制層，從而將外界電壓轉(zhuǎn)換成碳納米管陰極表面頂端的強大電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的控制作用。通過控制間隔層的厚度，可以調(diào)節(jié)柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，使二者盡可能的接近，從而進(jìn)一步降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)中，對碳納米管陰極的宏觀表面形狀進(jìn)行了更改，增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展。
此外，在所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不限于實施例。
所述的一種帶有斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；在陰極玻璃面板上有陰極引線層[9]、碳納米管[11]以及斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑[18]附屬元件。
所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、提升層[4]、柵極管制層[5]、間隔層[6]、陰極過渡層[7]、陰極導(dǎo)電層[8]、陰極引線層[9]、陰極覆蓋層[10]和碳納米管[11]部分。
所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的底部呈現(xiàn)圓盤面型形狀，其直徑最大，坐落于柵極引線層的上面，提升層的側(cè)面形成一個傾斜面型，從提升層的下底面開始，逐漸向內(nèi)收縮，直至到達(dá)提升層的上頂面位置為止；提升層的上頂面形成一個中空的圓環(huán)面型形狀，提升層的內(nèi)部是中空的，形成一個圓筒型形狀，其側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，從提升層的下表面開始，到提升層的上表面結(jié)束，提升層內(nèi)部的底面要暴露出柵極引線層；整體提升層形成中空的圓臺面型形狀；提升層的表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，包括側(cè)面、上頂面以及內(nèi)側(cè)壁部分在內(nèi)；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面要覆蓋住柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；位于提升層外部側(cè)面上的間隔層上表面也是形成與提升層外部側(cè)面相對應(yīng)的斜面，位于提升層上表面上的間隔層上表面形成與提升層上表面相互平行的圓環(huán)面，位于提升層內(nèi)部的提升層上表面則是形成一個倒置圓頭柱體型形狀，即下部分為一個半球型形狀，上部分為圓柱體型形狀，側(cè)面與提升層內(nèi)部側(cè)面是相互平行的；間隔層的上表面上的對應(yīng)于提升層部分的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層的上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層[5]的制作在提升層的表面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層[6]的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層上對應(yīng)于提升層部分的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)碳納米管的后處理對碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；14)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；19)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟19具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[12]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[17]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[13]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[15]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[16]以及消氣劑附屬元件[18]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有陰極引線層[9]、碳納米管[11]以及斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的底部呈現(xiàn)圓盤面型形狀，其直徑最大，坐落于柵極引線層的上面，提升層的側(cè)面形成一個傾斜面型，從提升層的下底面開始，逐漸向內(nèi)收縮，直至到達(dá)提升層的上頂面位置為止；提升層的上頂面形成一個中空的圓環(huán)面型形狀，提升層的內(nèi)部是中空的，形成一個圓筒型形狀，其側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，從提升層的下表面開始，到提升層的上表面結(jié)束；提升層內(nèi)部的底面要暴露出柵極引線層；整體提升層形成中空的圓臺面型形狀；提升層的表面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿提升層的表面，包括側(cè)面、上頂面以及內(nèi)側(cè)壁部分在內(nèi)；柵極管制層和柵極引線層是相互連通的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的下表面要覆蓋住柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；位于提升層外部側(cè)面上的間隔層上表面也是形成與提升層外部側(cè)面相對應(yīng)的斜面，位于提升層上表面上的間隔層上表面形成與提升層上表面相互平行的圓環(huán)面，位于提升層內(nèi)部的提升層上表面則是形成一個倒置圓頭柱體型形狀，即下部分為一個半球型形狀，上部分為圓柱體型形狀，側(cè)面與提升層內(nèi)部側(cè)面是相互平行的；間隔層的上表面上的對應(yīng)于提升層部分的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層的上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)提升層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)柵極管制層[5]的制作在提升層的表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)間隔層[6]的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；7)陰極過渡層[7]的制作在間隔層上對應(yīng)于提升層部分的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；8)陰極導(dǎo)電層[8]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；9)陰極引線層[9]的制作在間隔層的上表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；10)陰極覆蓋層[10]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；11)斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；12)碳納米管[11]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；13)陽極玻璃面板[12]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；14)陽極導(dǎo)電層[13]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；15)絕緣漿料層[14]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；16)熒光粉層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；17)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[16]和四周玻璃圍框[17]裝配到一起，并將消氣劑[18]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；18)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟15具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有陰極引線層、碳納米管以及斜面型底柵控發(fā)射結(jié)構(gòu)；能夠提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有助于提高器件的亮度；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/304GK101075535SQ20071005460
公開日2007年11月21日 申請日期2007年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月19日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院